(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210752585.7 (22)申请日 2022.06.29 (71)申请人 北京天科创达科技有限公司 地址 100000 北京市昌平区科技园区创新 路11号创业大厦610室 (72)发明人 谷永明　 (74)专利代理 机构 北京知呱 呱知识产权代理有 限公司 1 1577 专利代理师 胡乐 (51)Int.Cl. B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01J 37/32(2006.01) (54)发明名称 等离子清洗机及其电极装置 (57)摘要 本申请公开了一种等离子清洗机的电极装 置， 所述等离子清洗机包括本体， 所述电极装置 包括连接于所述本体的真空箱、 连接于所述真空 箱的外壁且与所述等离子清洗机的电源连通的 射频电源、 连接于所述真空箱且用于密封所述真 空箱的真空腔的箱门和连接于所述真空箱且用 于给所述真空箱内输入工艺气体的输气管， 所述 真空腔的腔壁连接有与所述电极棒电连接的第 一电极件和与所述第一电极件电连接且用于伸 入到筒状待处理物体的内腔的第二电极件。 本申 请提供的等离子清洗机的电极装置， 解决了现有 技术中筒状待处理物的内腔处理效果不佳的问 题。 权利要求书1页 说明书5页 附图7页 CN 115026071 A 2022.09.09 CN 115026071 A 1.一种等离子清洗机的电极装置， 所述等离子清洗机包括本体， 其特征在于， 所述电极 装置包括连接于所述本体的真空箱、 连接于所述真空箱的电极棒、 连接于所述真空箱且用 于密封所述真空箱的真空腔的箱门和连接于所述真空箱且用于给所述真空腔内输入工艺 气体的输气管， 所述电极棒的一端伸入到所述真空腔， 另一端伸出所述真空箱的外壁且通 过导线与所述本体的射频电源电连接， 所述真空腔的腔壁连接有与所述电极棒电连接的第 一电极件和与所述第一电极件电连接的第二电极件， 当所述第二电极件伸入到筒状待处理 物体的内腔时， 所述第二电极件与所述筒状待处理物体的内腔腔壁之间具有间隙， 所述真 空箱的箱壁 开设有用于与真空发生装置连通的真空孔。 2.根据权利要求1所述的 电极装置， 其特征在于， 所述第一电极件为电极平板， 所述第 二电极件为圆柱壳， 所述真空腔的腔壁连接有一端与所述电极棒连接且另一端与所述电极 平板连接的导电带， 所述真空腔的腔壁还连接有两个相互平行的绝缘板， 所述电极平板的 两侧边缘处分别与两个所述绝缘板连接， 以使所述电极平板与所述真空腔的腔壁具有间 隙， 所述电极平板的一面连接有限位件， 所述圆柱壳连接有连接件， 所述限位件开设有用于 嵌设所述连接件的第一滑槽， 所述绝缘板开设有用于嵌设托物板的第二滑槽， 所述托物板 用于放置所述筒状待处理物体， 当所述电极装置连接于所述本体时， 所述电极平板与水平 面保持平行， 所述限位件位于所述电极平板的底面， 所述 托物板位于所述圆柱壳的下 方。 3.根据权利要求2所述的电极装置， 其特征在于， 所述圆柱壳远离所述电极平板的一端 形成为圆锥形， 所述圆柱壳开设有 多个电极孔， 相邻两个所述电极孔之间的间距相同。 4.根据权利要求1所述的 电极装置， 其特征在于， 所述真空箱开设有多个连通管， 所述 真空腔的腔壁连接有多个泄压板， 多个所述泄压板与多个所述连通管一一对应， 所述泄压 板包括主体、 两个分别连接于所述主体的两端的连接板， 两个所述连接板连接于所述真空 腔的腔壁， 所述主体与所述真空腔的腔壁具有间隙， 且所述主体朝向所述连通管 的投影覆 盖所述连通管。 5.根据权利要求1所述的电极装置， 其特征在于， 所述密封门连接有用于观察所述真空 腔的观察窗。 6.