ICS 23.160 CCS J 78 T/GVS 团 体 标 准 T/GVS 001—2021 真空镀膜设备 电磁兼容 屏蔽与辐射 安全技术规范 Vacuum coating plant —Electromagnetic compatibility —Technical specification for shielding and radiation safety 2021—06—28发布 2021—06—28实施 广东省真空学会 发 布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/GVS 001—2021 I 前 言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》 的规 定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中山凯旋真空科技股份有限公司提出。 本文件由广东省真空 学会归口。 本文件起草单位：中山凯旋真空科技股份有限公司、广东省中山市质量技术监督标准与编码所、华 南理工大学、中山火炬职业技术学院 、中山市博顿光电科技有限公司。 本文件主要起草人：叶俊文 、吴标平、李晓刚、 黎子辉、聂鹏 、石澎、冀鸣、邓志雄 、彭中业、陈 培绍、王松沛。 本文件首次发布。 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/GVS 001—2021 1 真空镀膜设备 电磁兼容 屏蔽与辐射安全技术规范 1 范围 本文件规定了真空镀膜设备 电磁屏蔽与辐射安全 的术语和定义、 材料、技术要求和试验方法。 本文件适用于电气工作频率 为40 MHz以下的工 业用真空镀膜设备（以下 简称“设备”）及设备的 现场测量。 2 规范性引用文件 下列文件中的 内容通过文中 的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中 ，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本 适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（ 包括所有的修改单） 适用于本 文件。 GB/T 4365 —2003 电工术语 电磁兼容 GB 4824—2019 工业、科学和医疗设备 射频骚扰特性限值和测量方法 GB/T 6113.102 —2018 无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第1-2部分：无线电骚扰 和抗扰度测量设备 传导骚扰测量的耦合装置（ CISPR 16 -1-2:2014，IDT） GB/T 6113.104 —2016 无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第1-4部分：无线电骚扰 和抗扰度测量设备 辐射骚扰测量用天线和试验场地（ CISPR 16-1-4:2012，IDT） GB/T 6113.201 —2018 无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第2-1部分：无线电骚扰 和抗扰度测量设备 传导骚扰测量（ CISPR 16 -2-1:2014，IDT） GB/T 17626.3 电磁兼容 试验和测量技术 射频电磁场辐射抗扰度试验 GB/T 21067 —2010 工业机械电气设备 电磁兼容 通用抗扰度要求 GB 23313 工业机械电气设备 电磁兼容 发射限值 GB/T 2666 7 电磁屏蔽材料术语 GB/T 30139—2013 工业用电磁屏蔽织物通用技术条件 GB/T 32511—2016 电磁屏蔽塑料通用技术要求 GB/T 32995—2016 电磁屏蔽玻璃 GB/T 34938 平面型电磁屏蔽材料通用技术要求 GB/T 35675 —2017 电磁屏蔽用金属化纤维通用技术要求 GB/T 36763 —2018 电磁屏蔽用硫化橡胶通用技术要求 CB 1337—1998 舰船用电磁屏蔽门规范 QJ 3035—1998 电子机柜电磁屏蔽要求和测试方法 SJ 20673A 电磁屏蔽橡胶衬垫材料规范 CISPR 16-1-1 无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第1-1部分：无线电骚扰和抗扰 度测量设备 测量设备（Specification for radio disturbance and immunity measuring apparatus and methods—Part 1-1: Radio disturbance and immunity measuring apparatus —Measuring apparatus ） CISPR 16 -2-3 无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第2-3部分：无线电骚扰和抗扰 度测量方法 辐射骚扰测量（ Specification for radio disturbance and immunity measuring apparatus 全国团体标准信息平台 T/GVS 001—2021 2 and methods—Part 2-3: Methods of measurement of disturbances and immunity – Radiated disturbance measurements ） CISPR/TR 16-2-5 无线电干扰和抗扰度测量装置及测试规范 第2-5部分：大型设备产生的干扰 辐射的原位测量（ Specification for radio disturbance and immunity measuring apparatus and methods—Part 2-5: In situ measurements for disturbing emissions produced by physically large equipment ） 3 术语和定义 GB/T 4365 、GB 4824、GB/T 17626.3 、GB/T 21067 和GB/T 26667 界定的术语和定义适用于本文件。 4 材料 4.1 电磁屏蔽材料应符合 GB/T 34938的规定。 4.2 橡胶衬垫材料应符合 SJ 20673A 的规定。 4.3 织物应符合 GB/T 30139 的规定。 4.4 塑料应符合 GB/T 32511 的规定。 4.5 玻璃应符合 GB/T 32995 的规定。 4.6 金属化纤维应符合 GB/T 35675 的规定。 4.7 硫化橡胶应符合 GB/T 36763 的规定。 5 技术要求 5.1 使用频率 根据国际电信联盟 （ ITU） 的指配频率表， 设备使用的射频电气设备频率应符合 GB 4824中的规定。 5.2 镀膜机腔体 5.2.1 腔体表面应平整、光滑，应无毛刺和尖角缺陷。 5.2.2 腔体结构设计应避免出现尖锐的棱角和突起部件。 5.2.3 除门以外的腔室结构宜确保连续焊接。 5.2.4 腔门的跨接线一般以编织铜丝（带）与连接件组成，一端可与金属腔壁板通过螺栓、螺母、弹 簧、垫圈紧固。 5.2.5 使用非连续焊的机械部件，相邻焊点之间的距离不宜超过 5cm。 5.2.6 腔门的电磁屏蔽效能应不低于 CB 1337—1998中规定的“ 3级屏蔽门”要求。 5.2.7 腔体外表面 裸露的宽度大于 5 mm的缝隙应使用适当电磁屏蔽材料或采取屏蔽工艺结构设计做 防辐射处理。 5.3 电子机柜 5.3.1 额定电压不超过 AC 1000 V、DC 1500 V及额定频率不超过 200Hz的电子（电气）设备及系统 的发射限值和通用抗扰度应分别符合 GB 23313 和GB/T 21067 的规定，其它电子（电气）设备及系统 的电子机柜屏蔽效能应符合 QJ 3035—1998中5.1规定的“二类屏蔽 ”要求。 5.3.2 电子机柜壳体屏蔽设计应 符合QJ 3035—1998中5.2的要求。 全国团体标准信息平台 T/GVS 001—2021 3 5.3.3 电子机柜主要屏蔽壳体、骨架构件、面板构件等组成，除焊接连接外，所有可拆连接的接触面 均应导电。 5.3.4 电子机柜及构件应有良好接地，接地电阻应 小于等于 4 Ω。 5.4 设备电磁辐射干扰限值 5.4.1 对1台设备进行现场测试时，电磁辐射干扰限值应符合表 1的规定。 表1 电磁辐射干扰限值 频段 MHz 距离所在建筑物外墙 30m的限值 电场准峰值 dB（μV/m） 磁场准峰值a dB（μV/m） 0.15～0.49 不做要求 13.5 0.49～3.95 3.5 3.95～20 -11.5 20～30 -21.5 30～40 30 不做要求 在过渡频率上采用较严格的限值。 如果当地情况不允许在 30m距离测量，可以选择更远的距离进行测量，这种情况下应使用 20 dB每十倍距离 反比因子，将测试数据归一化到规定距离，以确定其符合性。 a 这些限值适用于由额定功率超过 20 kVA并且固定安装的 1台设备的工作频率产生的辐射干扰。 5.4.2 对2台设备进行现场测试时，电磁辐射干扰限值应符合表 2的规定。 表2 电磁辐射干扰限值 频段 MHz 距离所在建筑物外墙为 D的限值 电场准峰值 dB（μV/m） 磁场准