ICS 77.150.60 H 62 中华人民共和国国家标准 GB/T 20510—2017 代替GB/T20510—2006 氧化铟锡靶材 Indium-tin oxide target 2018-05-01实施 2017-10-14发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 20510—2017 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草 本标准代替GB/T205102006《氧化钢锡靶材》。与GB/T20510—2006相比，主要变动如下： 删除了“失氧率”的要求； 一对氧化钢锡靶材的化学成分进行了修改，删除了对杂质元素锌、钙、镁量的控制，增加了杂质 铬、量的控制； 修改了相对密度的含量范围； 增加了“表面粗糙度”； 增加了“组织均匀性”； 修改了组批的方式； 删除了标准附录“失氧率的测定”。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准负责起草单位：株洲冶炼集团股份有限公司。 本标准主要起草人：谭仪文、黄剑、彭小苏、都雨林、孙振德、梅方胜、崔晓芳、张士察 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T20510—2006。 1 GB/T20510—2017 氧化铟锡靶材 1范围 量证明书、订货单（或合同）内容等。 本标准适用于以99.99%金属钢、锡为原料生产的氧化钢锡靶材，用于制作透明导电膜。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T351金属材料电阻系数测量方法 GB/T5163烧结金属材料（不包括硬质合金）可渗性烧结金属材料 密度、含油率和开孔率的 测定 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T13298 金属显微组织检验方法 GB/T16535 精细陶瓷线热膨胀系数试验方法 顶杆法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 表观密度 density 每单位体积物质的质量。 3.2 相对密度 relativedensity 物质的密度与参照物的密度的比值。 Inz03：SnOz=90：10时，理论密度以7.155g/cm计算。 3.3 开尔文电桥 FKelvinbridge 开尔文电桥，是一种利用电位比较的方法进行测量的仪器，具有很高的灵敏度和准确性，在电测技 术和自动控制测量应用极为广泛。而开尔文电桥又是惠斯通电桥的变形，在测量小阻值电阻（通常<1欧） 时具有相当高的准确度，适于测量10-α10α低阻值电阻。 4要求 4.1产品分类 540 氧化钢锡靶材按相对密度分为三个牌号：RD99.0、RD99.5、RD99.7。 1 GB/T20510—2017 4.2化学成分 4.2.1主要成分 4.2.2氧化钢锡靶材的主要杂质成分应符合表1的规定。 表1 氧化钢锡靶材主要杂质成分 % 杂质含量，质量分数不大于（×10-+） Fe Al IS Cu Pb Cd IN Cr T1 总和 15 10 15 5 5 5 5 100 注：杂质总和为包含且不限于表中所列杂质元素实测值之和。 4.2.3 需方如对氧化钢锡靶材主要成分的质量百分比和杂质成分有特殊要求时，由供需双方商定。 4.3 物理性能 4.3.1 相对密度：RD99.0、RD99.5、RD99.7牌号的氧化钢锡靶材相对密度应分别99.0%、99.5%、 99.7%；密度均匀性偏差为士0.2。 4.3.2电阻率：≤1.6×10-*2·cm。 4.3.3线膨胀系数：6×10-6℃-1~9X10-6℃-1。 4.45 物理规格 氧化锡靶材呈片状或其他形状，其规格尺寸及其偏差由供需双方商定。 4.5 5表面质量 4.5.1表面粗糙度：Ra≤1.6（μm）。 4.5.2氧化铟锡靶材呈黑色或灰黑色，颜色应均匀。 4.5.3氧化钢锡靶材表面应平整，无裂纹，无明显崩边，气孔直径不大于0.3mm，且无任何外来夹杂 物、缺陷和污染物。 4.6 组织均匀性 氧化钢锡靶材的SnOz固熔到In2O，中，Sn在靶材中均匀分布，晶粒均匀。 5试验方法 5.1 化学成分分析方法 氧化钢锡靶材化学成分的仲裁分析方法由供需双方商定。 5.2 物理性能检验方法 5.2.1表观密度检验方法 氧化铟锡靶材的表观密度按GB/T5163的规定进行测定。 2