根据权利要求1所述的电极装置， 其特征在于， 所述密封门的内壁开设有用于嵌设弹 性密封圈的密封槽， 所述密封槽首位相连形成为闭合圈， 当所述弹性密封圈嵌设于所述密 封槽时， 所述弹性密封圈部分伸出 所述密封 槽。 7.根据权利要求1所述的 电极装置， 其特征在于， 所述真空箱 的外壁还连接有屏蔽罩， 所述屏蔽罩与所述真空箱的外壁围成屏蔽空腔， 所述电极棒伸出所述真空箱的外壁的部分 以及所述导线的部 分位于所述屏蔽空腔内， 所述导线伸出所述屏蔽罩的部 分的外壁套设有 屏蔽管。 8.一种等离子清洗机， 其特征在于， 包括本体和权利要求1 ‑7中任意一项所述的等离子 清洗机的电极装置， 所述电极装置连接 于所述本体。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115026071 A 2等离子清洗机及其电极装 置 技术领域 [0001]本申请涉及等离 子清洗机的领域， 具体涉及一种等离 子清洗机及其电极装置 。 背景技术 [0002]等离子清洗机用于处理物体表面的有机污染物和对材料表面的改性， 等离子清洗 机具有电极板， 电极板通过射频电源产生形成交变的电磁场， 真空腔体内的气体会被电离 成等离子体， 各种离子在变化的磁场中被驱动而高速轰击待处理物体的表面， 有些高能量 的离子会和材料表面的分子发生化学反应， 实现对物体表面的清洁和改性， 待处理物体一 般被放置在靠 近电极的位置， 此处的磁场强度较高， 等离 子体的处 理效果会更好。 [0003]现有技术中， 当待处理物体为筒状物体时， 筒状物体被放置在等离子清洗机内， 筒 状物体的内腔， 尤其是高分子材料类筒状物体的内腔底壁处离电极板比较远， 电极板产生 的高速等离子体不容易清洗该筒状物体的内腔腔壁， 导致等离子清洗机处理该类筒状物体 时， 处理效果不佳。 发明内容 [0004]为此， 本申请提供一种等离 子清洗机及其电极装置， 以解决现有技 术存在的问题。 [0005]为了实现上述目的， 本申请提供如下技 术方案： [0006]一种等离子清洗机 的电极装置， 所述电极装置包括连接于所述本体的真空箱、 连 接于所述真空箱的电极棒、 连接于所述真空箱且用于密封所述真空箱的真空腔的箱门和连 接于所述真空箱且用于给所述真空腔内输入工艺气 体的输气管， 所述电极棒的一端伸入到 所述真空腔， 另一端伸出所述真空箱的外壁且通过导线与所述本体的射频电源电连接， 所 述真空腔的腔壁连接有与所述电极棒电连接的第一电极件和与所述第一电极件电连接的 第二电极件， 当所述第二电极件伸入到筒状待处理物体的内腔时， 所述第二电极件与所述 筒状待处理物体的内腔腔壁之 间具有间隙， 所述真空箱的箱 壁开设有用于与真空发生装置 连通的真空孔。 [0007]优选地， 所述第一电极件为电极平板， 所述第二电极件为圆柱壳， 所述真空腔的腔 壁连接有一端与所述电极棒连接且另一端与所述电极平板连接的导电带， 所述真空腔的腔 壁还连接有两个相互平行的绝缘板， 所述电极平板的两侧边缘处分别与两个所述绝缘板连 接， 以使所述电极平板与所述真空腔的腔壁具有间隙， 所述电极平板的一面连接有限位件， 所述圆柱壳连接有连接件， 所述限位件开设有用于嵌设所述连接件的第一滑槽， 所述绝缘 板开设有用于嵌设托物板的第二滑槽， 所述托物板用于放置所述筒状待处理物体， 当所述 电极装置连接于所述本体时， 所述电极平板与水平面保持平行， 所述限位件位于所述电极 平板的底面， 所述 托物板位于所述圆柱壳的下 方。 [0008]优选地， 所述圆柱壳远离所述电极平板 的一端形成为圆锥形， 所述圆柱壳开设有 多个电极孔， 相邻两个所述电极孔之间的间距相同。 [0009]优选地， 所述密封门连接有用于观察所述真空腔的观察窗。说　明　书 1/5 页 3 CN 115026071 A 3