(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111626368.5 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 上海华力微电子有限公司 地址 201315 上海市浦东 新区良腾路6号 (72)发明人 刘欣欣　张峰　何瑜　艾伟光　 程杰　 (74)专利代理 机构 上海思微知识产权代理事务 所(普通合伙) 31237 代理人 周耀君 (51)Int.Cl. G05B 19/418(2006.01) G06Q 10/04(2012.01) G06Q 10/06(2012.01) G06Q 10/10(2012.01) G06F 16/906(2019.01) (54)发明名称 基于Q-time容时区间站点断线的智能调控 方法及系统 (57)摘要 一种基于Q ‑time容时区间站点断线的智能 调控方法， 包括： 合并三层首位相连的Q ‑time区 间， 形成嵌套Q ‑time容时区间， 获取起始站点与 下游断线站点组合后根据风险等级判定的调控 方式； 针对每一Lot检测多层Q ‑time容时区间内 每一作业站点设备状况； 针对每一Lot仿真预测 多层Q‑time容时区间内每个站点对应设备作业 程式可作业状况； 针对每一Lot仿真预测多层Q ‑ time容时区间内每一作业站点信息； 储存Q ‑time 容时区间内每一作业站点断线信息， 针对调控 方 式进行标记， 形成运行路径(Run  Path)集合， 用 于晶圆制造单元产品(Lot)映射Q ‑time容时区间 每一站点， 进行判定是否可调度派工。 本发明不 仅可提高派工调度准确性， 降低人为错误预判， 而且降低重新作业概率， 减少设备复机后闲置时 间， 改善产品流 通速率及生产周期。 权利要求书1页 说明书11页 附图2页 CN 114296413 A 2022.04.08 CN 114296413 A 1.一种基于Q ‑time容时区间站点断线的智能调控方法， 其特征在于， 所述基于Q ‑time 容时区间站点断线的智能调控方法， 包括： 执行步骤S1： 合并三层 首位相连的Q ‑time区间， 形成嵌套Q ‑time容时区间， 获取起始站 点与下游断线站点组合后根据风险等级判定的调控方式； 执行步骤S2： 针对每一晶圆制造单元产品(Lot)检测多层Q ‑time容时区间内每一作业 站点设备状况； 执行步骤S3： 针对每一晶圆制造单元产品(Lot)仿真预测多层Q ‑time容时区间内每个 站点对应设备作业 程式可作业状况； 执行步骤S4： 针对每一晶圆制造单元产品(Lot)仿真预测多层Q ‑time容时区间内每一 作业站点信息； 执行步骤S5： 储存Q ‑time容时区间内每一作 业站点断线信息， 针对调控方式进行标记， 形成运行路径(Run  Path)集合， 用于晶圆制造单元产品(Lot)映射Q ‑time容时区间每一站 点， 进行判定是否可调度派工； 执行步骤S6： 根据储存信息形成调度系统， 用于指导生产线人员解决断线问题， 为确保 获得设备及站点实时信息， 在实时派工时重新判别是否调度派工 。 2.如权利要求1所述基于Q ‑time容时区间站点断线的智能调控方法， 其特征在于， Q ‑ time容时区间合并后 在Q‑time起始站点形成新的Q ‑time容时区间， 选取最长的第三Q ‑time 容时区间所包 含的站点， 仿真预测每一站点的可作业情况。 3.如权利 要求2所述基于Q ‑time容时区间站点断线的智能调控方法， 其特征在于， 可作 业情况包括设备状况， 设备作业条件， 站点特殊信息 。 4.如权利 要求1所述基于Q ‑time容时区间站点断线的智能调控方法， 其特征在于， 每一 作业站点设备状况 的检测包括： 针对每一站点对应设备获取设备状况标示是否可作业， 以 及针对每一站点对应设备获取宕机与复机信息， 仿真预测设备 可作业信息 。 5.如权利 要求1所述基于Q ‑time容时区间站点断线的智能调控方法， 其特征在于， 每个 站点对应设备作业程式可作业状况预测包括： 晶圆制造单元产品(Lot)作业程式存在的每 台设备是否禁止作业， 以及晶圆制造单元产品(Lot)是否 可无视禁止(Exception  Inhibit) 作业。 6.