(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210738543.8 (22)申请日 2022.06.28 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114798569 A (43)申请公布日 2022.07.29 (73)专利权人 江苏启威星 装备科技有限公司 地址 226300 江苏省南 通市通州区金新 街 道碧华路1199号东久(南通)智造园A3 栋 (72)发明人 龚庆　姜涛　陈贤刚　裴文龙　 (74)专利代理 机构 华进联合专利商标代理有限 公司 44224 专利代理师 刘宁 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01)B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (56)对比文件 CN 109731874 A,2019.0 5.10 CN 109731874 A,2019.0 5.10 CN 213591336 U,2021.07.02 JP 2005272061 A,2005.10.06 JP 2000031238 A,20 00.01.28 CN 203917286 U,2014.1 1.05 CN 201914710 U,201 1.08.03 CN 212349574 U,2021.01.15 审查员 叶映芳 (54)发明名称 清洁装置 (57)摘要 本发明涉及一种清洁装置， 包括： 机体， 包括 沿第一方向依次设置且相互连通的上料位、 清洁 位及出料位， 上料位用于水平放置硅片， 清洁位 用于清洁硅片， 出料位与扩散炉的进料口对接且 用于输出硅片； 传动模块， 包括传动轴及多组传 动单元， 传动轴沿第一方向贯穿且 可转动地安装 于机体， 多组传动单元沿第一方向设置于传动 轴； 输送模块， 包括从上料位排布至出料位且同 向转动的多组输送单元， 输送单元包括沿竖直方 向间隔设置于上料位两侧的两个第一输送轴， 两 个第一输送轴分别可转动地安装于机体， 且与传 动单元传动连接。 两个第一输送轴夹持着硅片可 靠且稳定地运动， 减少对硅片 的损伤， 出料位与 扩散炉的进料口对接， 省去上下料工序， 降低了 占地空间及成本 。 权利要求书2页 说明书10页 附图8页 CN 114798569 B 2022.09.27 CN 114798569 B 1.一种清洁装置， 其特 征在于， 包括： 机体， 包括沿第一方向依次设置且相互连通的上 料位、 清洁位及出 料位； 传动模块， 包括传动轴及多组传动单元， 所述传动轴沿所述第一方向贯穿且可转动地 安装于所述机体， 多组所述传动单 元沿所述第一方向设置 于所述传动轴； 输送模块， 包括从所述上料位排布至所述出料位且 同向转动的多组输送单元， 所述输 送单元包括沿竖直方向间隔设置的两个第一输送轴， 两个所述第一输送轴分别可转动地安 装于所述机体， 且与所述传动单 元传动连接； 所述清洁位包括至少一个浸泡清洗位； 所述浸泡清洗位中位于上方所述第 一输送轴上 设有沿其轴线方向分布的多个滚轮， 且位于下方的所述第一输送轴为光轴； 所述浸泡清洗 位末端处位于上 方和下方的所述第一输送轴均为 光轴， 且与在其间输送的硅片相挤压 。 2.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特 征在于， 所述传动单 元包括： 第一锥齿轮， 安装于所述传动轴上； 第二锥齿轮， 安装于所述输送单元的一所述第一输送轴上， 且与所述第一锥齿轮相 啮 合； 相啮合的两个第三齿轮， 分别安装于所述输送单 元的两个所述第一输送轴上。 3.根据权利要求2所述的清洁装置， 其特 征在于， 所述传动轴包括： 第一轴， 可转动地 安装于所述机体， 沿所述第一方向延伸的两端靠 近所述机体端部； 多个支撑套， 依次套设且可拆卸地安装在所述第一轴上， 且其上对应安装有所述第一 锥齿轮。 4.根据权利要求2所述的清洁装置， 其特征在于， 所述第 一输送轴沿第 二方向可转动地 安装于所述机体， 所述第二方向与所述第一方向以及竖直方向相垂直， 沿竖直方向位于下 方的所述第一输送轴的端部套设有所述第二锥齿轮和一所述第三齿轮， 且位于上方的所述 第一输送轴的端部套设有另一所述第三齿轮。 5.根据权利要求4所述的清洁装置， 其特征在于， 沿竖直方向位于上方的部分所述第 一 输送轴还包括第二轴， 所述第二轴沿所述第二方向可转动地安装于所述机体， 多个所述滚 轮依次套设且可拆卸地 安装在所述第二轴上。 6.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述输送模块还包括多个第二输送 轴， 所述第二输送轴间隔分布于所述输送单元之间， 并与沿竖直方向位于下方的所述第一 输送轴在同一水平面内。 7.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述输送模块还包括多个运行轴， 设 置于所述上料位的上料口和所述出料位的出料口， 并与沿竖直方向位于下方的所述第一输 送轴在同一水平面内， 所述 运行轴可转动地 安装于所述机体， 且与所述传动单 元传动连接 。 8.根据权利要求7 所述的清洁装置， 其特 征在于， 所述传动单 元包括： 第三锥齿轮， 安装于所述传动轴上； 第四锥齿轮， 安装于所述 运行轴上， 且与所述第三锥齿轮相啮合。 9.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于， 所述清洁位包括从所述上料位到所述 出料位依次排布的至少一个清洗位组以及干燥位， 所述清洗位组包括所述浸泡清洗位和喷 淋清洗位； 其中： 所述浸泡清洗位包括第一清洗槽， 所述喷淋清洗位包括第一喷淋单元， 所述第一清洗权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114798569 B 2槽和所述第一喷淋单元均安装于所述机体， 所述干燥位包括干燥模块， 所述干燥模块安装 于所述机体。 10.根据权利要求9所述的清洁装置， 其特征在于， 位于所述喷淋清洗位两端的所述输 送单元中的两个所述第一输送轴均为光轴， 两个所述光轴均与在其间输送的被输送物相挤 压。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114798569 B 3