(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212316 0704.X (22)申请日 2021.12.15 (73)专利权人 广东先导 微电子科技有限公司 地址 511500 广东省清远市高新区创兴三 路16号A车间 (72)发明人 翁吉露　郑金龙　周铁军　廖彬　 曾琦　王驭辉　张昌文　 (74)专利代理 机构 清远市清城区诺誉知识产权 代理事务所 (普通合伙) 44815 专利代理师 龚元元 (51)Int.Cl. B26D 7/26(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于 裁剪抛光垫的裁 剪工具 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于裁剪抛光垫的 裁剪工具， 旨在可以适用于不同尺 寸抛光底盘的 抛光垫的裁剪， 并方便收纳存放， 其技术方案： 一 种用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 包括主杆、 伸缩 杆和副杆， 所述主杆上设有可转动的转动件， 所 述伸缩杆的一端通过第一锁紧件与转动件连接、 另一端通过第二锁紧件与副杆连接， 所述副杆的 底部设有刀片； 当第一锁紧件和第二锁紧件均处 于紧固状态时， 将主杆抵紧在抛光垫上且其轴线 穿过抛光底盘的圆心与抛光底盘相垂直， 刀片抵 紧在抛光底盘的外缘跟随伸缩杆的转动进行裁 剪； 当第一锁紧件和第二锁紧件均处于解锁状态 时， 主杆和副杆可分别绕伸缩 杆的两个端部进行 转动， 属于半导体晶片加工技 术领域。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216831247 U 2022.06.28 CN 216831247 U 1.一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 其特征在于， 包括主杆、 伸缩杆和副杆， 所述主杆 上设有可转动的转动件， 所述伸缩杆的一端通过第一锁紧件与转动件连接、 另一端通过第 二锁紧件与副杆 连接， 所述副杆的底部设有刀片； 当第一锁紧件和第 二锁紧件均处于 紧固状态时， 将主杆抵紧在抛光垫上且其轴线穿过 抛光底盘的圆心与抛光底盘相垂 直， 刀片抵紧在抛光底盘的外缘跟随伸缩杆的转动进 行裁 剪； 当第一锁紧件和第 二锁紧件均处于解锁状态时， 主杆和副杆可分别绕伸缩杆的两个端 部进行转动。 2.根据权利要求1所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 其特征在于， 所述转动件包括环 状本体， 所述环状本体内固定有用于与主杆转动连接的轴承， 所述环状本体的外壁周向并 排布置有两个夹片； 所述第一锁紧件包括第一螺杆把手、 与第一螺杆把手相配合的螺母， 所述夹片和伸缩 杆上均设有第一通孔， 所述第一螺杆把手穿过夹片和伸缩杆上的第一通孔与所述螺母锁 紧， 拧松第一螺杆把手主杆便可绕伸缩杆的端部进行转动。 3.根据权利要求1所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 其特征在于， 所述第 二锁紧件包 括第二螺杆把手， 所述伸缩杆上设有第二通孔， 所述副杆上设有与第二通孔相对应的第一 螺纹孔， 所述第二螺杆把手穿过第二通孔与第一螺纹孔锁紧， 拧松第二螺杆把手副杆便可 绕伸缩杆的端部进行转动。 4.根据权利要求1所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 其特征在于， 所述伸缩杆包括第 一管体、 套设在第一管体内的第二管体， 所述第一管体与转动件连接， 所述第二管体与第二 锁紧件连接且可沿第一管体的长度方向伸缩； 所述第一管体和第二管体均为方 管。 5.根据权利要求4所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 其特征在于， 所述第 一管体上设 有沿其长度方向延伸的长腰孔， 所述第二管体上设有与长腰孔相对应的第二螺纹孔， 还包 括第三螺杆把手， 所述第三螺杆把手穿过长腰孔与第二螺纹孔锁紧， 进而阻止第二管体的 伸缩。 6.