(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 20221074839 2.4 (22)申请日 2022.06.29 (71)申请人 华虹半导体 （无锡） 有限公司 地址 214028 江苏省无锡市新吴区新洲路 30号 (72)发明人 王振华　闻旭　赵春雨　李华　 郑伏长　 (74)专利代理 机构 上海浦一知识产权代理有限 公司 3121 1 专利代理师 王关根 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种清洗时序控制方法、 装置、 介质、 模组及 涂胶设备 (57)摘要 本发明属于微电子加工制造技术领域， 尤其 涉及一种清洗时序控制方法、 装置、 介质、 模组及 涂胶设备； 本发 明方法实施例通过优化设备转速 和清洗/维护时间， 达到了清洗不同区域、 污染状 态残胶的效果； 具体地， 通过逐阶段或工况设置 不同的清洗间隔时间、 转速等工艺参数， 使得清 洗效能、 化学品用量、 清洁时间和产能等得到优 化。 权利要求书3页 说明书6页 附图4页 CN 115228826 A 2022.10.25 CN 115228826 A 1.一种清洗时序控制方法， 其特 征在于， 包括： 第一启动步骤 （1000） ； 所述第一启动步骤 （1000） 获取旋转部件 （001） 驱动系统默认参 数或额定参数至少之一； 所述默认参数或所述额定参数确保所述驱动系统为所述旋转部件 （001） 提供充足的驱动功率/能力， 启动所述旋转部件 （001） 并运行预设的第一启动时间； 其 中， 所述旋转部件 （0 01） 以第一加速度由静止加速 至第一平台段转速； 所述清洗时序控制方法， 还包括清洗时序控制步骤 （2000） ， 所述清洗时序控制步骤 （2000） 改变所述旋转部件 （001） 的转速并配合冲洗装置进行清洗作业， 所述清洗时序控制 步骤 （2000） 包括第二浸泡步骤 （200） ； 其中， 所述第二浸泡步骤 （200） 以所述第一加速度的 幅值将所述旋转部件 （001） 减速至第二浸泡段转速， 所述旋转部件 （001） 将转速 保持在所述 第二浸泡段转速的时长为第二浸泡时间； 所述第二浸泡段转速小于所述第一平台段转速的 1/30， 所述第二浸泡时间大于所述第一启动时间的5 0倍； 检测目标区域的清洗效果， 如 符合预设的清洁标准， 则退出本次清洗过程， 并执行第七 收工步骤 （3000） 中的停机操作， 所述停机操作将所述旋转部件 （001） 在预设的第七关机时 间内以预设的加速度进行制动直至静止 。 2.如权利要求1的所述清洗时序控制方法， 其中： 避免所述驱动系统 的过载时间超过安全阈值； 所述第 一平台段转速不大于所述旋转部 件 （001） 的最高额定转速或所述旋转部件 （001） 恶劣工况/工作制下稳定运行的转速， 所述 第一平台段转速不小于所述旋转部件 （001） 0.5倍或预设百分比的最高额定转速或所述旋 转部件 （0 01） 恶劣工况/ 工作制下 稳定运行转速的0.5倍或预设百分比。 3.如权利要求2的所述清洗时序控制方法， 其中： 所述第一启动时间为5秒， 所述第一平台段转速为2500转/分钟， 所述第二浸泡段转速 为80转/分钟， 所述第二浸泡时间为280秒， 所述第一加 速度为1000个标准加 速度单位 （米/ 秒平方） ， 所述第七关机时间对应于所述第一加速度的幅值或第七关机时间为2秒。 4.如权利要求1、 2或3的任一所述清洗时序控制方法， 其中： 若所述驱动系统不足以提供所述的第 一加速度， 则以额定功率大于所述驱动系统额定 功率的替换 单元提供动力， 确保所述驱动系统的机 械特性满足预设的动态响应指标。 5.如权利要求1、 2或3的任一所述清洗时序控制方法， 还 包括： 第三外洗步骤 （300） ； 所述第三外洗步骤 （300） 以所述第一加速度的绝对值将所述旋转 部件加速到第三外洗段转速； 保持所述旋转部件 （001） 在所述第三外洗段转速第三外洗时 间； 其中， 所述第三外 洗时间不大于2倍的所述第一启动时间。 6.如权利要求5的所述清洗时序控制方法， 其中： 所述第三外 洗时间为10秒。 7.