(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210771203.5 (22)申请日 2022.06.30 (71)申请人 西安奕斯伟材 料科技有限公司 地址 710000 陕西省西安市高新区西沣南 路1888号1-3-029室 申请人 西安奕斯伟硅片技 术有限公司 (72)发明人 陈海龙　李在桓　陈光林　曲迪　 张迪　 (74)专利代理 机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 专利代理师 李清风 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/687(2006.01) H01L 21/02(2006.01)B08B 3/02(2006.01) B08B 3/10(2006.01) (54)发明名称 晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 (57)摘要 本发明涉及一种晶圆清洗装置， 包括： 清洗 槽， 容纳有清洗液； 晶圆夹持结构， 用于夹持晶 圆， 包括连接杆和至少位于连接杆相对的两侧的 两个夹持杆， 一个夹持杆靠近另一个夹持杆的一 面设置有夹持槽， 夹持槽包括与连接杆相平行的 连接面， 和与连接面连接的夹持面， 夹持面位于 连接面远离连接杆的一侧， 且夹持面为由连接面 的一端向远离连接杆的方向延伸设置的斜面； 移 动结构， 用于控制晶圆夹持结构进行升降运动， 以使得晶圆夹持结构夹持的晶圆浸没于清洗槽 内容纳的清洗液中； 旋转结构， 用于在晶圆浸没 于清洗液内时， 控制晶圆夹持结构旋转， 以带动 清洗液旋转， 使得晶圆夹持结构与晶圆之间具有 间隙。 本发明还涉及一种晶圆清洗方法。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 114999967 A 2022.09.02 CN 114999967 A 1.一种晶圆清洗装置， 其特 征在于， 包括： 清洗槽， 容纳有清洗液； 晶圆夹持结构， 用于夹持晶圆， 包括连接杆和至少位于所述连接杆相对的两侧的两个 夹持杆， 一个所述夹持杆靠近另一个所述夹持杆的一面设置有夹持槽， 所述夹持槽包括与 所述连接杆相平行 的连接面， 和与所述连接面连接的夹持面， 所述夹持面位于所述连接面 远离所述连接杆的一侧， 且所述夹持面为由所述连接面的一端向远离所述连接杆的方向延 伸设置的斜 面； 移动结构， 用于控制所述晶圆夹持结构进行升降运动， 以使得所述晶圆夹持结构夹持 的晶圆浸没于所述清洗 槽内容纳的清洗液中； 旋转结构， 用于在晶圆浸没于所述清洗液内时， 控制所述晶圆夹持结构旋转， 以带动所 述清洗液旋转， 使得 所述晶圆夹持结构与所述晶圆之间具有间隙。 2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置， 其特征在于， 所述旋转结构通过传动杆与 所述 连接杆连接， 所述传动杆连接于所述连接杆 的中心的一侧， 以使得所述晶圆夹持结构进行 偏心旋转。 3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置， 其特征在于， 在所述连接杆的延伸方向上， 所 述传动杆与所述连接杆的中心点之间的距离为1 ‑2mm。 4.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置， 其特征在于， 所述传动杆为中空设置， 所述连 接杆上设置有与所述传动杆连接的连接孔， 所述传动杆与一进液管连通以对晶圆靠近所述 连接杆的一 面喷射清洗液进行 预清洗。 5.根据权利要求4所述的晶圆清洗装置， 其特征在于， 还包括用于对晶圆远离所述连接 杆的一面喷射清洗液的清洗管。 6.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置， 其特征在于， 所述晶圆夹持结构包括与所述连 接杆连接的三个所述夹持杆， 任意相邻两个所述夹持杆之间的角度为120度。 7.