ICS71.060.50 CCSG12 中华人民共和国国家标准 GB/T30901—2025 代替GB/T30901—2014 高纯氟化铵溶液 Highpurityammoniumfluoridesolution 2025-08-29发布 2026-03-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T30901—2014《高纯氟化铵溶液》,与GB/T30901—2014相比,除结构调整和编 辑性改动外,主要技术变化如下: a) 增加了EL级、UP级和UP-SSS级产品等级和指标要求(见第5章); b) 更改了氟化铵含量(见6.2,2014年版的5.2); c) 更改了UP-SS级氟硅酸铵含量(见6.2,2014年版的5.2); d) 增加了银、金、铋等14个指标项目(见6.2); e) 更改了氟化铵含量测定方法为自动电位滴定法(见7.3,2014年版的6.3); f) 更改了氟硅酸铵含量测定方法为电感耦合等离子体质谱法(见7.4,2014年版的6.4); g) 更改了氯化物等阴离子含量测定方法中试验步骤(见7.7.4,2014年版的6.7.4); h) 更改了银、铝等35项杂质元素含量测定方法中试验步骤(见7.8.4,2014年版的6.8.4); i) 删除了安全条款(见2014年版的第10章)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国石油和化学工业联合会提出。 本文件由全国化学标准化技术委员会(SAC/TC63)归口。 本文件起草单位:中巨芯科技股份有限公司、多氟多新材料股份有限公司、浙江凯圣氟化学有限公 司、中巨芯(湖北)科技有限公司、贵州瓮福蓝天氟化工股份有限公司、湖北兴力电子材料有限公司、贵州 胜威凯洋化工有限公司、湖北宜化氟化工有限公司、福建省建阳金石氟业有限公司、瑞士万通中国有限 公司、梅特勒托利多科技(中国)有限公司、福建永晶科技股份有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、 中海油天津化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:张学良、薛旭金、赵晓亚、付铁柱、张楠、彭飞、马磊、杨博、吴震球、刘斌华、袁春伟、 刘春花、田海峰、郭凤鑫、程文海、叶文豪、杨建成、蒋梁疏、陈维、王雪梅、李海艳、应韵进、李柚、郝赫、 刘世鹏、冀然、赵美敬、李霞。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为: ———2014年首次发布,本次为第一次修订。 ⅠGB/T30901—2025 高纯氟化铵溶液 1 范围 本文件规定了高纯氟化铵溶液的分类、要求、试验方法、检验规则、标志和随行文件、包装、运输和 贮存。 本文件适用于高纯氟化铵溶液。 注:该产品主要应用于太阳能光伏电池、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB/T191—2008包装储运图示标志 GB/T6678 化工产品采样总则 GB/T6680 液体化工产品采样通则 GB/T6682—2008 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T23769—2009无机化工产品 水溶液中pH值测定通用方法 GB/T23770—2009 液体无机化工产品色度测定通用方法 JJG814—2015 自动电位滴定仪检定规程 HG/T3696.1 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第1部分:标准滴定溶 液的制备 HG/T3696.2 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第2部分:杂质标准溶 液的制备 HG/T3696.3 无机化工产品 化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备 第3部分:制剂及制品 的制备 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 分子式和相对分子质量 分子式:NH4F。 相对分子质量:37.04(按2022年国际相对原子质量)。 5 分类 高纯氟化铵溶液按用途分为5个等级: 1GB/T30901—2025 a) EL级:主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件等的制造; b) UP级:主要用于线宽为0.8μm~1.2μm集成电路的清洗与蚀刻; c) UP-S级:主要用于线宽为0.2μm~0.8μm集成电路的清洗与蚀刻; d) UP-SS级:主要用于线宽为0.09μm~0.2μm集成电路的清洗与蚀刻; e) UP-SSS级:主要用于线宽小于0.09μm集成电路的清洗与蚀刻。 6 要求 6.1 外观:无色透明液体。 6.2 高纯氟化铵溶液按本文件规定的试验方法检测应符合表1的规定。 