如权利要求1、 2、 3或6的任一所述清洗时序控制方法， 还 包括： 第四内洗步骤 （400） ； 所述第四内洗步骤 （400） 以所述第一加速度的绝对值将所述旋转 部件减速到第四内洗段转速； 保持所述旋转部件 （001） 在所述第四内洗段转速第四内洗时 间； 其中， 所述第四内洗时间不小于10倍的所述第一启动时间。 8.如权利要求7的所述清洗时序控制方法， 其中： 所述第四内洗时间为6 0秒。 9.如权利要求1、 2、 4、 6或8的任一所述清洗时序控制方法， 还 包括：权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115228826 A 2第五外洗步骤 （500） ； 所述第五外洗步骤 （500） 以所述第一加速度的绝对值将所述旋转 部件加速到第五外洗段转速； 保持所述旋转部件 （001） 在所述第五外洗段转速第五外洗时 间； 其中， 所述第五外 洗时间不大于2倍的所述第一启动时间。 10.如权利要求9的所述清洗时序控制方法， 其中： 所述第五外 洗时间为10秒。 11.如权利要求1、 2、 4、 6、 8或10的任一所述清洗时序控制方法， 还 包括： 第六防反溅步骤 （600） ； 所述第六防反溅步骤 （600） 以所述第一加速度的绝对值将所述 旋转部件加速到第六防反溅段转速； 保持所述旋转部件 （001） 在所述第六防反溅段转速第 六防反溅时间； 其中， 所述第六防反溅时间不大于2倍的所述第一启动时间。 12.如权利要求1 1的所述清洗时序控制方法， 其中： 所述第六防反溅时间为10秒； 所述清洗时序控制方法用于聚酰亚胺Polyimide光刻胶 处理设备的清洗， 在光刻胶处理设备工艺流程中增加如权利要求1、 2、 4、 6、 8或10的所述第 二浸泡步骤 （200） 、 第三外洗步骤 （300） 、 第四内洗步骤 （400） 、 第五外洗步骤 （500） 至少之 一； 所述第一加速度采用所述驱动系统支持的任一可行加速度， 所述可行加速度确保所述 旋转部件 （0 01） 的调速过程符合预设的过渡时间阈值。 13.一种清洗控制装置， 包括： 启动处理单元 （1001） 、 时序控制单 元 （2002） 、 收工维护单 元 （3003） ； 其中， 所述启动处理单元 （1001） 获取旋转部件 （001） 驱动系统默认参数或额定参数至少之 一； 所述默认参数或所述额定参数确保所述驱动系统为所述旋转部件 （001） 提供充足的驱 动功率/能力， 启动所述旋转部件 （001） 并运行预设的第一启动时间； 其中， 所述旋转部件 （001） 以第一加速度由静止加速 至第一平台段转速； 所述时序控制单元 （2002） 改变所述旋转部件 （001） 的转速 并配合冲洗装置进行清洗作 业， 所述时序控制单元 （2002） 执行第二浸泡步骤 （200） ； 其中， 所述第二浸泡步骤 （200） 以所 述第一加速度的幅值将所述旋转部件 （001） 减速至第二浸泡段转速， 所述旋转部件 （001） 将 转速保持在所述第二浸泡段转速的时长为第二浸泡时间； 所述第二浸泡段转速小于所述第 一平台段转速的1/ 30， 所述第二浸泡时间大于所述第一启动时间的5 0倍； 收工维护单元 （3003） 检测目标区域的清洗效果， 如符合预设的清洁标准， 则退出清洗 过程， 并执行第七收工步骤 （3000） 中的停机操作， 所述停机操作将所述旋转部件 （001） 在预 设的第七关机时间内以预设的加速度进行制动直至静止 。 14.如权利要求13的所述清洗控制装置， 其中： 避免所述驱动系统 的过载时间超过安全阈值； 所述第 一平台段转速不大于所述旋转部 件 （001） 的最高额定转速或所述旋转部件 （001） 恶劣工况/工作制下稳定运行的转速， 所述 第一平台段转速不小于所述旋转部件 （001） 0.5倍或预设百分比的最高额定转速或所述旋 转部件 （0 01） 恶劣工况/ 工作制下 稳定运行转速的0.5倍或预设百分比。 15.如权利要求14的所述清洗控制装置， 其中： 所述第一启动时间为5秒， 所述第一平台段转速为2500转/分钟， 所述第二浸泡段转速 为80转/分钟， 所述第二浸泡时间为280秒， 所述第一加 速度为1000个标准加 速度单位 （米/ 秒平方） ， 所述第七关机时间对应于所述第一加速度的幅值或第七关机时间为2秒；权　利　要　求　书 2/3 页 3 CN 115228826 A 3