YS ICS77.150.60 H 62 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1151—2016 锡蒸发料 Evaporatedtinmaterial 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1151—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司。 本标准主要起草人：徐学礼、张涛、陈明、刘书芹、何金江、杨永刚、于海洋、曾浩、万小勇。 I YS/T1151—2016 锡蒸发料 1范围 本标准规定了锡蒸发料的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书以及订 货单(或合同)内容。 本标准适用于半导体行业用的锡蒸发料。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是未注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 YS/T36（所有部分）7 高纯锡化学分析方法 3要求 3.1产品分类 3.1.1锡蒸发料按照化学成分分为IC-Sn99.99、IC-Sn99.999、IC-Sn99.9999三个牌号。 3.1.2 锡蒸发料主要分为片状、柱状，如图1所示。 L D A a)片状 b)柱状 说明： A——长度； B—宽度； C——厚度； L长度； D—直径。 图1锡蒸发料示意图 1 YS/T1151—2016 3.2标记示例 3.2.1 片状标记示例 IC-Sn99.999-口×口× 厚，单位为mm 宽，单位为mm 长，单位为mm 示例：厚为2mm、长为10mm、宽为10mm，纯度为99.999%的片状锅蒸发料产品标记为： 锡蒸发料YS/T1151-IC-Sn99.999-2×10×10 3.2.2 柱状标记示例 IC-Sn99.999-× 长度，单位为mm 直径，单位为mm 示例：直径为6mm、长为6mm、纯度为99.999%的柱状锡蒸发料产品标记为： 锅蒸发料YS/T1151-IC-Sn99.999-6×6 3.3 化学成分 锡蒸发料的化学成分要求见表1。 表1 锡蒸发料的化学成分 Sn（质量分数)/% 杂质含量（质量分数）×10-/%，不大于 牌号 不小于 Ag Al As Au 18 Ca Co Cu Fe IC-Sn 99.999 9 6666'66 0. 01 0. 05 0. 05 0. 01 0. 05 0. 05 0. 01 0. 05 0.05 IC-Sn 99. 999 666'66 0.5 0. 3 0.5 0.1 0. 5 0.5 0. 1 0.5 0. 5 IC-Sn 99. 99 66°66 5. 0 - 5. 0 25, 0 5. 0 25.0 一 Sn（质量分数)/%， 杂质含量（质量分数)×10-*/%，不大于 牌号 不小于 In Mg IN Pb qs Zn 杂质总和 IC-Sn 99, 999 9 99.999 9 0, 02 0, 05 0, 05 0, 05 0, 05 0, 05 1. 0 IC-Sn 99. 999 66666 0.2 0.5 0. 5 0.5 0.3 0.5 10.0 IC-Sn 99. 99 66'66 一 一 一 35.0 20,0 5. 0 100, 0 注：需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商执行。 “杂质总和为表中所列杂质含量实测值之和， b锡蒸发料的锡含量为100%减去表中所列杂质含量实测值之和的余量。 3.4 几何尺寸 锡蒸发料的几何尺寸及允许偏差见表2。 2 YS/T1151—2016 表2几何尺寸及允许偏差 单位为毫米 片状 柱状 项目 A B c D L 10. 0 10. 0 2. 0 3. 0 6. 0 尺寸 15. 0 15. 0 2. 0 6. 0 6. 0 允许偏差 ±0. 5 ±0.5 ±0.2 ±0.2 ±0.5 注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的锡蒸发料。 3.5 外观质量 3.5.1 锡蒸发料表面应光亮平整、洁净，边角完整，无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。 3.5.2 锡蒸发料表面应清洁，无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。 3.5.3 锡蒸发料端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹，不超过允许偏差。 试验方法 4.1 锡蒸发料化学成分的分析方法按YS/T36（所有部分）的规定进行。 4.2 锡蒸发料几何尺寸用相应精度的量具测量。 4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。 检验规则 5.1 检查和验收 5.1.1 锡蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同）的规定，并填 写质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准和订货单（或合同）的规 定不符时，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供 需双方在需方共同进行。 5.2组批 锡蒸发料应成批提交检验。每批应由同一牌号、同一几何尺寸的产品组成。 5.3 检验项目及取样 检验项目、取样位置及数量应符合表3的规定。 表3 检验项目、取样位置及数量 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 试验的章条号 每批一份，供方可以由原材料分析结果报出， 化学成分 任意 3. 3 4, 1 需方在产品上取样分析 几何尺寸 按GB/T2828.1取S-1,AQL=1.5抽取样品 3. 4 4. 2 成品随机取样 外观质量 按GB/T2828.1取S-1,AQL=1.5抽取样品 3. 5 成品随机取样 4, 3 3