ICS 77.150.99 H68 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T26032—2010 镍蒸发料 Evaporated nickelmaterial 2011-01-10发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T26032—2010 前言 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归H。 本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草， 本标准主要起草人：尚再艳、雷继峰、朱晓光、杨永刚、班立志、熊晓东、江轩。 GB/T26032—2010 镍蒸发料 1范围 本标准规定了镍蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及质量证明书与订货单 （或合同)内容。 本标准适用于半导体行业用的各类镍蒸发料。其他用途的镍蒸发料也可参照使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T8647.8镍化学分析方法硫量的测定高频感应炉燃烧红外吸收法 GB/T8647.9镍化学分析方法碳量的测定高频感应炉燃烧红外吸收法 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T26016—2010高纯镍 3要求 3.1产品分类 镍蒸发料的类型按镍的纯度分为IC-Ni99.99和IC-Ni99.995两种。 镍蒸发料形状主要分为片状和柱状两种，如图1所示。 .1 4 a）片状 b）柱状 图1镍蒸发料示意图 3.2化学成分要求 3.2.1镍蒸发料的化学成分要求见表1。 GB/T26032—2010 表 1 镍蒸发料化学成分要求 牌号 IC-Ni99.99 IC-Ni99.995 Ni含量不小于/% 66'66 99.995 K 0.05 0.05 Na 0. 5 0. 5 Li 0. 01 0. 01 Be 0. 01 0. 01 Mg 10 1 Ca 0. 05 0. 05 Mn 10 0. 1 Fe 20 20 Co 20 20 Cu 20 20 Zn 0. 1 0. 1 0. 05 0.05 杂质含量/（×10-），不大于 A1 10 5 Sn 3 0. 1 Sb 3 0. 1 Pb 3 1 Bi 3 0. 05 B 20 0. 1 As 5 5 Is 50 10 P 1 0. 1 Ti 20 20 V 20 20 Cr 20 20 杂质总量/（×10-6），不大于 100 50 注1：镍的含量为100%减去表中杂质元素实测总和的余量； 注2：顾客对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商确认， 3.2. 2 镍蒸发料的非金属元素含量要求见表2。 表 2 镍蒸发料非金属元素含量要求 IC-Ni99.99 IC-Ni99.995 c 100 50 H 10 10 非金属元素含量/（×10-），不 N 20 10 大于 0 100 50 s 10 10 2 GB/T 26032—2010 3.3供货状态 镍蒸发料以加工态供货。 3.4几何尺寸 镍蒸发料的规格及允许偏差如表3所示。 表3镍蒸发料规格 片状 柱状 A B c R D L 10 10 6 2 1 3 尺寸/mm 15 15 2 1. 5 6 6 7 20 允许偏差/mm ±0.5 ±0. 5 ±0.2 ±0. 2 ±0.5 注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的镍蒸发料。 3.5外观质量 镍蒸发料表面应光亮平整、洁净，边、角完整，无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷；应清洁、无油 污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。 4试验方法 4.1镍蒸发料的杂质含量参考GB/T26016-一2010附录A采用辉光放电质谱（GDMS)进行检测；非金 属杂质元素S的含量参考GB/T8647.8进行检测；非金属杂质元素C的含量分别参考GB/T8647.9 进行检测；非金属杂质元素N、O、H的分析方法由供需双方协商决定。 4.2镍蒸发料几何尺寸的测量按GB/T15077规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图 纸、来样检查。 4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1镍蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质 量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准（或订货合同）的规定不符 时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样由供需双方 共同进行。 5.2组批 镍蒸发料应成批提交检验。每批应由同一投料批、规格和牌号的产品组成。 3