ICS 81.040.30 Q35 JC 中华人民共和国建材行业标准 JC/T1048—2018 代替JC/T1048—2007 单晶硅生长用石英 Fused quartz crucibles for single crystal silicon growth 2018-10-22发布 2019-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T1048—2018 前 本标准按照GB/T1.1--2009给出的规则起草。 本标准代替JC/T1048--2007《单晶硅生长用石英》。与JC/T1048—2007相比，除编辑性修 改外主要技术变化如下： 修改了尺寸偏差要求（见5.1，2007年版的6.1)； 增加了端口透明层厚度（见5.2)； 修改了外观质量要求（见5.3，2007年版的6.2）； 修改了T级石英杂质含量要求（见5.4，2007年版的6.3.1)； 修改了耐热性要求（见5.6，2007年版的6.3.3）； 增加了直壁壁厚偏差、弯弧壁厚偏差、底部壁厚偏差和高度偏差试验方法（见6.1.2、6.1.3、 6.1.4和6.1.5，2007年版的7.1)； 增加了端口透明层厚度试验方法（见6.2）。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447）归口。 本标准起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中 心、中国建筑材料科学研究总院有限公司。 本标准主要起草人：王京侠、吴洁、张浩运、刘焕敏、杨晓会、杨学东、邵竹锋、王慧、肖颂华。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： JC/T10482007。 I JC/T1048—2018 单晶硅生长用石英蜗 1范围 本标准规定了单晶硅生长用石英埚（以下简称石英埚）的术语和定义、分类和标记、要求、试验 方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于用高纯石英砂做原料，采用电弧法工艺生产，应用于直拉法生长单晶硅材料的石英 。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 JC/T2205石英玻璃术语 3术语和定义 JC/T2205界定的术语和定义适用于本文件。 4分类和标记 4.1分类 按用途分为太阳能级石英（T级）和半导体级石英埚（B级）。 4.2标记 由产品简称、类别（T级或B级）、标称外径、批号和标准代号五部分组成。 示例：标称外径为305mm、批号为20161220的太阳能级石英埚，标记为： 石英锅-T级-305-20161220-JC/T1048—2018 5要求 5.1J 尺寸偏差 5.1.1 石英埚的外形示意图见图1。 I JC/T1048—2018 2 t31 说明： 一石英透明层； 一石英埚不透明层； 一石英埔埚外径： 石英埚高度： h- R- 石英地半径： 石英埚弯弧半径： 石英埚直壁壁厚； ti 石英弯弧壁厚； 石英埚底部壁厚。 t3" 图1石英埚的外形示意图 5.1.2 石英埚的尺寸偏差应符合表1的规定。 表1 尺寸偏差要求 单位为毫米 要求 外径 外径偏差 直壁壁厚偏差 弯弧壁厚偏差 底部壁厚偏差 高度偏差 圆度公差 偏壁值 d≤559 ±2.0 ±1. 0 ±1.5 ±1. 0 ±2 0. 5 0.5 d>559 ±3. 0 ±1.5 ±2.5 ±2.0 ±3 1.0 1.0 注：R、以及特殊规格的石英埚尺寸偏差由供需双方商定。 5.2 端口透明层厚度 石英埚的端口透明层厚度不小于直壁壁厚的三分之。 5.3外观质量 石英的外观质量应符合表2中的规定。 2 JC/T1048—2018 表2 外观质量要求 要求 缺陷 外径d>559mm 外径d≤559mm 自石英端口至垂直往下 允许有轻微划伤 划伤 40mm区域的内表面 其余部位内表面 不准许 不准许 裂纹 内表面 长径L≥0.3mm 不准许 长径L≥3.0mm 不准许 杂 2.5mm≤长径L<3.0mm 不准许 ≤2个 质 壁内 ≤2个 2.0mm≤长径L<2.5mm ≤3个 点 1.5mm≤长径L<2.0mm ≤5个 ≤8个 ≤40个 ≤50个 0.3m长径L<1.5m 开口气泡及因气泡造成 内表面 不准许 凸出的点 9≥2.0mm 不准许 气 泡 1.5mm≤<2.0mm ≤2个 ≤3个 壁内 ≤5个 ≤8个 1.0mm≤<1.5mm ≤40个 ≤50个 0.3mm≤<1.0mm 长径L≥2.0m 不准许 气 泡 壁内 ≤5个 0.3mm≤长径L<2.0mm ≤8个 群 300mm内气泡群个数 ≤2个 附着物 内表面不准许 沾污 内表面不准许 析晶 内表面不准许 无光泽凹坑 不准许 长径L>10mm的有光泽凹坑 不准许 内表面 长径L≤10mm的有光泽且能 坑 ≤5个 满足壁厚要求的凹坑 300mm内凹坑数量 ≤1个 崩边 不准许。埚端口加工后无明显的切割痕及毛刺，内倒角应不小于2mm。 浮砂 不准许 5.4 杂质元素含量 3