ICS 81.040.30 Q 35 JC 中华人民共和国建材行业标准 JC/T 2392.4—2018 石英玻璃 第4部分：等离子体熔融法 Quartz glass ingot-Part4:Plasma melting method for fused quartz 2018-10-22发布 2019-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T2392.4—2018 前言 JC/T2392《石英玻璃》分为五个部分： 第1部分：气炼熔融法； 第2部分：氢氧焰化学气相沉积法； 一第3部分：等离子化学气相沉积法； 一一第4部分：等离子体熔融法； 一第5部分：电熔法。 本部分为JC/T2392的第4部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分由中国建筑材料联合会提出。 本部分由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。 本部分起草单位：久智光电子材料科技有限公司、中国建材检验认证集团股份有限公司、中国建筑 材料科学研究院总院。 本部分主要起草人：白凤茹、张锦、张晓风、谷巨明、杨晓会、王京侠、刘焕敏、宋学富、孙元成、 王蕾。 本部分为首次发布。 1 JC/T2392.4-2018 石英玻璃锭第4部分：等离子体熔融法 1范围 本部分规定了等离子体熔融法熔制石英玻璃旋的术语和定义、分类和分级、要求、试验方法、检验 规则以及标志、包装、运输和贮存。 . 本部分适用于以天然高纯石英砂为原料，采用等离子体固相外沉积熔融法熔制的石英玻璃锭，以下 简称等离子石英锭。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 GB/T12442石英玻璃中羟基含量检验方法 JC/T2205石英玻璃术语 JC/T2392.2石英玻璃锭第2部分：氢氧焰化学气相沉积法 3术语和定义 JC/T2205及JC/T2392.2界定的术语和定义适用于本文件。 4分类和分级 4.1按外观形状分为两类，即：空心状和实心状。 4.2按外观质量分为两级，即：W1级和W2级。 4.3按杂质元素含量分为三级，即：P1级、P2级和P3级。 4.4按羟基含量分为三级，即：H1级、H2级和H3级。 5要求 5.1等径度和圆度公差 等离子石英的等径度和圆度公差应符合表1的的规定。 表1等离子石英等径度和圆度公差要求 单位为毫米 类别 名称 要求 外径等径度 ≤5. 0 空心状 外径圆度公差 ≤1.0 1 JC/T2392.4—2018 表1(续) 类别 名称 要求 内径等径度 0'> 空心状 内径圆度公差 ≤1.0 外径等径度 0'9> 实心状 外径圆度公差 ≤1. 0 5.2外观质量 等离子石英外观质量应符合表2的规定。 表2 等离子石英锭外观质量要求 要求 类别 缺陷名称 W1级 W2级 生料颗粒、气泡 nj≤30个/cm 30个/cm<nj≤60个/cm² nz≤50个/m ≤2 mh 50个/m<nz≤80个/m 空心状 杂质点 nz≤8个/m 8个/m<n2≤15个/m 2m5m g>5 mm 不允许 生料颗粒、气泡 m≤50个/cm² 50个/cm<n≤100个/cm ≤2 m nz≤70个/m 70个/m<nz≤120个/m 实心状 杂质点 n2≤10个/m 10个/m<nz≤20个/m 2mm<≤5mm >5mm 不允许 注：n为生料颗粒、气池的数量；为杂质点长径值；n2为杂质点的数片 5.3 杂质元素含量 等离子石英锭杂质元素含量应符合表3的规定， 表3 等离子石英锭杂质元素含量要求 单位为微克每克 级别 K Li、Na、K元素含量之和 AI Na Li 13种杂质元素含量之和 P1 ≤8.0 9'0> 9'0 9'0> ≤1. 0 ≤10.0 P2 ≤0.8 80> ≤0.8 ≤1.5 ≤20.0 ≤15.0 P3 ≤20. 0 ≤1. 0 ≤1. 0 ≤1. 0 ≤2.0 0'08> 注：13种杂质元素为Al、Fe、Ca、Mg、Ti、Cu、Co、Ni、Mn、Li、Na、K、B。 5.4 羟基含量 羟基含量用h表示，应符合表4的规定。 