(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122938211.8 (22)申请日 2021.11.26 (73)专利权人 徐州晶睿半导体装备 科技有限公 司 地址 221000 江苏省徐州市金山 桥开发区 鑫芯路1号 (72)发明人 徐涛　汪佳　宋涛　孙固　王建军　 王晓明　赵旸　钟岩峰　 (51)Int.Cl. B65D 25/02(2006.01) B65D 81/20(2006.01) B65D 53/00(2006.01) B65D 6/10(2006.01) B65D 25/06(2006.01) B65D 81/18(2006.01) B65D 25/24(2006.01)B65D 25/00(2006.01) B65D 53/06(2006.01) H01L 21/673(2006.01) (54)实用新型名称 一种双壳体密封氮气柜 (57)摘要 本实用新型公开了一种双壳体密封氮气柜， 包括主壳体和密封门， 还包括： 不少于两个独立 的内部腔体， 不少于两个的内部腔体并列位于主 壳体中， 每个内部腔体的顶部设有进气口， 每个 内部腔体的底部设有 连通至主壳体外的出气口； 进氮系统， 进氮系统为内部腔体提供氮气， 进氮 系统位于主壳体和内部腔体顶部之间的空间中； 进氮系统与各个内部腔体的进气口连通； 温湿度 控制系统， 每个内部腔体分别设有一个温湿度控 制系统， 温湿度控制 系统用于实时监测内部腔体 内的温度和湿度； 控制器， 每个内部腔体的上方 分别安装有一个控制器， 控制器与温湿度控制系 统和进氮系统电性连接 。 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 CN 216660764 U 2022.06.03 CN 216660764 U 1.一种双壳体密封氮气柜， 包括主壳体和密封门， 其特 征在于， 还 包括： 不少于两个独立的内部腔体， 不少于两个的所述内部腔体并列位于所述主壳体中， 每 个所述内部腔体的顶部 设有进气口， 每个所述内部腔 体的底部 设有连通至主壳体外的出气 口； 进氮系统， 所述进氮系统为内部腔体提供氮气， 所述进氮系统位于主壳体和内部腔体 顶部之间的空间中； 所述进氮系统与各个内部腔体的进气口连通； 温湿度控制系统， 每个所述内部腔体分别设有一个所述温湿度控制系统， 所述温湿度 控制系统用于实时监测内部腔体内的温度和湿度； 控制器， 每个所述内部腔体的上方分别安装有一个控制器， 所述控制器与温湿度控制 系统和进氮系统电性连接 。 2.如权利要求1所述的一种双壳体密封氮气柜， 其特 征在于， 所述进氮系统包括： 并列设置的进气组件， 所述进气组件的数量与内部腔体的数量相同， 所述并列设置的 进气组件分别连通至各个内部腔体中； 所述进气组件包括流量计， 所述流量计的进气口与进气管连通， 所述流量计的出气口 与出气管 连通， 所述出气管 上安装有电磁阀。 3.如权利要求2所述的一种双壳体密封氮气柜， 其特征在于， 所述进气管的端部安装有 进气密封接头， 所述出气管 的端部安装有出气密封接头， 所述进气密封接头与主壳体后侧 的外接氮气管路连通， 所述出气密封 接头与内部腔体的顶部的进气口连通。 4.如权利要求2所述的一种双壳体密封氮气柜， 其特征在于， 相邻 两个所述电磁阀螺纹 固定在电磁阀支 架上， 所述电磁阀支 架通过螺 栓固定在主壳体的顶板上。 5.如权利要求1所述的一种双壳体密封氮气柜， 其特征在于， 每个所述内部腔体 内从上 到下等间距可拆卸安装有多个隔板， 所述隔板上密布通孔,所述隔板通过其左右两侧的支 撑板固定在内部腔体的侧 壁上， 所述支撑板呈矩形板状， 所述支撑板靠近隔板的一侧上部 开设有与隔板相匹配的槽， 所述支撑板螺纹固定在内部腔体侧 壁上的安装孔上， 所述安装 孔从上到下设置多组。 6.如权利要求1所述的一种双壳体密封氮气柜， 其特征在于， 所述主壳体的左右两端分 别竖直固定一个内部支撑架， 所述内部支撑架位于主壳体与内部腔体之间的空间中， 所述 主壳体前端面左右两侧 转动连接密封门， 每个所述密封门的中部安装有钢化玻璃， 所述钢 化玻璃前后两侧的四周与密封门之 间设有橡胶密封条， 两个所述密封门在钢化玻璃的内侧 沿橡胶密封条固定有压 板， 所述压 板的周边向内部腔体一侧翻折形成折 边。 7.如权利要求1所述的一种双壳体密封氮气柜， 其特征在于， 所述密封门的四周与内部 腔体间采用四唇密封条密封 。 8.如权利要求1所述的一种双壳体密封氮气柜， 其特征在于， 所述温湿度控制系统包括 温湿度传感器， 两个所述内部腔体的一侧 壁向内凹陷形成容纳槽， 所述容纳槽内安装有温 湿度传感器， 所述温湿度传感器与其所在内部腔体上的控制器电性连接 。 9.如权利要求1 ‑8任一项所述的一种双壳体密封氮气柜， 其特征在于， 所述主壳体的外 侧安装有氧含量监测器， 所述主壳体的背面内嵌设有温湿度传感器检修窗口和进氮系统检 修窗口； 所述主壳体的底部四角处安装有福马轮。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216660764 U 210.如权利要求9所述的一种双壳体密封氮气柜， 其特征在于， 所述密封门通过锁紧件 锁紧， 所述密封门上安装有开 门提示器， 每个所述开 门提示器分别与其所在内部腔体上 的 控制器电性连接 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216660764 U 3