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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222143673.5 (22)申请日 2022.08.16 (73)专利权人 苏州光斯奥光电科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市相城区黄桥 街 道旺盛路苏州智能制造服务产业园南 区D栋1楼东侧 (72)发明人 刘峰 姚自强 马栗  (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 1/02(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、 液晶 面板清洗 机 (57)摘要 本实用新型涉及一种具有毛刷旋转机构的 半导体晶片、 液晶面板清洗机, 包括清洗机以及 设于所述清洗机上的送料机构和毛刷旋转机构, 所述毛刷旋转机构包括: 对称设于所述送料机构 两侧的机架; 连接于两侧所述机架、 并用于提供 竖直驱动力的Z轴驱动组件; 设于两侧所述机架 一侧、 并与所述Z轴驱动组件 连接的升降板, 所述 升降板受所述Z轴驱动组件所提供的竖直驱动力 进行升降移动。 本实用新型中的送料机构用于将 待清洗的曲面半导体晶片、 液晶面板送入到毛刷 旋转机构, 由毛刷旋转机构中的Z轴驱动组件驱 动升降板, 使升降板上的滚筒毛刷向下移动到曲 面半导体晶片、 液晶面板上, 由驱动组件驱动滚 筒毛刷进行旋转, 以清洗曲面半导体晶片、 液晶 面板。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217941024 U 2022.12.02 CN 217941024 U 1.一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、 液晶面板清洗机, 包括清洗机 (1) 以及 设于所 述清洗机 (1) 上的送料机构 (2) 和毛刷旋转机构 (3) , 其特征在于, 所述毛刷旋转机构 (3) 包 括: 对称设于所述送料机构 (2) 两侧的机架 (4) ; 连接于两侧所述机架 (4) 、 并用于提供 竖直驱动力的Z轴驱动组件 (5) ; 设于两侧所述机架 (4) 一侧、 并与所述Z轴驱动组件 (5) 连接的升降板 (6) , 所述升降板 (6) 受所述Z轴驱动组件 (5) 所提供的竖直驱动力进行升降移动; 以及, 设于所述送料机构 (2) 上 方、 并与两侧所述升降板 (6) 连接的滚筒 毛刷 (7) ; 设于其中一个所述升降板 (6) 背离所述滚筒毛刷 (7) 一侧、 并用于提供旋转驱动力的驱 动组件 (8) , 所述滚筒毛刷 (7) 受所述 驱动组件 (8) 所提供的旋转 驱动力在所述送料机构 (2) 的上方进行旋转。 2.根据权利要求1所述的一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、 液晶面板清洗机, 其特 征在于, 所述机架 (4) 的一侧设置有支撑板 (9) , 所述支撑板 (9) 上竖直设置有两个直线导轨 (901) , 所述 直线导轨 (901) 上设置有与所述升降板 (6) 连接的滑台。 3.根据权利要求1所述的一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、 液晶面板清洗机, 其特 征在于, 所述Z轴驱动组件 (5) 包括: 竖直设于两侧所述机架 (4) 内的驱动丝杆, 所述驱动丝杆上设置有与所述升降板 (6) 连 接的驱动块 (5 01) , 所述驱动块 (5 01) 内设置有与所述驱动丝杆 连接的丝杆螺母; 设于两侧所述驱动丝杆顶部的直角转向器 (5 02) ; 设于其中一个所述机架 (4) 一侧、 并用于提供旋转驱动力的伺服电机 (5 03) ; 以及, 连接于两侧所述直角转向器 (502) 、 并与所述伺服电机 (503) 连接的驱动杆 (504) , 所述 驱动杆 (504) 受所述伺服电机 (503) 所提供的旋转驱动力驱动两侧所连接的驱动丝杆带动 所述驱动块 (5 01) 所连接的升降板 (6) 进行升降移动。 4.