YS ICS 77.150.99 H 63 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T11422016 钒蒸发料 Evaporatedvanadiummaterial 2017-01-01实施 2016-07-11发布 中华人民共和国工业和信息化部 发布 中华人民共和国有色金属 行业标准 钒蒸发 料 YS/T1142—2016 * 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲-2号(100029) 北京市西城区三里河北街16号（100045) 网址www.spc.net.cn 总编室：(010)68533533 发行中心：(010)51780238 读者服务部：(010)68523946 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 * 开本880×12301/16印张1字数24千字 2017年5月第一版 2017年5月第一次印刷 书号：155066·2-31621定价 18.00元 YS/T1142—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司。 本标准参加起草单位：北京有色金属研究总院。 本标准主要起草人：张涛、张巧霞、陈明、徐国进、张殿凯、张玉利、贾存锋、贺昕、王兴权、庞欣、吕超、 章程。 YS/T1142—2016 钒蒸发料 1范围 本标准规定了钒蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同 （或订货单)内容。 本标准适用于半导体行业用的钒蒸发料。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 3要求 3.1产品分类 3.1.1产品按照纯度分为IC一V99.9、IC - V99.95两个牌号。 3.1.2 2产品主要分为片状和柱状，如图1所示。 L A c a)片状 b)柱状 说明： A—边长; B- 一边长； 一厚度； D——直径; L—长度。 图1钒蒸发料示意图 3.2化学成分 产品的化学成分要求见表1。产品中钒的含量按照减量法计算，即100%减去表中规定的杂质实测 总和而得。需方对某种特定杂质元素含量有要求时，由供需双方协商执行。 1 YS/T1142—2016 表1化学成分 V(质量分数)/%， 杂质含量（质量分数)/%，不大于 牌号 不小于 Al B Cr Fe Mo Nb Ni IC-V 99. 9 99. 9 0. 02 0. 001 0. 002 0. 01 0. 01 0. 01 0.002 IC-V 99. 95 $6'66 0.008 0.001 0. 002 0. 01 0.005 0. 005 0. 001 V质量分数)/%， 杂质含量（质量分数)/%，不大于 牌号 不小于 IS Sn Ta Ti W Zr IC-V 99. 9 99. 9 0. 04 0. 005 0. 005 0. 001 0. 002 0. 001 IC-V 99. 95 99.95 0.025 0.005 0.005 0. 001 0.002 0. 001 3.3 几何尺寸 产品的规格及允许偏差见表2。 表2 规格及允许偏差 单位为毫米 片状 柱状 项目 A B c D L 10 10 2 3 6 尺寸 15 15 2 6 6 允许偏差 s'0 ±0.5 ±0. 2 ±0. 2 ±0. 5 注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的产品。 3.4 外观质量 3.4.1 产品表面应光亮平整，边角完整，无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。 3.4.2 产品表面应清洁、无油污和锈蚀，应无颗粒附加物和其他沾污。 3.4.3 3产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹。 4 试验方法 4.1产品牌号为IC-V99.9的化学成分分析按附录A进行，产品牌号为IC-V99.95的化学成分分析 按附录B的规定进行。 4.2产品几何尺寸用相应精度的量具进行测定。 4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1产品由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和合同（或订货单）的规定，并填写质 量证明书。 2 YS/T1142—2016 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不 符时，应在收到产品之日起一个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需 双方在需方共同进行。 5.2组批 产品应成批提交检验。每批应由同一牌号、同一规格的产品组成。 5.3检验项目及取样 检验项目、取样位置及数量应符合表3的规定。 表3检验项目及取样 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 试验方法的章条号 每批一份，供方可以由原铸锭分析结果报出； 化学成分 任意 3. 2 4. 1 需方在产品上取样分析 几何尺寸 成品随机取样 按GB/T2828.1取S-1，AQL=1.5抽取样品 3. 3 4.2 外观质量 成品随机取样 按GB/T2828.1取S-1，AQL=1.5抽取样品 3. 4 4. 3 5.4检验结果的判定 5.4.1化学成分不合格时，则判该批产品为不合格。 5.4.2几何尺寸、外观质量不合格时，则判该批产品不合格。但允许对余下的产品进行逐件检验，合格 者重新组批交货。 6标志、包装、运输、贮存及质量证明书 6.1标志 已检验合格的每瓶或每袋产品应附标签，并注明以下内容： a）产品名称； b）牌号； c）规格； d）净重； e）批号； f）生产日期； g） 供方名称； h) 生产厂家地址电话。 6.2包装、运输和购存 6.2.1钒蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种，塑料瓶包装的瓶口铝封膜应封口完整，无 开裂、无贯通。真空袋封口应平整，无贯通，真空袋体无漏洞和泄漏。 6.2.2产品外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。 6.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中产品及包装完整。 6.2.4产品应保存于清洁、干燥的环境中。 3