(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222389232.3 (22)申请日 2022.09.08 (73)专利权人 合肥晶合 集成电路股份有限公司 地址 230012 安徽省合肥市新站区合肥综 合保税区内西淝河路8 8号 (72)发明人 许忠晖　张艳　武云超　 (74)专利代理 机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 专利代理师 林安安 (51)Int.Cl. F04B 51/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种外加式流量量测装置、 混合设备及清洗 机 (57)摘要 本实用新型提供一种外加式流量量测装置、 混合设备及 清洗机， 所述外加式流量量测装置包 括量测桶， 以及第一阀组和第二三通分流阀； 所 述混合设备包括一个混液槽、 至少两个输送泵， 以及与输送泵的入口、 出口连通的上述外加式流 量量测装置。 还提供一种清洗机， 包括至少一个 主机台， 以及上述的混合设备， 所述混合设备将 混合液输送至主机台的生产腔室内。 通过设置多 组三通阀和开关阀将输送泵中的出液量导入量 测桶中， 能够避免化学品输送拆管量测接触到化 学品， 提高人员安全、 降低成本和提高品质良率； 因增加水路在输送泵前， 在更换输送泵时可以对 输送泵进行清洗， 提高更 换人员安全。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 217950649 U 2022.12.02 CN 217950649 U 1.一种外加式流 量量测装置， 量测至少一个输送泵的流 量， 其特征在于， 包括： 量测桶， 该量测桶用于 接收输送泵的出 液量； 以及 第一阀组和第二 三通分流阀； 所述第一阀组的第一入口外接输送液， 第一阀组的出口与输送泵的入口连通； 所述第 二三通分流阀的入口与输送泵的出 口连通， 第二三通分流阀的第一出 口外接输出， 所述第 二三通分流阀的第二出口与所述量测 桶的入口连通， 所述第二三通分流阀第二出口为可拆 卸式管路连接 。 2.根据权利要求1所述的外加式流量量测装置， 其特征在于， 还包括第 一三通分流阀和 第一开关阀， 所述第一阀组为第一三通合流阀， 所述第一三通合流阀的第二入口分别与第 一三通分流阀的第一出口和第一开关阀的入口连通， 所述第一三通分流阀的入口外接输 入， 第一三通分流阀的第二出口外 接输出， 所述第一 开关阀的出口为可拆卸式管路连接 。 3.根据权利要求1所述的外加式流量量测装置， 其特征在于， 所述量测桶设置在样品量 测箱内。 4.根据权利要求1 ‑3任一项所述的外加式流量量测装置， 其特征在于， 所述量测桶的测 量体积范围为5 00ml—2000ml。 5.根据权利要求1 ‑3任一项所述的外加式流量量测装置， 其特征在于， 所述输送泵为至 少两个。 6.根据权利要求2所述的外加式流量量测装置， 其特征在于， 所述第 一三通分流阀的入 口外接清洗液。 7.根据权利要求1 ‑3任一项所述的外加式流量量测装置， 其特征在于， 所述输送泵为定 量泵、 计量齿轮泵中的任一种。 8.一种混合设备， 其特 征在于， 包括： 一个混液槽； 至少两个输送泵， 该输送泵能够将输送液送入混液槽； 以及 与输送泵的入口、 出口连通的如权利要求2所述的外加式流 量量测装置 。 9.根据权利要求8所述的混合设备， 其特征在于， 所述第一三通分流阀的第二出口、 第 二三通分流阀的第一出口均 与混液槽连通。 10.根据权利要求8所述的混合设备， 其特征在于， 还包括第 二三通合流阀， 该第 二三通 合流阀的第一入口与所述混液槽的排液口连通， 第二三通合流阀的第二入口与所述量测 桶 的出口连通， 第二 三通合流阀的出口外 接输出。 11.根据权利要求10所述的混合设备， 其特征在于， 所述量测桶的出口设置第二开关 阀。 12.根据权利要求10所述的混合设备， 其特征在于， 所述第 二三通合流阀的第 二入口为 可拆卸式管路连接 。 13.一种清洗机， 其特征在于， 包括至少一个主机台， 以及如权利要求8 ‑12任一项所述 的混合设备， 所述混合设备将混合液输送至主机台的生产腔室内清洗 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217950649 U 2一种外加式流量 量测装置、 混合设 备及清洗机 技术领域 [0001]本实用新型涉及生产辅助设备技术领域， 具体涉及一种外加式流量量测装置、 混 合设备及清洗 机。 背景技术 [0002]半导体芯片清洗设备包括多种， 其中单片式清洗机是由几个清洗腔体组成， 再通 过机械手将每一片晶圆送至各个腔体中进行单独的喷淋式清洗， 清洗效果较好， 避免了交 叉污染和前批次污染后批次， 具有极高的工艺环境控制能力与微粒去除能力， 有效解决晶 圆之间交叉污染的问题。 清洗机所需的清洗液是通过外挂式混酸槽提供， 混酸槽将一种或 多种化学品进行混合后送到各主机台的生产腔室进行清洗 。 [0003]因混酸后的化学品浓度比会影响到芯片产品良率， 故如果化学品浓度有差异时， 须对定量泵10的出口进行拆管操作， 并使用量杯40量测定量泵打出来的量， 从而计算化学 品输送流量是否有误差， 决定是否更换定量泵， 参照图1。 但拆管直接用量杯40量测， 操作人 员会直接接触到化学品， 安全危害高， 需穿戴安全护具、 产生额外废弃物处理与事后洗槽所 需化学品费用， 进而提高公司成本； 拆管还会导致有异物进入到混液槽30内而导致产品缺 陷， 进而降低品质良率。 此外， 若量测后发现定量泵流量异常需要更换， 被回收的定量泵还 需要单独进行清洗， 也会 存在危险性， 效率低且进一 步增加企业成本 。 实用新型内容 [0004]为解决上述技术问题， 本实用新型利用外加式流量量测装置对混合设备 中的混液 槽进行输送泵流 量的量测， 具体技 术方案如下： [0005]一种外加式流 量量测装置， 量测至少一个输送泵的流 量， 包括： [0006]量测桶， 该量测桶用于 接收输送泵的出 液量； 以及 [0007]第一阀组和第二 三通分流阀； [0008]所述第一阀组的第一入口外接输送液， 第一阀组的出口与输送泵的入口连通； 所 述第二三通分流阀的入口与输送泵的出 口连通， 第二三通分流阀的第一出 口外接输出， 所 述第二三通分流阀的第二出口与所述量测桶的入口连通， 所述第二三通分流阀第二出口为 可拆卸式管路连接 。 [0009]进一步地， 本实用新型还增加了输送泵冲洗功能， 具体还包括第一三通分流阀和 第一开关阀， 所述第一阀组为第一三通合流阀， 所述第一三通合流阀的第二入口分别与第 一三通分流阀的第一出口和第一开关阀的入口连通， 所述第一三通分流阀的入口外接输 入， 第一三通分流阀的第二出口外 接输出， 所述第一 开关阀的出口为可拆卸式管路连接 。 [0010]本实用新型还提供一种混合设备， 包括： [0011]一个混液槽； [0012]至少两个输送泵， 该输送泵能够将输送液送入混液槽； 以及 [0013]与输送泵的入口、 出口连通的上述外加式流 量量测装置 。说　明　书 1/4 页 3 CN 217950649 U 3