ICS 77.150.60 H62 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1151—2016 锡蒸发料 Evaporatedtinmaterial 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1151—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司。 本标准主要起草人：徐学礼、张涛、陈明、刘书芹、何金江、杨永刚、于海洋、曾浩、万小勇。 I YS/T1151—2016 锡蒸发料 1范围 本标准规定了锡蒸发料的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书以及订 货单（或合同）内容。 本标准适用于半导体行业用的锡蒸发料。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是未注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 YS/T36（所有部分）高纯锡化学分析方法 3要求 3.1产品分类 3.1.1锡蒸发料按照化学成分分为IC-Sn99.99、IC-Sn99.999、IC-Sn99.9999三个牌号。 3.1.2锡蒸发料主要分为片状、柱状，如图1所示。 L T A a）片状 b)柱状 说明： A——长度； B—宽度； C——厚度 L—长度； D直径。 图1 锡蒸发料示意图 1 YS/T1151—2016 3.2标记示例 3.2.1片状标记示例 IC-Sn99.999×× 厚，单位为mm 宽，单位为mm 长，单位为mm 示例：厚为2mm，长为10mm、宽为10mm，纯度为99.999%的片状锅蒸发料产品标记为： 锅蒸发料YS/T1151-IC-Sn99.999-2X10×10 3.2.2柱状标记示例 IC-Sn99.999-× 长度，单位为mm 直径，单位为mm 示例：直径为6mm、长为6mm、纯度为99.999%的柱状锡蒸发料产品标记为： 锡蒸发料YS/T1151-IC-Sn99.999-$6×6 3.3化学成分 锡蒸发料的化学成分要求见表1。 表1锡蒸发料的化学成分 Sn（质量分数)/% 杂质含量（质量分数）×10-/%，不大于 牌号 不小于 Ag Al As Au 18 Cu Fe IC-Sn99.9999 666666 0.01 0.05 0.05 0. 01 0.05 0.05 0. 01 0.05 0.05 IC-Sn99.999 99.999 0,5 0. 3 0,5 0.1 0.5 0.5 0.1 0,5 0.5 IC-Sn99.99 66'66 5.0 5.0 一 25.0 5.0 25.0 - - 一 Sn（质量分数）/%， 杂质含量（质量分数）×10-/%，不大于 牌号 不小于 In Mg Ni Pb qs Zn 杂质总和 IC-Sn99.9999 666666 0.02 0. 05 0.05 0. 05 0. 05 0. 05 1. 0 IC-Sn99.999 666°66 0.2 0.5 0.5 0.5 0.3 0.5 10.0 IC-Sn99.99 99,99 35.0 20.0 5.0 100.0 注：需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商执行。 “杂质总和为表中所列杂质含量实测值之和。 b锡蒸发料的锡含量为100%减去表中所列杂质含量实测值之和的余量。 3.4 几何尺寸 锡蒸发料的几何尺寸及允许偏差见表2。 2 YS/T1151—2016 表2几何尺寸及允许偏差 单位为毫米 片状 柱状 项目 A B c D L 10.0 10.0 2.0 3.0 6.0 尺寸 15.0 15.0 2.0 6.0 6.0 允许偏差 ±0.5 ±0,5 ±0.2 ±0.2 ±0.5 注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的锡蒸发料。 3.5外观质量 3.5.1 锡蒸发料表面应光亮平整、洁净，边角完整，无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。 3.5.2 锡蒸发料表面应清洁，无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。 3.5.3 锡蒸发料端面或表面充许有轻微的冲、剪、裁等痕迹，不超过充许偏差。 试验方法 4.1 锡蒸发料化学成分的分析方法按YS/T36（所有部分）的规定进行。 4.2锡蒸发料几何尺寸用相应精度的量具测量。 4.3 外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。 5 检验规则 5.1 检查和验收 5.1.13 锡蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同）的规定，并填 写质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准和订货单（或合同）的规 定不符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供 需双方在需方共同进行。 5.2 组批 锡蒸发料应成批提交检验。每批应由同一牌号、同一几何尺寸的产品组成。 5.3 检验项目及取样 检验项目、取样位置及数量应符合表3的规定。 表3 检验项目、取样位置及数量 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 试验的章条号 每批一份，供方可以由原材料分析结果报出， 化学成分 3.3 4.1 任意 需方在产品上取样分析 几何尺寸 按GB/T2828.1取S-1，AQL=1.5抽取样品 3. 4 4. 2 成品随机取样 外观质量 成品随机取样 按GB/T2828.1取S-1，AQL=1.5抽取样品 3.5 4, 3 3 YS/T1151—2016 5.4检验结果的判定 5.4.1化学成分不合格时，则判该批产品为不合格。 5.4.2几何尺寸、外观质量有一项不合格时，重新取双倍样进行重复试验，若仍有不合格，则判该批产 品不合格。但允许对余下的产品进行逐件检验，合格者重新组批交货。 6 标志、包装、运输、贮存和质量证明书 6.1标志 在已检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签，并注明以下内容： a）产品名称； b）纯度； c）规格； d）净重； e）批号； f）生产日期； g) 供方名称； h) 生产厂家地址电话。 6.2 2包装、运输和贮存 6.2.1 锡蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种，塑料瓶包装的瓶口铝封膜应封口完整，无 开裂、无贯通。真空袋封口应平整无贯通，真空袋体无漏洞，无真空泄漏。 6.2.2产品外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。 6.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，并保证运输过程中产品及包装完整 6.3 3质量证明书 每批产品应附有质量证明书，并注明以下内容： 供方名称； a) b）产品名称； c）纯度； d)规格； e）数量； f）净重； g）批号； h) 生产日期； i） 执行标准号（YS/T1151—2016）。 订货单（或合同）内容 订购本标准所列产品的订货单（或合同）应包括下列内容： a）产品名称； b）纯度； c）规格； 4 YS/T1151—2016 d) 供货状态； e) 数量； f) 执行标准号（YS/T1151—2016）； 其他。 g) 5