ICS81.040.30 Q 35 中华人民共和国国家标准 GB/T 34178—2017 光掩模石英玻璃基板 Silica glass substratesfor photomask 2017-09-07发布 2018-08-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 34178—2017 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447）归口。 本标准起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶 光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心。 杨学东、孔敏、张应语。 1 GB/T34178—2017 光掩模石英玻璃基板 1范围 本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验 规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS）、光电器件和发光二级管（LED)等光 刻工艺中光掩模石英玻璃基板。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3284—2015石英玻璃化学成分分析方法 GB/T5949透明石英玻璃气泡、气线试验方法 GB/T32189氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 JC/T185光学石英玻璃 JC/T655 石英玻璃制品内应力检验方法 JC/T 2205 石英玻璃术语 3 术语和定义 JC/T2205界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 总厚度变化 total thicknessvariation;TTV 石英玻璃基板厚度的最大值和最小值间的差。 3.2 SAG 平整度 flatness 石英玻璃基板背表面为理想平面时，例如，背表面放置在一个理想、平坦的平面上，石英玻璃基板正 表面相对于规定的基准面的偏差，以测量范围内总的示值读数（TIR)表示。 4要求 4.1规格尺寸及尺寸偏差 4.1.1石英玻璃基板为正方形，形状示意图见图1，常规边长及边长偏差应符合表1的规定 1 GB/T34178—2017 表1 边长偏差 单位为毫米 边长 [ 边长偏差 50.4,63.1.75.8,88.5,101.2、 ±0.20 126.6、152.0、177.4、200.0 228.6、254.0、304.8 ±0.30 5 mm 说明： 质量区； 2 非质量区； 石英玻璃基板边长； R 石英玻璃基板顶角半径。 图1石英玻璃基板形状及顶角形状示意图 4.1.2 6.35mm。厚度偏差应不超过土0.10mm。 石英玻璃基板总厚度变化应符合表2的规定。 4.1.3 表 2 总厚度变化（TTV） 边长1 总厚度变化（TTV) mm μm /<101.2 9> 101.2≤/≤152.0 <10 177.4≤/≤200.0 ≤25 1>200.0 供需双方商定 4.1.4 石英玻璃基板顶角的直角偏差应不超过士3 4.1.5 石英玻璃基板顶角半径为2mm~3mm，顶角形状示意图见图1。 4.1.6石英玻璃基板边部应倒角，倒角形状示意图见图2。倒角角度为45°士5°倒角的直边长度应符 合表3的规定 2 GB/T 34178—2017 说明： 倒角角度； 倒角的直边长度； 石英玻璃基板的厚度。 图2 2倒角形状示意图 表3石英玻璃基板边部倒角尺寸 单位为毫米 边长1 倒角直边长度C [≤228.6 SZI0 0.30≤C≤0.60 1>228.6 0.30≤C≤0.90 4.1.7石英玻璃基板标记形状示意图见图3.标记面为石英玻璃基板背表面。标记的尺寸A为1mm～ 2mm，尺寸B最大为1mm。 说明： A 标记直边到顶角距离； B 标记的深度 图3 标记形状示意图 4.2 外观质量 4.2.1石英玻璃基板的正表面、背表面、顶角、倒角、直边为抛光面。 4.2.2 石英玻璃基板质量区的外观质量应符合表4的规定。 3