(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122931532.5 (22)申请日 2021.11.26 (73)专利权人 成都海威华芯科技有限公司 地址 610299 四川省成 都市双流县西南 航 空港经济开发区物联大道8 8号 (72)发明人 黄仁贵　 (74)专利代理 机构 成都华风专利事务所(普通 合伙) 51223 代理人 张巨箭 (51)Int.Cl. B65D 25/02(2006.01) B65D 25/20(2006.01) B65D 25/52(2006.01) B65D 81/20(2006.01) B65D 85/30(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆盒存 储装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆盒存储装置， 属 于晶圆盒存取技术领域， 氮气柜； 氮气柜内设有 四轴或六轴的机械臂， 机械臂上设有用于抓取晶 圆盒的可伸缩夹具； 氮气柜上设有使晶圆盒通过 的存储窗和取出窗； 氮气柜上还设有用于选择当 前晶圆盒存 取动作的操作显示模块； 氮气柜上还 集成有管控模块， 操作显示模块、 机械臂、 夹 具均 与管控模块连接。 本实用新型通过通过引入机械 臂完成晶圆盒的智能存取动作， 大大提高了存取 动作的精 准性， 避免了晶圆盒存 取过程中出现的 碰撞， 防止晶圆被损坏； 其次， 在整个晶圆盒存取 过程中， 无需打开氮气柜 的柜门， 进而实现氮气 柜内粒子的粒子增长的有效控制。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 216270544 U 2022.04.12 CN 216270544 U 1.一种晶圆盒存 储装置， 其特 征在于： 其包括： 氮气柜(1)； 氮气柜(1)内设有四轴或六轴的机械臂(3)， 机械臂(3)上设有用于抓取晶圆盒(2)的可 伸缩夹具； 氮气柜(1)上设有 使晶圆盒(2)通过的存 储窗(51)和取 出窗(52)； 氮气柜(1)上还设有用于 选择当前晶圆盒(2)存取动作的操作显示模块(6)； 氮气柜(1)上还集成有管控模块， 操作显示模块(6)、 机械臂(3)、 夹具均与管控模块连 接。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒存储装置， 其特征在于： 所述晶圆盒(2)上设有电 子标签， 存储窗(51)和取出窗(52)上设有标签扫描器(7)， 标签扫描器(7)输出端与管控模 块连接。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒存储装置， 其特征在于： 所述氮气柜(1)内还设有 水平传动模块， 水平传动模块上设有升降模块， 升降模块上设有机 械臂(3)。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒存储装置， 其特征在于： 所述水平传动模块包括第 一动力装置， 第一动力装置上 连接有第一传动部件， 第一传动部件上设有升降模块； 所述升降模块包括第二动力装置， 第二动力装置上连接有第二传动部件， 第二传动部 件上设有机 械臂(3)。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆盒存储装置， 其特征在于： 所述夹具包括第 三动力装 置， 与第三动力装置连接的夹爪。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆盒存储装置， 其特征在于： 所述夹具上设有红外扫描 器； 氮气柜(1)内设有若干存储阁(11)， 存储阁(11)上设有第一红外感应器(82)， 和/或， 存 储窗(51)和取 出窗(52)上设有第二红外感应 器(83)。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆盒存储装置， 其特征在于： 所述操作显示模块(6)为 HMI。 8.根据权利要求1所述的一种晶圆盒存储装置， 其特征在于： 所述管控模块包括双向连 接的前端控制器和后端数据处理器， 机械臂(3)与前端控制器连接， 操作显示模块(6)与后 端数据处 理器连接 。 9.根据权利要求1所述的一种晶圆盒存储装置， 其特征在于： 所述氮气柜(1)内设有温 度检测器， 温度检测器输出端与管控 模块连接 。 10.根据权利要求1所述的一种晶圆盒存储装置， 其特征在于： 所述氮气柜(1)内设有湿 度检测器， 湿度检测器输出端与管控 模块连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216270544 U 2一种晶圆盒存 储装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆盒存取技 术领域， 尤其涉及一种晶圆盒存 储装置。 背景技术 [0002]在半导体集成电路的制作过程中， 晶圆表面的洁净度对高质量的硅器件工艺是至 关重要的。 如果晶圆表面质量达不到要求,无论其它工艺步骤控制得多么优秀,也不可能获 得高质量的半导体器件， 因此需要再 晶圆整个制备与存储过程中进行严格管控。 在晶圆存 储层面， 现有技术一般将晶圆存放至晶圆盒 中， 并将晶圆盒置于充满氮气的氮气柜中， 整个 过程涉及频繁对晶圆盒进行存储与取出。 为满足晶圆存储需求， 氮气柜需保证足够的存储 空间， 一层氮气柜会放置多排晶圆盒， 在寻找晶圆时会相对困难， 且在 存取过程中挪动晶圆 盒容易造成盒子之间的碰撞， 晶圆有破片风险。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于克服现有技术中晶圆存取过程中易产生破碎风险的问题， 提供了一种晶圆盒存 储装置。 [0004]本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的： 一种晶圆盒存储装置， 所述装 置包括： 氮气柜； 氮气柜内设有四轴或六轴的机械臂， 机械臂上设有用于抓取晶圆盒的可伸 缩夹具； 氮气柜上设有使晶圆盒通过的存储窗和取出窗； 氮气柜上还设有用于选择当前 晶 圆盒存取动作的操作显示模块； 氮气柜上还集成有管控模块， 操作显示模块、 机械臂、 夹具 均与管控模块连接 。 [0005]在一示例中， 所述晶圆盒上设有电子标签， 存储窗和取出窗上设有标签扫描器， 标 签扫描器输出端与管控 模块连接 。 [0006]在一示例中， 所述氮气柜内还设有水平传动模块， 水平传动模块上设有升降模块， 升降模块上设有机 械臂。 [0007]在一示例中， 所述水平传动模块包括第一动力装置， 第一动力装置上连接有第一 传动部件， 第一传动部件上设有升降模块； 所述升降模块包括第二动力装置， 第二动力装置 上连接有第二传动部件， 第二传动部件上设有机 械臂。 [0008]在一示例中， 夹具包括第三动力装置， 以及与第三动力装置连接的夹爪。 [0009]在一示例中， 所述夹具上设有红外扫描器； 氮气柜内设有若干存储阁， 存储阁上设 有第一红外感应 器， 和/或， 存 储窗和取 出窗上设有第二红外感应 器。 [0010]在一示例中， 所述操作显示模块 为HMI。 [0011]在一示例中， 所述管控模块包括双向连接 的前端控制器和后端数据处理器， 机械 臂与前端控制器连接， 操作显示模块与后端数据处 理器连接 。 [0012]在一示例中， 所述氮气柜内设有温度检测器， 温度检测器输出端与管控 模块连接 。 [0013]在一示例中， 所述氮气柜内设有湿度检测器， 湿度检测器输出端与管控 模块连接 。 [0014]需要进一步说明的是， 上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的说　明　书 1/5 页 3 CN 216270544 U 3