ICS 77. 040 YS H 17 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 1301-2019 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法 Determination of phosphorus oxychloride, phosphorus trichloride in chlorosilanesGas chromatography-mass spectrometry method 2019-08-02发布 2020-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1301—2019 前言 本标准按照GB/T1.1--2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员 会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2)提出并归口。 本标准起草单位：内蒙古盾安光伏科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、青海黄河上游水电开发 本标准主要起草人：齐林喜、姚利忠、侯海波、张艳玲、折科、楚东旭、薛心禄、程远梅、邱艳梅。 YS/T1301—2019 氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法 警告一一使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问 题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。 1范围 本标准规定了氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。 本标准适用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的测定。氯硅烷中三氯氧磷的测定范围为 0.3ug/kg～100μg/kg，三氯化磷的测定范围为3μg/kg～100ug/kg。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T4844纯氨、高纯氨和超纯氨 GB/T4946气相色谱法术语 GB/T33336一2016高纯工业品三氟氧磷 3术语和定义 GB/T4946界定的术语和定义适用于本文件。 4方法原理 将氯硅烷样品经液体进样口导人气相色谱-质谱联用仪（GC-MS)，经毛细管色谱柱将氯硅烷主体和 含磷杂质分开，采用全扫描方式定性含磷杂质的存在形式及其保留时间，用外标法选择性离子扫描对氯 硅烷中磷杂质进行定量，获得氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的含量。 5干扰因素 5.1测试用的化学试剂应满足一定的纯度要求，纯度较低的试剂对测试结果影响较大，且会造成较大的 数据误差。 5.2标准溶液应现配现用，长时间储存会对标准溶液测试数据的准确性造成影响。 5.3环境相对湿度应小于65%，环境湿度太高，易导致氯硅烷的水解及影响液体的进样量。 6试剂和材料 6.1除非另有说明，分析时均使用符合相关标准的试剂或材料。 1 YS/T1301—2019 6.2高纯氯硅烷：磷杂质含量不大于0.3ug/L。 6.3三氯氧磷：应符合GB/T33336一2016中6N级三氯氧磷的规定。 6.4三氯化磷：分析纯，含量（质量分数)不小于99.0%，用高纯氨气（符合GB/T4844的规定)保护。 6.5苯：水含量不大于1mg/L，醇类含量不大于1mg/L。 7仪器设备 7.1气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)：单位质量分辨率优于2M，配带PTFE头的10uL的自动进样针。 推荐的分析条件参见附录A。 7.2毛细管色谱柱，VRX或其他能达到同等分离效果的毛细管色谱柱。 7.3注射器，1mL。 7.4色谱进样瓶，容量2mL。 7.5电子天平，分度值为0.0001g。 8样品 氯硅烷样品应为无色透明、无肉眼可见杂质的液体。 9试验步骤 9.1定性扫描 以高纯氯硅烷（6.2)为溶剂，用重量法将三氯氧磷（6.3)和三氯化磷（6.4)配制为约10mg/kg的混合 标准溶液在气相色谱-质谱联用仪上进行全扫描，确定保留时间。三氯氧磷、三氯化磷在毛细管色谱柱上 的典型谱图见附录A。 9.2标准曲线的绘制 9.2.1根据被测氯硅烷样品中磷杂质的含量范围，以高纯氯硅烷（6.2)为溶剂，用重量法配制5个覆盖 被测磷杂质含量的三氯氧磷、三氯化磷系列混合标准溶液。 9.2.2用1mL注射器分别准确吸取1mL苯（6.5)和0.5mL系列标准溶液（9.2.1），置于2mL色谱进样 瓶中混匀，在气相色谱-质谱联用仪上进行测定。在各待测物质的保留时间内选择相应的特征离子，根据 待测物质特征离子的响应值及对应待测物质的含量绘制标准曲线，标准曲线的线性相关系数应不小于 0.999。各待测物质的特征离子（质荷比）见表1。 表1待测物质的特征离子 名称 特征离子(质荷比） 三氯氧磷 152 三氯化磷 136 9.3样品测定 用1mL注射器准确吸取1mL苯（6.5)和0.5mL试样溶液，置于2mL色谱进样瓶中混匀，在气相色 谱-质谱联用仪上进行测定，分别测定出三氯氧磷、三氯化磷的响应值，根据响应值在标准曲线上查出各 被测物质的含量。 2 YS/T1301-2019 10精密度 10.1重复性 在重复性条件下获得的两次独立测试结果的测定值，在表2给出的平均值范围内，这两个测试结果 的绝对差值不超过重复性限(r），超过重复性限(r)的情况不超过5%，重复性限（r)按表2数据采用线性 内插法求得。 表2重复性限 三氯氧磷含量 重复性限r 三氯化磷含量 重复性限r μg/kg μg/kg μg/kg μg/kg 0. 24 2. 8 0. 3 3 5 0. 33 5 0. 82 10 0. 63 10 1. 08 50 2. 83 50 5. 61 100 17 100 7. 8 10.2 允许差 实验室之间分析结果的差值应不大于表3所列允许差。 表3允许差 三氯氧磷含量 允许差 三氯化磷含量 允许差 μg/kg μg/ kg μg/kg μg/kg 5 0. 34 5 1. 4 10 1. 03 10 1. 20 50 4. 10 50 10. 6 100 18. 3 100 24 11 质量保证和控制 每月应用自制的控制标样（如有国家级或行业级标样时，应优先使用)校核一次本标准分析方法的有 效性。当过程失控时应找出原因，纠正错误，重新进行校核。 试验报告 12 试验报告应包含以下内容： a) 样品信息； b) 本标准编号； c) 分析条件参数； (P 分析结果及表示； 分析实验室及分析人员； f) 其他异常现象； g) 报告日期。 3 YS/T1301--2019 附录A （资料性附录） 气相色谱-质谱联用仪的推荐分析条件及典型谱图 A.1参考分析条件 气相色谱-质谱联用仪的推荐分析条件如下： 色谱柱：DB-VRX毛细管柱； a) b) 进样口温度：150℃； c) 接口温度：200℃； (P 离子源温度：230℃； e) 柱温（程序升温）：初始温度40℃，保持27min；以25℃/min速度上升到180℃，保持7min； f) 进样量：1μL； g) 脉冲分流，分流比为3：1； h) 气质联用仪进行调谐达到较高的信噪比。 A.2 典型的谱图 三氯氧磷、三氯化磷在毛细管色谱柱上典型的谱图如图A.1所示。 三氯化磷 三氯氧磷 图A.1 三氯氧磷、三氯化磷在毛细管色谱柱上典型的谱图 4