(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210506498.3 (22)申请日 2022.05.11 (71)申请人 弥费实业 （上海） 有限公司 地址 200131 上海市浦东 新区中国 （上海） 自由贸易试验区临港新片区秋山路 1775弄3-4号1楼 (72)发明人 成龙　缪峰　 (74)专利代理 机构 北京清大紫荆知识产权代理 有限公司 1 1718 专利代理师 黎飞鸿　黄贞君 (51)Int.Cl. G01C 21/16(2006.01) G01C 19/00(2013.01) G01D 21/02(2006.01) H01L 21/677(2006.01) (54)发明名称 一种具有轨道监测功能的晶圆存储库及轨 道监测方法 (57)摘要 本发明提供一种具有轨道监测功能的晶圆 存储库及轨道监测方法， 存储库包括： 堆垛机； 用 于堆垛机 行走的行走轨道； 安装于堆垛机上的九 轴陀螺仪组件； 其中， 九轴陀螺仪组件对堆垛机 运行时的状态进行实时监测并将监测结果发送 给外部终端以生成监测曲线， 通过监测曲线来判 断堆垛机 是否处于正常运行状态， 从而判断行走 轨道的天轨和地轨是否异常。 通过在堆垛机上安 装九轴陀螺仪组件， 通过九轴陀螺仪组件对堆垛 机运行时的状态进行实时监测， 通过外部终端以 生成监测曲线， 通过监测曲线来判断堆垛机的运 行状态， 从而判断天轨和地轨是否发生异常， 实 现对天轨和地轨的实时监测， 能够及时发现天轨 和地轨的异常。 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 CN 114894186 A 2022.08.12 CN 114894186 A 1.一种具有轨道监测功能的 晶圆存储库， 其特 征在于， 所述存 储库包括： 堆垛机； 用于堆垛机行走的行走轨道； 以及安装于所述 堆垛机上的九轴陀螺 仪组件； 其中， 所述九轴陀螺仪组件对所述堆垛机运行时的状态进行实时监测并将监测结果发 送给外部终端以生成监测曲线， 通过所述监测曲线来判断所述堆垛机是否处于正常运行状 态， 从而判断所述行 走轨道的天轨和地轨是否异常。 2.根据权利要求1所述的具有轨道监测 功能的晶圆存储库， 其特征在于， 所述九轴陀螺 仪组件包括第一九轴陀螺仪， 所述第一九轴陀螺仪用于对所述堆垛机沿所述 天轨的运行状 态进行监测， 并将监测结果发送给外部终端以实时生成第一监测曲线， 当所述堆垛机沿着 所述天轨运行时， 所述第一九轴陀螺仪生成第一监测曲线， 通过所述第一监测曲线判断所 述天轨是否异常。 3.根据权利要求2所述的具有轨道监测 功能的晶圆存储库， 其特征在于， 所述第 一九轴 陀螺仪安装于靠近所述天轨的所述堆垛机的行驶底盘上， 以在所述堆垛机运行的过程中实 现对所述天轨的监测。 4.根据权利要求1所述的具有轨道监测 功能的晶圆存储库， 其特征在于， 所述九轴陀螺 仪组件还包括第二九轴陀螺仪， 所述第二九轴陀螺仪用于对所述堆垛机沿所述地轨运行状 态进行监测， 并将监测结果发送给外部终端以实时生成第二监测曲线， 当所述堆垛机沿着 所述地轨运行时， 所述第二九轴陀螺仪生成第二监测曲线， 通过所述第二监测曲线判断所 述地轨是否异常。 5.根据权利要求4所述的具有轨道监测 功能的晶圆存储库， 其特征在于， 所述第 二九轴 陀螺仪安装于靠近所述地轨的所述堆垛机的驱动箱上， 以在所述堆垛机运行的过程中实现 对所述地轨的监测。 6.根据权利要求1所述的具有轨道监测 功能的晶圆存储库， 其特征在于， 所述监测曲线 包括所述九轴陀螺 仪组件对所述堆垛机沿所述行 走轨道运行时的状态检测曲线。 7.根据权利要求6所述的具有轨道监测 功能的晶圆存储库， 其特征在于， 所述状态检测 包括震动检测 和平衡性检测。 8.根据权利要求3或5任一项所述的具有轨道监测功能的晶圆存储库， 其特征在于， 所 述第一九轴陀螺 仪可拆卸固定安装于 靠近所述天轨的所述 堆垛机的行驶底盘上； 和/或， 所述第二九轴陀螺仪可拆卸固定安装于靠近所述地轨的所述堆垛机的驱动箱 上。 9.根据权利要求8所述的具有轨道监测 功能的晶圆存储库， 其特征在于， 所述第 一九轴 陀螺仪通过螺 丝可拆卸固定安装于 靠近所述天轨的所述 堆垛机的行驶底盘上； 和/或， 所述第二九轴陀螺仪通过螺丝可拆卸固定安装于靠近所述地轨的所述堆垛机 的驱动箱上。 10.一种轨道监测方法， 其特征在于， 基于如权利要求1 ‑9中任意一项所述的具有轨道 监测功能的 晶圆存储库， 所述 监测方法包括： 将九轴陀螺 仪组件安装在堆 垛机上； 堆垛机工作时沿着天轨和地轨行 走；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114894186 A 2九轴陀螺仪组件对堆垛机运行时的状态进行实时监测， 将监测结果传输给外部终端并 生成监测曲线， 通过监测曲线判断堆 垛机的运行状态。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114894186 A 3