2 JC/T2392.4—2018 表4等离子石英啶羟基含量要求 级别 要求 h≤5. 0×10*6 H1 H2 5.0×10<h≤10.0×10 H3 10.0×10*<h≤25.0×10 6试验方法 6.1等径度和圆度公差 6.1.1样品制备 将等离子石英切掉两端锥度区域。 6.1.2外径等径度和外径圆度公差测量 采用分度值不大于0.02mm的游标卡尺或同等精度的量具，测量样品轴向均匀分布的5个截面处的 外径，同--截面上测量点不少于3个且均匀分布，测量数据中的最大值与最小值之差即为外径等径度； 同一截面最大值减最小值所得差值的最大值为该等离子石英的外径圆度公差。 6.1.3内径等径度和内径圆度公差测量 采用分度值不大于0.02mm的游标卡尺或同等精度的量具，测量样品两端的内径，每端测量点不少 于3个且均匀分布，测量数据中的最大值与最小值之差即为内径等径度；同一端面最大值减最小值所得 差值的最大值为该等离子石英锭的内径圆度公差。 6.2外观质量 6.2.1试验条件 采用机械加工去掉涂覆层的等离子石英，将等离子石英碰置于暗室中，用纯水使其表面保持湿润， 用强光灯照射等离子石英旋端面，使测量点的照度不低于5001x。 6.2.2生料颗粒及气泡 目测选取生料颗粒、气泡大或密集的部位，用倍数不低于10倍，视场不小于1cm的放大镜直接放 在等离子石英上，读取放大镜视场中1cm的生料颗粒及气泡的个数。 6.2.3杂质点 采用精度不低于0.01mm的读数显微镜测量。 6.3杂质元素含量 按GB/T3284的规定检验。 6.4羟基含量 3 JC/T2392.4—2018 沿径向截取长宽约为40mm，厚度为8mm～10mm的等离子石英锭薄片，两测试面进行机械抛光成厚 度差小于0.05mm的镜面，按GB/T12442规定的方法进行检验。 7检验规则 7.1检验分类 分为出厂检验和型式检验。 7.2出厂检验 7.2.1检验项目 出厂检验项目包括等径度、圆度公差和外观质量 7.2.2抽样 采用全数检验。 7.2.3判定规则 7.2.3.1等径度、圆度公差的判定 等径度和圆度公差均符合要求，则判该支产品该项合格。任意一项不符合要求，判该支产品该项不 合格。 7.2.3.2外观质量的判定 外观质量符合要求，判该支产品外观质量所属级别，否则判定该支产品该项不合格。 7.3型式检验 7.3.1总则 有下列情况之一时，应进行型式检验： a) 新产品投产或产品定型鉴定时； b）正常生产时，每一年进行一次； c 原材料或工艺等发生较大变化时，可能影响产品质量时： d）产品停产6个月以上恢复生产时。 7.3.2检验项目 型式检验应包括第5章的全部要求。 7.3.3组批 以同批次原料、相同工艺生产的每100支产品为一批，不足100支时亦为一批。 7.3.4抽样 等径度、圆度公差和外观质量采用全数检验；从等径度、圆度公差和外观质量均合格的产品中随机 抽取1支进行杂质元素含量、羟基含量的检验。 4 JC/T2392.4—2018 7.3.5判定规则 7.3.5.1等径度和圆度公差的判定 等径度和圆度公差均符合要求，判该产品该项合格，否则判该产品该项不合格。 7.3.5.2外观质量的判定 外观质量符合要求，判定该产品外观质量所属级别，否则判该产品该项不合格。 7.3.5.3杂质元素含量的判定 杂质元素含量符合要求，判定该批产品杂质元素含量所属级别，否则判定该批产品该项为不合格。 7.3.5.4羟基含量的判定 羟基含量符合要求，判定该批产品羟基含量所属级别，否则判定该批产品该项目为不合格。 7.3.5.5综合判定 等径度、圆度公差、外观质量、杂质元素含量和羟基含量均符合要求，判该批产品为合格。任意一 项不符合要求，则判定该批产品不合格。 8标志、包装、运输和贮存 8.1标志 等离子石英锭出厂时应附有产品合格证，注明产品名称、产品编号、级别、生产批号、生产厂家及 执行标准等。 包装箱上应有储运图示标志，如“玻璃制品”、“小心轻放”、“请勿倒置”和“防潮”等字样或 图形。 8.2包装 每支等离子石英锭应单独包装，然后装入木箱中，包装箱内四周及上下应加缓冲隔离物。 8.3运输 产品装、卸、运过程中要轻拿轻放，不能扔摔、碰撞。 8.4贮存 产品应贮存在无有害气体、干燥清洁的室内。避免压损。 5