根据权利要求1所述的一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、 液晶面板清洗机, 其特 征在于, 所述滚筒毛刷 (7) 包括滚筒以及设于所述滚筒 上的毛刷, 所述毛刷通过魔术贴与所 述滚筒连接 。 5.根据权利要求1所述的一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、 液晶面板清洗机, 其特 征在于, 所述升降板 (6) 上设置有轴承, 所述轴承中设置有与所述滚筒毛刷 (7) 连接的轴杆 (601) , 所述轴杆 (6 01) 与所述滚筒 毛刷 (7) 之间通过 联轴器 (6 02) 进行连接。 6.根据权利要求5所述的一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、 液晶面板清洗机, 其特 征在于, 所述驱动组件 (8) 包括与所述滚筒毛刷 (7) 连接的驱动电机以及设于所述升降板 (6) 、 并用于支撑所述驱动电机的支撑块, 所述支撑块内设置有与所述 驱动电机输出轴和所 述轴杆 (6 01) 连接的联轴器 (6 02) 。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217941024 U 2一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、 液晶 面板清洗机 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体晶片、 液晶面板清洗领域, 特别涉及一种具有毛刷旋转机 构的半导体晶片、 液晶面板清洗 机。 背景技术 [0002]半导体晶片、 液晶面板半导体晶片、 液晶面板清洗机是对液晶面板进行毛刷清洗 的设备。 可以清除产品在前段工艺和环境产生中的灰尘、 残胶和油污, 保证液 晶面板&半导 体晶片的稳定性, 为下一道工序做准备。 目前, 现有的半导体晶片、 液晶面板清洗机中的清 洗机构主要由固定高度的滚筒毛刷 进行旋转清洗, 在清洗过程中不能够根据半导体晶片、 液晶面板的厚度进 行清洗。 针对于此, 我们研究了一种用于半导体晶片、 液晶面板清洗机的 毛刷旋转机构。 实用新型内容 [0003]为解决上述技术问题, 本实用新型提供了一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、 液晶面板清洗 机, 具有能够调节 清洗高度的优点。 [0004]为达到上述目的, 本实用新型的技 术方案如下: [0005]一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、 液晶面板清洗机, 包括清洗机以及设于所 述清洗机上的送料机构和毛刷旋转机构, 所述毛刷旋转机构包括: [0006]对称设于所述送料机构两侧的机架; [0007]连接于两侧所述机架、 并用于提供 竖直驱动力的Z轴驱动组件; [0008]设于两侧所述机架一侧、 并与所述Z轴驱动组件连接的升降板, 所述升降板受所述 Z轴驱动组件所提供的竖直驱动力进行升降移动; 以及, [0009]设于所述送料机构上 方、 并与两侧所述升降板连接的滚筒 毛刷; [0010]设于其中一个所述升降板背离所述滚筒毛刷一侧、 并用于提供旋转驱动力的驱动 组件, 所述滚筒毛刷受所述驱动组件所提供的旋转驱动力在所述送料机构的上方进行旋 转。 [0011]实现上述技术方案, 送料机构用于将待清洗的曲面液晶面板送入到毛刷旋转机 构, 由毛刷旋转机构中的Z轴驱动组件驱动升降板, 使升降板上的滚筒毛刷向下移动到曲面 半导体晶片、 液 晶面板上, 由驱动组件驱动滚筒毛刷 进行旋转, 以清洗曲面半导体晶片、 液 晶面板。 [0012]作为本申请的一种优选方案, 所述机架的一侧 设置有支撑板, 所述支撑板上竖直 设置有两个直线导轨, 所述 直线导轨上设置有与所述升降板连接的滑台。 [0013]实现上述技术方案, 以便于支撑升降板的竖直移动。 其中, 两侧支撑板之间设置有 喷淋杆, 喷淋杆的一端接入喷淋水, 而喷淋杆 上设置有朝向滚筒 毛刷的喷淋孔。 [0014]作为本申请的一种优选方案, 所述Z轴驱动组件 包括: [0015]竖直设于两侧所述机架内的驱动丝杆, 所述驱动丝杆上设置有与所述升降板连接说 明 书 1/4 页 3 CN 217941024 U 3

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