(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111467195.7 (22)申请日 2021.12.0 3 (71)申请人 广东翔国科技有限公司 地址 523000 广东省东莞 市茶山镇茶山伟 兴路9号2号楼 (72)发明人 雷泽民　覃泽虎　 (74)专利代理 机构 东莞市浩宇专利代理事务所 (普通合伙) 44460 代理人 许王军 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) G03F 7/20(2006.01) C23F 1/02(2006.01) (54)发明名称 一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的 散热均温片的蚀刻工艺 (57)摘要 本发明公开了一种取代原有烧结铜网或印 刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻工艺， 其特征在 于， 包括以下步骤： 步骤A： 采用菲林机绘制出散 热均温片图案， 图案中包括产品外形图和内部毛 细结构图案， 其中反面绘制出外形图案， 正面绘 制外形图案和内部毛细结构， 图案由宽度为30um 的狭缝与宽度为30um的线条交错组成； 步骤B： 取 一金属片， 将其表面清洗烘干， 以使其达因值达 到50， 然后在金属片两面涂覆上抗腐蚀感光层， 制得带感光层金属片， 本发明工艺能够缩短制作 散热均温片的流程， 节省了 人力， 物力的投入， 节 省了制作成本并且使其结构更稳固， 性能更加优 良。 权利要求书2页 说明书3页 CN 114126372 A 2022.03.01 CN 114126372 A 1.一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻工艺， 其特征在于， 包 括以下步骤： 步骤A： 采用菲林机绘制出散热均温片图案， 图案 中包括产品外形图和内部毛细结构图 案， 其中反面绘制出外形图案， 正面绘制外形图案和内部毛细结构， 图案由宽度为30um的狭 缝与宽度为3 0um的线条交错组成； 步骤B： 取一金属片， 将其表面清洗烘干， 以使其达因值达到50， 然后在金属片两面涂覆 上抗腐蚀感光层， 制得 带感光层金属片； 步骤C： 将步骤A制作的菲林正反面通过预设镜像靶标图案对其焊接， 使其外形图案正 反面安全重叠， 制得夹层菲林片； 步骤D： 将步骤B制得的带感光层金属片置于步骤C制得的夹层菲林片中， 然后进行曝 光， 使得金属片上涂覆抗腐蚀感光层的局部区域因菲林图案遮光而得不到硬化， 其他区域 因见光而硬化； 步骤E： 将曝光后的金属片进行显影， 将完成步骤D的产品通过碳酸钠溶液喷淋， 使其未 硬化的抗腐蚀感光层脱落， 再对其清洗烘干， 从而制作出产品外形和内部毛细结构狭缝完 全裸露而其它区域有抗腐蚀感光层保护的金属片； 步骤F： 将完成E步骤的金属片进行化学腐蚀， 除去表面抗腐蚀感光层， 再对其清洗烘 干， 制得自带毛细结构散热均温片。 2.根据权利要求1所述的一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻 工艺， 其特 征在于： 步骤A中， 狭缝和线条交错组成的图案厚度为3 0um。 3.根据权利要求1所述的一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻 工艺， 其特 征在于： 抗腐蚀感光层为感光油墨或 感光干膜。 4.根据权利要求1所述的一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻 工艺， 其特征在于： 步骤B中清洗烘干按照如下工序进行： (1)采用浓度为5％的除油剂喷淋 清洗， 温度为45～55℃； (2)三道溢流自来水洗； (3)采用浓度为3％的盐酸中和水洗； (4)两 道自来水洗； (5)烘干 。 5.根据权利要求2所述的一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻 工艺， 其特征在于： 抗腐蚀感光层为感光油墨， 涂覆感光油墨时， 感光油墨每5kg油墨添加 350ml溶剂， 单面涂覆厚度为20um， 涂覆感光油墨后进行烘干处理， 烘烤温度为120℃， 烘烤 时间为2mi n。 6.根据权利要求2所述的一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻 工艺， 其特征在于： 抗腐蚀感光层为 感光干膜， 感光干膜厚度为20um， 涂覆感光干膜时， 覆膜 温度为10 0～120℃， 压膜滚轮压力为0.3～0.5 Mpa， 压膜滚轮速为1.0～3.0m/mi n。 7.根据权利要求1所述的一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻 工艺， 其特征在于： 步骤D中， 曝光尺的曝光能量控制在4格， 曝光功率为40～55mj/c m2， 曝光 时间为10 0ms～200ms。 8.根据权利要求1所述的一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻 工艺， 其特征在于： 步骤E中， 采用0.78～0.82wt％碳酸钠溶液， 温度为35～50℃， 喷淋压力 为0.12～0.2Mpa， 喷淋时间为2mi n。 9.根据权利要求1所述的一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片的蚀刻权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114126372 A 2工艺， 其特征在于： 步骤 F中， 使用三氯化铁或者三氯化铜溶液进 行化学腐蚀， 溶液溶度为39 ～45波美度， 温度为 48～52℃。 10.根据权利要求1所述的一种取代原有烧结铜网或印刷铜粉烧结的散热均温片 的蚀 刻工艺， 其特征在于： 步骤F中清洗按照如下工序进行： (1)三道溢流水洗； (2)采用浓度为 3％的草酸中和水洗； (3)纯 水洗； (4)烘干 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114126372 A 3