表1 项 目指 标 EL级 UP级 UP-S级UP-SS级UP-SSS级 氟化铵(NH4F)w/% 35.0±1.0或40.0±1.0 氟硅酸铵[(NH4)2SiF6]/(mg/kg) ≤ — — 10 5 1 色度/黑曾 ≤ 10 10 10 10 5 pH(10g/L溶液,25℃) 6.0~7.5 氯化物(以Cl计)/(mg/kg) ≤ 5 5 0.2 0.05 0.01 硝酸盐(以NO3计)/(mg/kg) ≤ 3 3 0.1 0.05 0.01 磷酸盐(以PO4计)/(mg/kg) ≤ 1 1 0.1 0.05 0.01 硫酸盐(以SO4计)/(mg/kg) ≤ 5 5 0.2 0.05 0.01 银(Ag)/(μg/kg) ≤ — 10 1 0.1 0.02 铝(Al)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 0.02 砷(As)/(μg/kg) ≤ 300 10 1 0.1 0.02 金(Au)/(μg/kg) ≤ — 10 1 0.1 0.02 硼(B)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 0.02 钡(Ba)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 0.02 铍(Be)/(μg/kg) ≤ — — 1 0.1 0.02 铋(Bi)/(μg/kg) ≤ — 10 1 0.1 0.02 钙(Ca)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 0.02 镉(Cd)/(μg/kg) ≤ 50 10 1 0.1 0.02 钴(Co)/(μg/kg) ≤ — — 1 0.1 0.02 铬(Cr)/(μg/kg) ≤ 20 10 1 0.1 0.02 铜(Cu)/(μg/kg) ≤ 20 10 1 0.1 0.02 铁(Fe)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 0.02 镓(Ga)/(μg/kg) ≤ — — 1 0.1 0.02 锗(Ge)/(μg/kg) ≤ — 10 1 0.1 0.02 2GB/T30901—2025 表1(续) 项 目指 标 EL级 UP级 UP-S级UP-SS级UP-SSS级 钾(K)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 0.02 锂(Li)/(μg/kg) ≤ 20 10 1 0.1 0.02 镁(Mg)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 0.02 锰(Mn)/(μg/kg) ≤ 50 10 1 0.1 0.02 钼(Mo)/(μg/kg) ≤ — 10 1 0.1 0.02 钠(Na)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 0.02 铌(Nb)/(μg/kg) ≤ — — 1 0.1 0.02 镍(Ni)/(μg/kg) ≤ 50 10 1 0.1 0.02 铅(Pb)/(μg/kg) ≤ 50 10 1 0.1 0.02 钯(Pd)/(μg/kg) ≤ — 10 1 0.1 0.02 锑(Sb)/(μg/kg) ≤ 50 10 1 0.1 0.02 锡(Sn)/(μg/kg) ≤ 20 10 1 0.1 0.02 锶(Sr)/(μg/kg) ≤ — 10 1 0.1 0.02 钽(Ta)/(μg/kg) ≤ — 10 1 0.1 0.02 钛(Ti)/(μg/kg) ≤ 100 10 1 0.1 0.02 铊(Tl)/(μg/kg) ≤ — 10 1 0.1 0.02 钒(V)/(μg/kg) ≤ — — 1 0.1 0.02 锌(Zn)/(μg/kg) ≤ 50 10 1 0.1 0.02 锆(Zr)/(μg/kg) ≤ — 10 1 0.1 0.02 颗粒/(个/mL)(≥1.0μm) ≤ 50 — — — — (≥0.5μm) ≤ — 25 5 — — (≥0.2μm) ≤ — — — 10 10 (≥0.1μm) ≤ — — — — 50 7 试验方法 警告:本试验方法中所使用的部分试剂或材料具有腐蚀性,操作者应小心谨慎,避免与皮肤接触,如 接触到皮肤上应立即用水冲洗,严重者应立即治疗。 7.1 一般规定 本文件所用试剂和水,在没有注明其他要求时,均指分析纯试剂或材料和GB/T6682—2008中规 定的三级水。试验中所用标准滴定溶液、杂质标准溶液、制剂及制品,在没有注明其他要求时,均按 HG/T3696.1、HG/T3696.2、HG/T3696.3的规定制备。 3GB/T30901—2025 7.2 外观检验 在自然光下,将试样置于聚乙烯瓶中,用目视法判定外观。 7.3 氟化铵含量的测定 7.3.1 原理 使用电位滴定法测定氟化铵含量,电极与试样溶液组成一个工作电池,用氢氧化钠标准滴定溶液滴 定。在滴定终点附近,氢离子(H