根据权利要求4所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 其特征在于， 当第 一锁紧件和第 二锁紧件均处于紧固状态时， 主 杆与第一管体之 间的夹角为90 °， 副杆与第二管体之间的夹 角为90°。 7.根据权利要求6所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 其特征在于， 所述第 一管体的上 侧设有第一限位板， 所述第一限位板用于抵紧夹片靠近第一管体的一端， 当主杆向上转动 使夹片抵紧第一限位板时， 主杆与第一管体之间的夹角为90 °。 8.根据权利要求6所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 其特征在于， 所述第 二管体的上 侧设有第二限位板， 所述第二限位板用于抵紧副杆靠近第一管体的一侧， 当副杆向上转动 抵紧第二限位板时， 副杆与第二管体之间的夹角为90 °。 9.根据权利要求1所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 其特征在于， 所述主杆用于与 抛 光垫接触的一 面设有弹性软垫 。 10.根据权利要求1所述的用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 其特征在于， 所述刀片通过一 刀片夹具固定在所述副杆的底部 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216831247 U 2一种用于裁剪抛光垫的裁剪 工具 技术领域 [0001]本实用新型属于半导体晶片加工技术领域， 更具体而言， 涉及一种用于裁剪抛光 垫的裁剪工具。 背景技术 [0002]抛光是半导体晶片在加工过程中必不可少的一道工序， 可以让半导体晶片的表面 光滑， 提高其精度。 半导体晶片抛光时需要用到抛光垫， 抛光垫会粘贴在抛光底盘上， 使用 时将半导体晶片贴合到抛光垫上， 通过抛光底盘的旋转来抛光半导体晶片， 为了保证抛光 质量， 抛光垫需要经常更 换。 [0003]抛光垫在更换时， 是将抛光垫粘贴到抛光底盘上， 然后人工裁剪掉抛光垫 的多余 部分， 使其吻合抛光底盘的盘面， 避免旋转时出现脱胶的情况， 但是使用刀片直接裁剪时， 抛光垫的边 缘容易参差不齐， 且裁 剪效率低。 [0004]针对这种情况， CN113442181A公开了一种用于抛光垫的裁剪装置及方法， 所述装 置包括： 裁剪主体， 所述裁剪主体的边缘弧度与抛光盘的边缘弧度相同； 所述裁剪主体的至 少一端设置有裁剪刀片， 所述裁剪刀片能够紧贴所述抛光盘的边缘， 以裁剪待裁剪的抛光 垫中与所述抛光盘不适应的部分； 设置在所述主体上 的至少一个按压单元， 所述按压单元 用于在裁剪过程中按压所述裁剪主体， 以实现所述待裁剪的抛光垫在裁剪过程中不会与所 述抛光盘之间发生相对移动。 [0005]上述裁剪装置虽然能够裁剪抛光垫， 但是其裁剪主体的长度是固定不变的， 也就 是一个裁 剪装置只能对应一个抛光底盘的尺寸进行裁 剪， 适用性比较差； [0006]同时， 该裁剪装置的结构是无法改变的， 既无法伸缩， 又无法折叠， 在裁剪完毕后， 只能够按现状进行存放， 非常不 好收纳。 实用新型内容 [0007]本实用新型的主要目的在于提供一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 旨在可以适用 于不同尺寸抛光底盘的抛光垫的裁 剪， 并方便收纳存放。 [0008]根据本实用新型的第一方面， 提供了一种用于裁剪抛光垫的裁剪工具， 包括主杆、 伸缩杆和副杆， 所述主杆上设有可转动的转动件， 所述伸缩杆的一端通过第一锁紧件与转 动件连接、 另一端通过第二锁紧件与副杆 连接， 所述副杆的底部设有刀片； [0009]当第一锁紧件和第二锁紧件均处于紧固状态时， 将主杆抵紧在抛光垫上且其轴线 穿过抛光底盘的圆心与抛光底盘相垂直， 刀片 抵紧在抛光底盘的外缘跟随伸缩杆的转动进 行裁剪； [0010]当第一锁紧件和第二锁紧件均处于解锁状态时， 主杆和副杆可分别绕伸缩杆的两 个端部进行转动。 [0011]上述的用于裁剪抛光垫 的裁剪工具中， 所述转动件包括环状本体， 所述环状本体 内固定有用于与主杆转动连接的轴承， 所述环状本体的外壁周向并排布置有两个夹片；说　明　书 1/4 页 3 CN 216831247 U 3