(19)国家知识产权局
(12)发明 专利申请
(10)申请公布号
(43)申请公布日
(21)申请 号 202211032370.4
(22)申请日 2022.08.26
(71)申请人 江苏科技大学
地址 212003 江苏省镇江市京口区梦溪路2
号
(72)发明人 厉淑贞 龚渭 葸义睿 张云吉
蔡雯雯 宋正浩 窦健泰
(74)专利代理 机构 南京苏高专利商标事务所
(普通合伙) 32204
专利代理师 王美丽
(51)Int.Cl.
G01M 11/02(2006.01)
G06F 30/20(2020.01)
(54)发明名称
一种基于单幅干涉图的快速测量透镜焦距
的装置及方法
(57)摘要
本发明公开了一种基于单幅干涉图的快速
测量透镜焦 距的装置及方法, 包括沿光路依次布
设的光源、 扩束准直系统、 干涉系统和CCD, 所述
光源发出的光经扩束准直系统后, 由干涉系统的
第一分光棱镜分束, 其中一束经第一反射镜反射
形成参考光, 另一束经第二反射镜反射后透过待
测透镜形成测试光, 参考光和测试光经第二分光
棱镜合束后, 由CCD采集干涉图像。 本发明只需
CCD采集单幅干涉图进行计算, 降低了数据采集
的要求, 同时提出了基于自适应优化区间的快速
测量透镜焦距算法, 在保证测量精度的情况下,
提高了计算效率; 通过调整待测透镜与第二分光
棱镜间的距离, 获得清晰且条 纹间隔适宜的干涉
图, 可实现大 范围焦距的测量。
权利要求书2页 说明书5页 附图3页
CN 115326366 A
2022.11.11
CN 115326366 A
1.一种基于单幅干涉图的快速测量透镜焦距的装置, 其特征在于, 包括沿光路依次布
设的光源、 扩束准直系统、 干涉系统和CCD, 所述光源发出的光经扩束准直系统后, 由干涉系
统的第一分光棱镜分束, 其中一束经第一反射镜反射形成参考光, 另一束经第二反射镜反
射后透过待测透镜形成测试光, 参考光和测试光经第二分光棱镜合束后, 由CCD采集干涉图
像。
2.根据权利要求1所述的一种基于单幅干涉图的快速测量透镜焦距的装置, 其特征在
于, 所述待测透 镜、 第二分光 棱镜和CCD共同放置在沿着同一 光轴方向移动的导轨上。
3.一种基于单幅干涉图的快速测量透 镜焦距的方法, 其特 征在于, 包括如下步骤:
步骤一、 数据库建立;
步骤二、 模型匹配。
4.根据权利要求3所述的一种基于单幅干涉图的快速测量透镜焦距的方法, 其特征在
于, 所述步骤一具体包括:
1.1: 建立系统光 程差模型, 由光 程差引入的相位建立归一 化仿真干涉图数据库;
1.2: 依据数据库内仿真干 涉图IT(x,y)有效区域内的明环数N和其对应的焦距f, 得到测
量系统的f ‑N关系曲线, 利用高斯公式对曲线拟合得非线性公式f=F(N)。
5.根据权利要求4所述的一种基于单幅干涉图的快速测量透镜焦距的方法, 其特征在
于, 所述步骤1.1具体包括:
1)以过透 镜光心并垂直于光轴的平面 为xoy平面, 光传播方向为z方向, 建立 坐标系;
2)测试光进入第二分光棱镜的入射角
其中, f为待测透镜的焦距,
根据折射定理, 得测试光进入第二分光棱镜的折射角
其中, n为第二
分光棱镜的折 射率;
3)参考光的光程: Lr=L+(n‑1)d2, 其中, L=d1+d2+d3, d1为待测透镜到第二分光棱镜的
距离, d2为第二分光棱镜的宽度, d3为第二分光棱镜到CCD靶面的距离; 测试光的光程:
则参考光与测试光间的光 程差Δ(x,y)的表达式为:
因此, 得到实验中待测干涉图归一 化后的表达式:
I(x,y)=cos[k ·Δ(x,y)]
其中, k为波矢;
4)将实验中的已知条件代入待测干涉图归一化表达式, 建立归一化仿真干涉图数据
库。
6.根据权利要求4所述的一种基于单幅干涉图的快速测量透镜焦距的方法, 其特征在
于, 步骤1.2中f=F(N)的表达式为:权 利 要 求 书 1/2 页
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2其中a1、 a2、 a3、 a4、 a5、 a6、 a7和a8为高斯公式拟合得到的待定系数, b1、 b2、 b3、 b4、 b5、 b6、 b7
和b8; c1、 c2、 c3、 c4、 c5、 c6、 c7和c8为高斯公式拟合得到的待定数值。
7.根据权利要求3所述的一种基于单幅干涉图的快速测量透镜焦距的方法, 其特征在
于, 所述步骤二具体包括:
2.1: 将实测干涉图IP(x,y)有效区域内的明环数N代入f=F(N)得到初始焦距f1;
2.2: 以初始焦距f1为索引中心, 设置步长为s的初始索引区间[ f1‑Δf,f1+Δf], 其中,
Δf=c·f1, 且0≤c≤0.5, 计 算初始索引区间 内任意焦距 对应的仿真干涉图IT(x,y)与实测
干涉图IP(x,y)之间的质量评测函数 F(fT(i));
2.3: 通过自适应算法搜索质量评测函数F(fT(i))为极小值时对应的焦距fT(i), 将其标
记为特征位置;
2.4: 以ε为判据, 若特征位置 处的fT(i)满足|fT(i)‑fT(i‑1)|>ε, 则以步长为ζ 的自适应
优化区间[fT(i)‑e·sT(i),fT(i)+e·sT(i)], 其中0<e<1,sT(i)=[fT(i)/100]+1, 替换特征
位置处的单个焦距fT(i), 之后重新计算仿真干涉图IT(x,y)与实测干涉图IP(x,y)之间的质
量评测函数值F(fT(i)), 并重新标定特征位置, 当特征位置处的焦距fT(i)满足条件|fT(i)‑
fT(i‑1)|≤ε, 则利用极值索引算法找到F(fT(i))为极小值时所对应的焦距, 即为待测透镜
的高精度焦距f。
8.根据权利要求7所述的一种基于单幅干涉图的快速测量透镜焦距的方法, 其特征在
于, 所述s为大于等于f1/100的整数。权 利 要 求 书 2/2 页
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专利 一种基于单幅干涉图的快速测量透镜焦距的装置及方法
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