ICS 71.060.20; 71. 060.30; 71. 060.50 G11; G12; G13 HG 中华人民共和国化工行业标准 HG/T5552~5555—2019 造纸工业用二氧化钛、土壤修复用 过氧化氢、高纯氯化锶 和高纯工业品硝酸 (2019) 2019-12-24发布 2020-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 目 录 HG/T55522019 造纸工业用二氧化钛 (1) HG/T5553—2019 土壤修复用过氧化氢 (9) HG/T5554—2019 高纯氯化锶 (23) HG/T5555—2019 高纯工业品硝酸 (39) I ICS 71.060.30 G 11 HG 中华人民共和国化工行业标准 HG/T5555—2019 高纯工业品硝酸 High-purity nitric acid for industrial use 2019-12-24发布 2020-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 HG/T 5555—2019 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则进行起草。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出。 本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分技术委员会（SAC/TC63/SC1）归口。 本标准起草单位：多氟多化工股份有限公司、四川金象赛瑞化工股份有限公司、浙江水知音环保 科技有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司、国家无机盐产品质量监督检验中心。 本标准主要起草人：郝建堂、薛旭金、施秀华、叶文豪、何文华、郭志刚、王明权、李旭初、俞 明华、杨裴、郭永欣、曹亚丽、范国强。 (41) HG/T5555—2019 高纯工业品硝酸 警示——按GB12268一2012第6章的规定，本产品主要危险性为腐蚀性物质，次要危险性为氧 化性物质，操作时应小心谨慎。使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出 所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的 条件。 1范围 本标准规定了高纯工业品硝酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和 贮存。 本标准适用于高纯工业品硝酸。该产品主要应用于太阳能光伏行业、液晶显示器件和半导体行业 制程的清洗和刻蚀。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T1912008包装储运图示标志 GB/T3143—1982液体化学产品颜色测定方法（Hazen单位-—铂-钻色号） GB/T6678 3化工产品采样总则 GB/T6682一2008分析实验室用水规格和试验方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11446.1—2013电子级水 GB12268—2012 危险货物品名表 HG/T3696.1 无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第1部分：标准滴 定溶液的制备 HG/T3696.2 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第2部分：杂质标 无机化工产品 准溶液的制备 HG/T3696.3 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第3部分：制剂及 制品的制备 3分子式和相对分子质量 分子式：HNO3 相对分子质量：63.01（按2016年国际相对原子质量） 4分级 高纯工业品硝酸按用途分为3个等级： (43) 1 HG/T5555—2019 EL级：3 主要用于太阳能光伏行业及液晶显示器件的制造； UP级： 主要用于线宽为大于0.50μm集成电路的清洗； -UP-S级：主要用于线宽为0.065μm~0.50μm集成电路的清洗。 5 要求 5. 1 外观： 无色透明液体。 5. 2 高纯工业品硝酸按本标准规定的试验方法检测应符合表1的规定。 表1 技术要求 指 标 项 目 EL级 UP级 UP-S 级 主含量（以HNO；计）w/% 65~70 65~70 65~70 色度/Hazen单位 ≤ 10 10 10 氯化物（以Cl计)/(mg/kg) ≤ 80 80 50 ≤ 200 200 50 磷酸盐（以PO=计)/(mg/kg) 500 500 50 硫酸盐（以SO计)/(mg/kg) ≤ 100 10 1 锂(Li)/(μg/kg) 硼(B)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 钠(Na)/(μg/kg) 100 10 1 镁(Mg)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 铝(AI)/(μg/kg) ≤ 200 5 I ≤ 100 10 1 钾 (K)/(μg/kg) 钙 (Ca)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 ≤ 100 10 钛(Ti)/(μg/kg) 钒(V)/(μg/kg) ≤ - 10 1 铬(Cr)/(μg/kg) ≤ 100 10 锰(Mn)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 ≤ 100 铁(Fe)/(μg/kg) 10 1 镍(Ni)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 铜(Cu)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 锌(Zn)/(μg/kg) ≤ 100 10 砷(As)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 镉(Cd)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 锡(Sn)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 锑(Sb)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 钡 (Ba)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 铅(Pb)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 (≥0.5μm)/(个/mL) ≤ 200 200 颗粒 ≤ (≥0.2 μm)/(个/mL) 一 300 2 (44) HG/T5555—2019 6试验方法 6.1一般规定 本标准所用的试剂和水，在没有注明其他要求时，均指分析纯试剂和GB/T6682一2008中规定 的一级水。试验中所用的标准滴定溶液、杂质标准溶液、制剂和制品，在没有注明其他要求时，均按 HG/T3696.1、HG/T3696.2、HG/T3696.3的规定制备。 6.2外观检验 在自然光下，将试样置于无色透明玻璃瓶或四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物（PFA）瓶中， 用目视法判定外观。 6.3主含量的测定 6.3.1原理 以酚酞为指示剂，用氢氧化钠标准滴定溶液中和滴定，测得硝酸的质量分数。 6.3.2试剂或材料 6.3.2.1氢氧化钠标准滴定溶液：c(NaOH)~0.5mol/L。 6.3.2. 2 酚酞指示液：1g/L。 6.3.3试验步骤 取约1.5g样品，置于盛有约50mL水的已称量的带盖塑料三角瓶中，带盖称量，精确至0.0002g。 加入2滴酚指示液，用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至溶液呈红色并保持30s不消失为终点。 6.3.4试验数据处理 主含量以硝酸（HNO，）的质量分数wW，计，按公式（1）计算： w,= m 式中： V—一滴定试验溶液消耗氢氧化钠标准滴定溶液的体积的数值，单位为毫升（mL)； c—氢氧化钠标准滴定溶液的浓度的准确数值，单位为摩尔每升（mol/L)； M——硝酸的摩尔质量的数值，单位为克每摩尔（g/mol）（M=63.01)； m一一试料的质量的数值，单位为克（g）。 取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值应不大于0.2%。 6.4色度的测定 量取50mL试样，置于50mL比色管中，在白色背景下，沿比色管轴线方向观察，样品颜色不 得深于GB/T3143—1982规定的色度标准10Hazen单位。 (45) 3