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置， 其特征在于， 所述清洗槽包括相对的第 一侧壁 和第二侧 壁， 在垂直于所述清洗槽的底部的方向上， 所述第一侧 壁的高度小于所述第二侧 壁的高度。 8.根据权利要求7所述的晶圆清洗装置， 其特征在于， 所述第 二侧壁靠近所述清洗槽的 底部的一端设置有进液 口， 所述晶圆清洗装置还包括清洗液提供结构， 用于在清洗晶圆的 过程中， 向所述进液 口持续提供清洗液， 使得所述清洗液持续从所述清洗槽的端口位于所 述第一侧壁的一侧溢流。 9.一种晶圆清洗方法， 其特征在于， 采用权利要求1 ‑8任一项所述的晶圆清洗装置清洗 晶圆， 所述晶圆清洗方法包括： 将晶圆浸没于清洗 槽内的清洗液中； 控制晶圆夹持结构旋转， 以带动清洗液旋转， 使得晶圆与晶圆夹持结构之间存在间隙； 在控制晶圆旋转的同时， 控制晶圆夹持结构上升， 以使得晶圆脱离清洗液； 控制晶圆夹持结构旋转， 以使得晶圆干燥。 10.根据权利要求9所述的晶圆清洗方法， 其特征在于， 在将晶圆浸没于清洗液当中时， 对晶圆进行 预清洗。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114999967 A 2晶圆清洗装 置和晶圆清洗方 法 技术领域 [0001]本发明涉及晶圆清洗技 术领域， 尤其涉及一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法。 背景技术 [0002]相关技术中， 对于晶圆的清洗一般是通过药液喷射的方法， 但是存在飞溅现象， 且 容易产生气泡， 并且喷洒结构在晶圆的上方移动， 容易造成晶圆的二次污染， 清洗效果不 佳， 且相关技 术中， 晶圆被夹持的部位无法接触到药 液， 无法清洗 。 发明内容 [0003]为了解决上述技术问题， 本发明提供一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法， 解决晶 圆清洗质量差， 且晶圆被夹持的部位无法清洗的问题。 [0004]为了达到上述目的， 本发明实施例采用的技 术方案是： 一种晶圆清洗装置， 包括： [0005]清洗槽， 容纳有清洗液； [0006]晶圆夹持结构， 用于夹持晶圆， 包括连接杆和至少位于所述连接杆相对的两侧的 两个夹持杆， 一个所述夹持杆靠近另一个所述夹持杆的一面设置有夹持槽， 所述夹持槽包 括与所述连接杆相平行 的连接面， 和与所述连接面连接的夹持面， 所述夹持面位于所述连 接面远离所述连接杆的一侧， 且所述夹持面为由所述连接面的一端向远离所述连接杆的方 向延伸设置的斜 面； [0007]移动结构， 用于控制 所述晶圆夹持结构进行升降运动， 以使得所述晶圆夹持结构 夹持的晶圆浸没于所述清洗 槽内容纳的清洗液中； [0008]旋转结构， 用于在晶圆浸没于所述清洗液内时， 控制所述晶圆夹持结构旋转， 以带 动所述清洗液旋转， 使得 所述晶圆夹持结构与所述晶圆之间具有间隙。 [0009]可选的， 所述旋转结构通过传动杆与所述连接杆连接， 所述传动杆连接于所述连 接杆的中心的一侧， 以使得 所述晶圆夹持结构进行偏心旋转。 [0010]可选的， 在所述连接杆的延伸方向上， 所述传动杆与所述连接杆的中心点之间的 距离为1‑2mm。 [0011]可选的， 所述传动杆为中空设置， 所述连接杆上设置有与所述传动杆连接 的连接 孔， 所述传动杆与一进液 管连通以对晶圆靠 近所述连接杆的一 面喷射清洗液进行 预清洗。 [0012]可选的， 还 包括用于对晶圆远离所述连接杆的一 面喷射清洗液的清洗管。 [0013]可选的， 所述晶圆夹持结构包括与所述连接杆连接 的三个所述夹持杆， 任意相邻 两个所述夹持杆之间的角度为120度。 [0014]可选的， 所述清洗槽包括相对的第一侧壁和第二侧壁， 在垂直于所述清洗槽 的底 部的方向上， 所述第一侧壁的高度小于所述第二侧壁的高度。 [0015]可选的， 所述第二侧壁靠近所述清洗槽 的底部的一端设置有进液口， 所述晶圆清 洗装置还包括清洗液提供结构， 用于在清洗晶圆的过程中， 向所述进 液口持续提供清洗液， 使得所述清洗液持续从所述清洗 槽的端口位于所述第一侧壁的一侧溢流。说　明　书 1/4 页 3 CN 114999967 A 3