如权利 要求1所述基于Q ‑time容时区间站点断线的智能调控方法， 其特征在于， 每一 作业站点信息预测包括： 指定样 本(Sampling)量测 信息， 站点跳站(Skip)信息， 是否忽略此 站点断线信息， 当晶圆制造单元产品(Lot)剩余Q ‑time小于或等于N小时是否忽略此站 点作 业信息的预测。 7.一种如权利要求1所述基于Q ‑time容时区间站点断线 的智能调控方法之系统， 其特 征在于， 所述基于Q ‑time容时区间站 点断线的智能调控系统包括电讯号连接的信息获取模 块， 信息仿真处理模块， 信息存 储模块， 信息 输出模块。 8.如权利 要求7所述基于Q ‑time容时区间站点断线的智能调控系统， 其特征在于， 所述 基于Q‑time容时区间站点 断线的智能调控系统以界面展现， 所述界面进一步包括： 第一部 分总体断线情况， 第二部 分具体站 点断线情况， 第三部 分断线晶圆制造单元产品(Lot)信息 以及断线原因， 以及第四部分断线晶圆制造单 元产品(L ot)所在Q ‑time容时区间信息 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114296413 A 2基于Q‑time容时 区间站点断线的智能调控方 法及系统 技术领域 [0001]本发明涉及半导体制造技术领域， 尤其涉及一种基于Q ‑time容时区间站点断线的 智能调控方法及系统。 背景技术 [0002]半导体集成电路晶圆制造过程中由于工艺制程需求， 在某些站点特别是关键站点 需要设置最长等待时间(Queue  Time,Q‑time)， 要求从某一站点(Q ‑time起始站点)到另一 站点(Q‑time结束站点)之间， 必须在设置时长内进入Q ‑time结束站点机台进行作业； 若超 过设置时长未在Q ‑time结束站点进入机台作业， 则晶圆制造单元产品(Lot)有报废或重新 作业(Rew ork)风险， 导 致晶圆生产成本的增 加， 甚至影响产品的及时交货。 [0003]因此， 晶圆制造单元产品(Lot)在Q ‑time起始站点智能调度时需考虑下游相关站 点是否可作业。 当 晶圆制造单元产品(Lot)在Q ‑time起始站点时要考虑下游每一站点的可 作业情况， 即在Q ‑Time容时区间内每一站点是否线路畅通未断线。 若下游至少有一站点 断 线， 则不进行调度； 若下游所有站点畅通， 则进行调度。 [0004]目前， 现有生产线人员判断下游站点是否断线， 只能凭经验或手动预约检测每站 点作业情况， 当生产线突然变动或Q ‑time容时区间变动或工艺更新等情况发生时， 不能系 统的获取相关信息， 这就导致晶圆制造单元产品(Lot)存在报废及重新作业风险； 当设备计 划维修时， 凭经验在Q ‑time起始站 点决定何时管控晶圆制造单元产品(Lot)不作业， 导致Q ‑ Time容时区间内晶圆制造单元产品(Lot)存在报废及重新作业风险； 复机时无法科学的预 测复机时间， 从而 无法及时在Q ‑time起始站点放货， 导致下游设备复机时无法作业， 致使设 备空闲， 从而影响产能。 [0005]寻求一种可对区间内每一站点的设备、 作业条件、 特殊工艺管控等进行仿真预测 断线情况， 并智能预测设备可作业状况， 科学综合诊断出晶圆制造单元产品(Lot)在Q ‑time 起始站点是否可智能调度， 最终降低晶圆制造单元产品(Lot)概率报废及重新作业风险， 改 善产品流通速率及生产周期的智能调控方法及系统已成为本领域技术人员亟待解决的技 术问题之一。 [0006]故针对现有技术存在的问题， 本案设计人凭借从事此行业多年的经验， 积极研究 改良， 于是有了 本发明一种基于Q ‑time容时区间站点断线的智能调控方法及系统。 发明内容 [0007]本发明之第一目的是针对现有技术中， 传统晶圆制造单元产品(Lot)在Q ‑time起 始站点调度时依靠生产线 人员判断下游站点是否断线， 凭借经验或手动预约检测每站点作 业情况， 当生产线突然变动或Q ‑time容时区间变动或工艺更新等情况发生时， 不能系统的 获取相关信息， 这就导致晶圆制造单元产品(Lot)存在报废及重新作业风险； 当设备计划维 修时， 凭经验在Q ‑time起始站点决定何时管控晶圆制造单元产品(Lot)不作业， 导致Q ‑Time 容时区间内晶圆制造单元产品(Lot)存在报废及重新作业风险； 复机时无法科学的预测复说　明　书 1/11 页 3 CN 114296413 A 3