(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123374806.1 (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 唐山联威科技有限公司 地址 063000 河北省唐山市玉田县彩亭桥 镇东五里屯村 (72)发明人 孟庆雨　 (74)专利代理 机构 天津英扬昊睿专利代理事务 所(普通合伙) 12227 专利代理师 钱雪岷 (51)Int.Cl. B24B 55/06(2006.01) B05B 15/40(2018.01) (54)实用新型名称 一种晶圆用压力喷淋装置 (57)摘要 本实用新型提供一种晶圆用压力喷淋装置， 其特征在于包括喷洒壳、 流砂管、 固定座、 出流 板、 观察镜、 挡板、 六角螺母， 所述喷洒壳上侧设 置有流砂管， 所述流砂管外侧套装有固定座， 所 述喷洒壳右侧设置有出流板， 所述出流板内开设 有出流孔， 所述喷洒壳内通过螺栓安装有挡板， 所述喷洒壳下侧开设有凹槽， 且喷洒壳的凹槽外 侧设置有螺纹孔， 所述凹槽内设置有观察镜， 所 述螺纹孔内设置有六角螺母； 本实用新型通过设 置挡板， 能使挡板过滤冲洗水中的沙石， 防止出 流板中的出流孔堵塞； 并且再在喷洒壳下侧设置 有观察镜， 能方便操作人员随时对喷洒壳内的挡 板进行观 察， 方便操作人员定期 对挡板进行拆卸 清洗， 提高了其实用性。 权利要求书1页 说明书2页 附图3页 CN 216608616 U 2022.05.27 CN 216608616 U 1.一种晶圆用压力喷淋装置， 其特征在于包括喷洒壳、 流砂管、 固定座、 出流板、 观察 镜、 挡板、 六角螺母， 所述喷洒壳上侧设置有流砂管， 所述流砂管外侧套装有固定座， 所述喷 洒壳右侧设置有出流板， 所述出流板内开设有出流孔， 所述喷洒壳内通过螺栓安装有挡板， 所述喷洒壳下侧 开设有凹槽， 且喷洒壳的凹槽外侧设置有螺纹孔， 所述凹槽内设置有观察 镜， 所述螺纹孔内设置有六角螺母。 2.按照权利要求1所述的一种晶圆用压力喷淋装置， 其特征在于所述喷洒壳通过六角 螺母与外界固定架固定 。 3.按照权利要求1所述的一种晶圆用压力喷淋装置， 其特征在于所述挡板与喷洒壳成 45°至60°斜角， 所述挡板为滤网型 结构。 4.按照权利要求1所述的一种晶圆用压力喷淋装置， 其特征在于所述固定座内开设有 安装孔， 所述 流砂管通过固定座内的安装孔与外界水箱固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216608616 U 2一种晶圆用压力喷淋装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及化学机 械抛光技术领域， 尤其涉及一种晶圆用压力喷淋装置 。 背景技术 [0002]化学机械抛光是集成电路制造中获得全局平坦化的一种超精密表面加工工艺； 随 着集成电路制造技术的发展， 对晶圆表面缺陷的控制越来越严格； 在晶圆制造过程中， 为了 保证晶圆材料切割表面的洁净程度， 集成电路的制 造工艺中存在数百道清洗工序， 清洗工 序占了整个制造过程的20％； 传统的晶圆在生产切割 过程中， 需要用到压力喷淋喷洒正在 切割的晶圆表面， 达到去除切割过程中晶圆表面附着的残屑； 但是现有的喷淋装置长时间 使用后由于水中自带 的水质容易的堵塞喷水孔， 导致喷淋装置 喷水量减少， 导致晶圆表面 残屑， 影响晶圆生产后续的加工； 对此本实用新型提供一种晶圆用压力喷淋装置来解决上 述问题。 发明内容 [0003]根据以上技术问题， 本实用新型提供一种晶圆用压力喷淋装置， 其特征在于包括 喷洒壳、 流砂管、 固定座、 出流板、 观察镜、 挡板、 六角螺母， 所述 喷洒壳上侧设置有流砂管， 所述流砂管外侧套装有固定座， 所述喷洒壳右侧设置有出流板， 所述出流板内开设有出流 孔， 所述喷洒壳内通过螺栓安装有挡板， 所述喷洒壳下侧开设有凹槽， 且喷洒壳的凹槽外侧 设置有螺纹孔， 所述凹槽内设置有观察镜， 所述螺纹孔内设置有六角螺母。 [0004]所述喷洒壳通过 六角螺母与外界固定架固定 。 [0005]所述挡板与喷洒壳成45 °至60°斜角， 所述挡板为滤网型 结构。 [0006]所述固定座内开设有安装孔， 所述流砂管通过固定座内的安装孔与外界水箱固定 连接。 [0007]本实用新型的有益效果为： 本实用新型通过在喷洒壳内设置有挡板， 使其挡板与 喷洒壳成45 °至60°斜角， 并且使挡板为滤网型结构； 在使用时， 冲洗水由流砂管灌入， 通过 高压水进入到喷洒壳内， 再 由喷水壳中的挡板对其冲洗水进行过滤， 过滤完成后的水 由出 流板中的出流孔喷出对其加工中的晶圆进行冲洗； 本实用新型通过设置挡板， 能使挡板过 滤冲洗水中的沙石， 防止出流板中的出流孔堵塞； 并且再在喷洒壳下侧设置有观察镜， 能方 便操作人员随时对喷洒壳内的挡板进行观察， 方便操作人员定期对挡板进行拆卸清洗， 提 高了其实用性。 附图说明 [0008]图1为本实用新型 结构示意图； [0009]图2为本实用新型剖视图； [0010]图3为本实用新型仰视图。 [0011]如图， 1‑喷洒壳、 2 ‑流砂管、 3 ‑固定座、 4 ‑出流板、 5 ‑观察镜、 6 ‑挡板、 7‑六角螺母、说　明　书 1/2 页 3 CN 216608616 U 3