YS ICS 77.150.70 H 62 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1150—2016 高纯钴铸锭 High purity cobalt ingot 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 中华人民共和国有色金属 行 业标准 高纯钻铸锭 YS/T1150—2016 * 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号（100029） 北京市西城区三里河北街16号(100045) 网址www.spc.net.cn 总编室：(010)68533533 发行中心：(010)51780238 读者服务部：(010)68523946 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 * 开本880×1230 1/16 印张0.5 字数10千字 2017年5月第一版 2017年5月第一次印刷 书号：155066·2-31624 定价 14.00元 YS/T1150—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司。 本标准主要起草人：张涛、姚力军、李勇军、王学泽、何金江、宋佳、罗俊锋、袁海军、贺昕、陈勇军、 曾浩、赵玉林、刘丹、熊晓东、万小勇。 H YS/T1150—2016 高纯钻铸锭 1范围 本标准规定了高纯钻铸锭的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书以及 订货单（或合同）内容。 本标准适用于半导体钻靶材制造所需的高纯钻铸锭。其他行业所需的高纯钻铸锭也可参照使用。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 YS/T1011 高纯钻化学分析方法杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 3要求 3.1产品分类 高纯钻铸锭按化学成分分为Co-4N5和Co-5N两个牌号。 3.2化学成分要求 3.2.1 高纯钻铸锭的化学成分 高纯钻铸锭的化学成分见表1。 表1高纯钻铸锭的化学成分 Co（质量分数） 杂质含量（质量分数)/×10-*%，不大于 牌号 %,不小于 Ag Al B B CI Cr Cu Fe K Co-5N 666°66 0. 1 1. 0 0. 1 1. 0 1. 0 1. 0 1. 0 3. 0 0. 05 Co-4N5 2. 0 2. 0 一 - - 1. 0 2. 0 10. 0 0. 2 99.995 Co（质量分数) 杂质含量（质量分数)/×10-*%，不大于 牌号 %,不小于 Li Mg Mn Mo Na Ni IS Sn Ti Co-5N 666'66 0. 1 0.1 1. 0 1. 0 0. 05 6. 0 1. 0 0. 5 2. 0 Co-4N5 $66'66 2. 0 1. 0 0. 2 8.0 5. 0 2. 0 一 一 杂质含量（质量分数)/×10-*%，不大于 Co（质量分数） 牌号 %，不小于 V Zn Th U Zr 杂质总和 Co-5N 666'66 0. 5 0. 1 0.000 1 0.0001 1. 0 1. 0 10 1 YS/T1150—2016 表1(续) Co（质量分数) 杂质含量（质量分数)/×10-*%，不大于 牌号 %,不小于 V Zn Th U w Zr 杂质总和 Co-4N5 66°66 1. 0 0. 01 0. 01 50 - 注：用户对某种特定杂质元素含量有特殊要求的，由供需双方协商确认 a杂质总和为表中所列杂质含量实测值之和。 b高纯钻铸锭的钻含量为100%减去表中所列杂质含量实测值总和的余量。 3.2.2高纯钻铸锭的气体元素含量 高纯钻铸锭中的气体元素含量见表2。 表2高纯钻铸锭的气体元素含量 Co(质量分数)/%， 气体元素含量（质量分数)/X10-*%，不大于 牌号 不小于 c H N 0 s 666°66 30 10 20 100 10 Co-4N5 $66'66 50 10 20 150 20 3.3外形尺寸 高纯钻铸锭形状一般为圆柱型，其外形尺寸及允许偏差由供需双方协商。铸锭如图1所示。 图1高纯钻铸锭示意图 3.4外观质量 高纯钻铸锭表面应洁净，无裂纹、毛刺、夹杂、孔洞和其他沾污。 3.5内部缺陷 高纯钻铸锭内部应连续一致，内部应无气孔、疏松、缩孔和夹杂等缺陷。 4试验方法 4.1化学成分分析方法 4.1.1高纯钻铸锭中杂质元素的分析方法按YS/T1011的规定执行。 4.1.2高纯钻铸锭中碳、氢、氮、氧、硫杂质元素的分析按照GB/T14265的规定执行。 2 YS/T1150—2016 4.2外形尺寸 高纯钻铸锭的外形尺寸由相应精度的量具检测。 4.3外观质量 外观质量用目视检查或10倍放大镜下检查。 4.4内部缺陷 高纯钻铸锭内部缺陷检查按YS/T837的规定进行。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准或订货单（或合同）的规定，并填写 质量证明书。 5.1.2需方对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准或订货单（或合同）的规定不 符，应在收到产品之日起30日内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样在需方，由供 需双方共同进行。 5.2组批 产品应成批提交验收。每批应由同一投料批、同种牌号和同一规格的产品组成。 5.3检验项目和取样规定 检验项目、取样位置及数量应符合表3规定。 表3检验项目、取样位置及数量 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 试验方法的章条号 化学成分 3. 2 4. 1 铸锭上部和底部 2个样品/铸锭 外形尺寸 成品 逐锭 3. 3 4. 2 外观质量 成品 逐锭 3. 4 4. 3 内部缺陷 成品 逐锭 3. 5 4. 4 5.4检验结果判定 化学成分、外形尺寸、外观质量和内部缺陷，其中有一项不合格时，判该铸锭不合格。 6标志、包装、运输、贮运和质量证明书 6.1标志 每个产品上应贴标签，内容包括： a）产品名称； b）牌号； c）规格尺寸；