ICS 29.045 YS H 80 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 28—2015 代替YS/T28—1992 硅片包装 Package of silicon wafers 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T28—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替YS/T28一1992《硅片包装》。 本标准与YS/T28一1992相比主要变化如下： 扩大了标准的范围，增加了硅研磨片包装和太阳能电池用硅片包装； 一增加了规范性引用文件、术语和定义等； 增加了包装的干扰因素。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司、江 苏协鑫硅材料科技发展有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、东莞市华源光电科技有限公司。 本标准主要起草人：王飞尧、孙燕、马林宝、夏根平、林清香、楼春兰、王志同。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： YS/T28—1992。 I YS/T28—2015 片包装 硅 1范围 本标准规定了硅片的包装。 本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片（简称硅研磨片）包装 和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T12964 硅单晶抛光片 GB/T12965 硅单晶切割片和研磨片 GB/T 14139 硅外延片 GB/T 14264 半导体材料术语 GB/T26071 太阳能电池用硅单晶切割片 GB/T 29055 太阳电池用多晶硅片 GB/T29506 300mm硅单晶抛光片 GB50073 洁净厂房设计规范 3术语和定义 GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 洁净包装 cleanpackage 用专用的运输片盒对抛光片、外延片、SOI等晶片进行包装，使其在运输、存过程中避免颗粒、金 属及有机物等对片盒中晶片的沾污。 3.2 结合胶带 seamtape 有黏附层的胶带，用于密封晶片盒的座和盖之间的接口。 3.3 片盒 waferbox 由一个盒座和一个盒盖组成的封闭容器，其中带有装载晶片的片篮，一起组成一套晶片片盒。用于 贮存和运输晶片。 3.4 inner wrap 内包装袋 封装专用片盒的内层包装袋，通常采用洁净的塑料袋。 3.5 外包装袋 outer wrap 将已封装内包装袋的专用片盒再次封装用的外层包装袋，通常采用防潮、防静电的铝箔袋 1 YS/T28—2015 3.6 外包装箱 outercarton 运输装有多个双层封装专用片盒的纸箱。 3.7 EPP材料expandedpolypropylene EPP是发泡聚丙烯的缩写，是一种新型泡沫塑料的简称。 3.8 EPE材料expandablepolyethylene 可发性聚乙烯，又称珍珠棉，是非交联闭孔结构。它是以低密度聚乙烯（LDPE)为主要原料挤压生 成的高泡沫聚乙烯制品。 3.9 EPS材料 +expandablepolystyrene 可发性聚苯乙烯（EPS)通称聚苯乙烯和苯乙烯系共聚物，是一种树脂与物理性发泡剂和其他添加 剂的混合物。 3.10 时间雾 timedelayhaze;TDH 经洁净封装后的硅抛光片表面随时间的延迟，由于各种原因导致表面生成了一层雾状，严重时在目 检灯下看到的各种颜色的雾。 4干扰因素 4.1洁净包装干扰因素 4.1.1装载经过清洗、检验合格的硅片应使用专用片盒，且该片盒也应经过专用设备的清洗、干燥，以 保证片盒不会对其中的硅片造成损伤和沾污。专用片盒的制备材料应保证尽可能减少有机或无机析出 物，同时应保证其规格尺寸在规定的范围内。 4.1.2缠绕片盒座与片盒盖接缝处的结合胶带应尽可能避免对操作员和洁净间设备等带来沾污。 4.1.3内包装袋应经过处理，达到能在国标2级以上洁净间使用的要求。 4.1.4外包装袋应能隔绝外部的潮气和静电。 4.1.5 对包装使用的结合胶带、标签用纸、标签上标识的印刷材料、标签背面的不干胶应使用可以在洁 净间使用的材料，以减少对硅片和洁净间的沾污。 4.1.6包装袋在运输和贮存过程中因各种原因造成漏气、破损都可能会给其中的硅片带来沾污。 4.1.7在封装过程中，应保证专用片盒不因充气或真空而变形，否则将造成片盒开启困难，也会造成其 中硅片与片盒接触处的沾污、划伤、崩边，甚至破碎。 4.1.8当片盒内出现崩边或碎片时，晶渣或碎片会造成对片盒内其他硅片划伤或沾污。 4.1.9片盒及其中片篮的反复使用可能因其机械完整性或洁净度问题给硅片带来损伤或沾污。 4.1.10不合理的包装操作过程，可能给硅片或片盒等带来沾污，特别是专用硅片运输片盒的装片和盖 盒以及密封装盒过程都可能直接带来硅片的沾污 4.1.11 包装时，不适宜的环境湿度可能会造成硅片贮存后的时间雾，甚至形成色斑。 4.1.12包装时环境的洁净度也会给硅片表面带来影响，特别是专用硅片运输片盒密封装盒以及之前 4.1.13 3硅片在运输过程中应注意减震、防潮，装卸时不得抛扔。 2 YS/T 28—2015 4.2硅研磨片包装干扰因素 4.2.1包装硅研磨片用的包装纸、隔纸应尽可能减少纸屑或纤维的析出，防止粘在硅片表面形成二次 沾污。 4.2.2包装盒的大小应适中，一般比硅片直径大0.2mm～0.5mm为宜。过小则容易在包装过程中压 碎硅片，过大则容易在后续运输过程中使硅片晃动，造成碎片。 4.2.3包装盒应紧实致密，否则容易析出包装材料的细小颗粒，黏附在硅片表面，形成二次沾污。 4.2.4包装时，过高的环境湿度可能会造成硅片表面形成一层水雾，再次打开后易吸附环境中的尘埃， 形成二次沾污，推荐在湿度70%以下的环境中包装。 4.2.6硅片在运输过程中应注意减震、防潮，装卸时不得抛扔。 4.3太阳能电池用硅片包装干扰因素 4.3.1包装太阳能硅片用的隔纸或隔板应尽可能减少纸屑或纤维的析出，防止黏在硅片表面形成二次 沾污。 4.3.2缓冲材料或包装盒的尺寸应在规定范围内。过小则容易在包装过程中压碎硅片，过大则容易在 后续运输过程中使硅片晃动，造成碎片。 4.3.3包装后应检查硅片四边是否整齐、不滑动，避免凹凸不平，造成缺角等，如有异常应重新进行 包装。 4.3.4填充材料时应保证硅片没有晃动现象。 4.3.5包装时，过高的环境湿度可能会造成硅片或包装材料表面形成一层水雾，再次打开后易吸附环 境中的尘埃，形成二次沾污，推荐在湿度70%以下的环境中包装。 4.3.6包装时环境的空气洁净度也会给硅片表面带来影响，推荐在国标6级以上的洁净室进行。 4.3.7硅片在运输过程中应注意减震、防潮，装卸时不得抛扔 5包装 5.1 包装环境 硅片的包装环境应符合表1的规定，其中空气洁净度等级应符合GB50073的规定。 表1包装环境 要求 项目 洁净包装 硅研磨片包装 太阳能硅片包装 空气洁净度等级 2级 5级 6级 温度/℃ 20~26 20 ~ 26 16~30 相对湿度 30%~60% ≤70% ≤70% 5.2包装材料 5.2.1洁净包装需要的包装材料有：聚氯乙烯密封片盒、结合胶带、内包装袋、外包装袋、外包装箱等。 5.2.2 带等。 3