(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210695438.0 (22)申请日 2022.06.20 (71)申请人 合肥维信诺科技有限公司 地址 230000 安徽省合肥市新站区魏武路 与新蚌埠路交口西南角 申请人 维信诺科技股份有限公司 (72)发明人 王善鹤　彭兆基　 (74)专利代理 机构 北京东方亿 思知识产权代理 有限责任公司 1 1258 专利代理师 魏润洁 (51)Int.Cl. F26B 5/04(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) (54)发明名称 清洗干燥系统及清洗 干燥方法 (57)摘要 本申请公开了一种清洗干燥系统及清洗干 燥方法， 清洗干燥系统包括第一干燥装置和第二 干燥装置， 第一干燥装置包括第一壳体和多个吹 扫单元， 第一壳体包括第一腔体， 吹扫单元设置 于第一腔体内， 以吹扫位于第一腔体内的待处理 件； 第二干燥装置包括第二壳体和多个喷射单 元， 第二壳体包括密闭的第二腔体， 喷射单元设 置于第二腔体内， 以向位于第二腔体内的待处理 件喷射流体介质。 根据本申请提供的实施例， 本 申请清洗干燥的待处理件上无水渍、 杂质等残留 物。 权利要求书2页 说明书10页 附图4页 CN 115077207 A 2022.09.20 CN 115077207 A 1.一种清洗 干燥系统， 其特 征在于， 包括： 第一干燥装置， 包括第一壳体和多个吹扫单元， 所述第 一壳体包括第 一腔体， 所述吹扫 单元设置于所述第一腔体内， 以吹扫位于所述第一腔体内的待处 理件； 第二干燥装置， 包括第二壳体和多个喷射单元， 所述第 二壳体包括密闭的第 二腔体， 所 述喷射单元设置于所述第二腔体内， 以向位于所述第二腔体内的所述待处理件喷射流体介 质。 2.根据权利要求1所述的清洗干燥系统， 其特征在于， 所述第 二干燥装置还包括设置于 所述第二腔体内的加热 单元； 优选的， 所述第二壳体包括配合形成所述第二腔体的盖体和主体部， 所述盖体盖合于 所述主体部并与所述主体部密封连接， 所述加热单元包括与所述主体部连接的第一加热 件、 以及与所述盖体连接的第二加热件。 3.根据权利要求1所述的清洗干燥系统， 其特征在于， 多个所述喷射单元排列 形成间隔 设置的喷射阵列， 间隔设置的所述喷射阵列用于分设于所述待处理件的两侧， 以向置于所 述第二腔体中的所述待处 理件的相对两侧喷射； 优选的， 沿所述盖体到所述主体部方向， 多个所述喷射单 元依次间隔设置并相互串联； 优选的， 所述第 二干燥装置还包括流量调节阀， 在串联的多个所述喷射单元中， 所述流 量调节阀设置在相邻两个所述喷射单 元之间。 4.根据权利要求1所述的清洗干燥系统， 其特征在于， 所述第 二干燥装置还包括用于连 通所述喷射单元和介质源的连接管路、 以及设置于所述连接管路上 的介质混合单元， 所述 介质混合单 元分别与多个不同所述介质源连通， 以混合 不同所述介质源输出的介质； 优选的， 所述第二干燥装置还包括设置于所述连接管路上的喷射过滤单元， 所述喷射 过滤单元用于过 滤所述连接管路中介质的杂质。 5.根据权利要求4所述的清洗干燥系统， 其特征在于， 所述第 二干燥装置还包括第 二回 收单元， 所述第二回收单 元的一端与所述第二腔体连通， 另一端与所述连接管路连通； 优选的， 所述第 二回收单元数量为多个， 所述第 二壳体设置有中心出口和侧出口， 所述 中心出口位于所述第二腔体的中心轴上， 所述侧出口两两相对设置于所述中心出口的两 侧， 所述中心出口和所述侧出口分别与所述第二回收单 元一一连通； 优选的， 第二回收单元还可以包括多个回收流量调节器， 多个回收流量调节器分别与 所述中心出口和所述侧出口一 一连通； 优选的， 所述第二回收单元包括分离组件和纯化组件， 多个所述回收流量调节器分别 与所述分离组件连通， 所述分离组件、 所述纯化组件和所述连接管路依次连通； 优选的， 沿所述介质的流动方向， 所述纯化组件设置于所述介质混合单元和所述分离 组件之间。 6.根据权利要求1所述的清洗干燥系统， 其特征在于， 所述吹扫单元包括第一外壳、 喷 射咀和整流振子， 所述第一外壳具有用于与介质源连通的压力调节腔， 所述喷射咀设置在 所述第一外壳上并与所述压力调节腔相连通， 所述整流振子能够在所述第一外壳内往复运 动， 以调节所述喷射咀的开口尺寸。 7.根据权利要求1所述的清洗干燥系统， 其特征在于， 多个所述吹扫单元排列 形成间隔 设置的吹扫阵列， 间隔设置的所述吹扫阵列用于分设于所述待处理件的两侧， 以对置于所权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115077207 A 2述第一腔体中的所述待处 理件的相对两侧喷射介质； 优选的， 所述第一壳体具有与所述第一腔体连通的第一开口， 所述吹扫阵列包括第一 吹扫单元和第二吹扫单元， 所述第一吹扫单元设置于所述第二吹扫单元靠近所述第一开口 一侧， 所述第一吹扫单元具有第一喷射方向和第一辐 射区域， 所述第二吹扫单元具有第二 喷射方向和第二辐 射区域， 所述第一喷射方向、 第二喷射方向和所述第一开口的开口方向 两两相交， 所述第一喷射方向指向所述第二辐 射区， 所述第二喷射方向指向所述第一辐 射 区域； 优选的， 沿两个所述吹扫阵列相对设置的方向， 所述第二辐射区域至少部分落在所述 待处理件靠近所述第一 开口的一侧。 8.根据权利要求1所述的清洗干燥系统， 其特征在于， 所述第 一干燥装置还包括第 一回 收单元， 所述第一回收单 元与所述第一腔体连通； 优选的， 所述第 一回收单元包括负压腔、 气体回收组件和设置于所述负压腔内的扇叶， 所述负压腔连通所述第一腔体和所述气体回收组件； 优选的， 所述第一回收单 元还包括与所述第一腔体连通的液体回收组件。 9.一种清洗干燥方法， 其特征在于， 所述方法应用于权利要求1 ‑8中任一项所述的清洗 干燥系统， 所述方法包括： 将所述待处 理件置于所述第一腔体中， 开启所述吹扫单 元对所述待处 理件进行吹扫； 将所述待处 理件置于所述第二腔体中， 并使所述第二腔体处于真空状态； 开启所述喷射单 元对所述待处 理件进行气态介质和/或液态介质喷射。 10.根据权利要求9所述的清洗干燥方法， 其特征在于， 所述开启所述喷射单元对所述 待处理件进行气态介质和/或液态介质喷射， 包括： 开启所述喷射单 元对所述待处 理件进行气态介质喷射； 开启所述喷射单 元对所述待处 理件进行 液态介质喷射； 开启所述喷射单 元对所述待处 理件进行气态介质喷射， 直至所述待处 理件干燥。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115077207 A 3