(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210755712.9 (22)申请日 2022.06.30 (71)申请人 上海图灵智算 量子科技有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区芳春路40 0号 1幢3层 (72)发明人 孙宏　郑建辉　丁杰　 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 晶圆清洁装置 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆清洁装置， 包括： 箱 体、 超声清洗部、 清洗槽及兆声清洗部， 超声清洗 部用于盛装清洗药液， 晶圆浸入清洗药液； 超声 清洗部还用于生成超声波以清洁晶圆， 清洗槽用 于冲洗或干燥晶圆。 清洗槽设于超声清洗部与兆 声清洗部之间， 兆声清洗部用于盛装清洗药液； 兆声清洗部还用于生成兆声波以清洁晶圆。 晶圆 可以先置于超声清洗部， 利用清洗药液浸润， 以 实现化学清洗； 利用超声波有效去除颗粒较大的 污染物， 随后利用兆声清洗部对晶圆进一步清 洗， 清洗药液可以再次对晶圆进行化学清洗， 兆 声波可以进一步有效去除颗粒较小的污染物， 最 后利用清洗槽对晶圆冲洗干净， 从而充分、 可靠 地对晶圆完成清洁， 避免污染物 残留在晶圆上。 权利要求书2页 说明书11页 附图5页 CN 115228836 A 2022.10.25 CN 115228836 A 1.一种晶圆清洁装置， 其特 征在于， 所述清洁装置包括： 箱体， 超声清洗部， 所述超声清洗部设于所述箱体， 所述超声清洗部用于盛装清洗药液， 所述 晶圆浸入清洗药 液； 所述超声清洗 部还用于生成超声 波以清洁所述晶圆， 清洗槽， 所述清洗槽设于所述箱体， 清洗槽与所述超声槽间隔设置， 所述清洗槽用于冲 洗或干燥所述晶圆； 兆声清洗部， 所述兆声清洗部设于所述箱体， 所述兆声清洗部与所述清洗槽间隔设置， 所述清洗槽 设于所述超声清洗部与所述兆声清洗部之 间， 所述兆 声清洗部用于盛装清洗药 液， 所述晶圆浸 入清洗药 液； 所述兆声清洗 部还用于生成兆声 波以清洁所述晶圆。 2.如权利要求1所述的晶圆清洁装置， 其特征在于， 所述兆声清洗部包括兆声槽组件及 兆声生成组件， 所述兆声槽组件设于所述箱体， 所述兆声生成组件的兆声振子设于所述兆 声槽组件， 所述兆声槽组件用于盛装清洗药 液， 所述兆声振子用于发出兆声 波。 3.如权利要求2所述的晶圆清洁装置， 其特征在于， 所述兆声槽组件包括兆声内槽和兆 声外槽， 所述兆 声内槽嵌设于所述兆 声外槽， 所述兆 声内槽与所述兆 声外槽相连通， 清洗药 液能够自所述兆声内槽流动至所述兆声外槽， 所述晶圆置于所述兆声内槽， 所述兆声振子 置于所述兆声外 槽。 4.如权利要求3所述的晶圆清洁装置， 其特征在于， 所述兆声清洗部还包括鼓泡器组 件， 所述鼓泡器组件设于所述兆声内槽的底部， 所述鼓泡器组件用于通入气体以搅动清洗 药液； 和/或， 所述兆声清洗部还包括喷淋管组件， 所述喷淋管组件搭设于所述兆声内槽的上 沿， 所述喷淋管组件用于对所述晶圆喷射清洗药 液； 和/或， 所述兆声内槽还设有进液口及排液口， 所述进液口用于向所述兆声内槽通入清 洗药液， 所述排液口用于排出 所述兆声内槽的清洗药 液； 和/或， 所述进液口设于所述兆声内槽侧面的下 方； 和/或， 所述 排液口设于所述兆声内槽的底部； 和/或， 所述兆声内槽的材质为石英 。 5.如权利要求3所述的晶圆清洁装置， 其特征在于， 所述兆声清洗部还包括进水管， 所 述进水管设于所述兆声外 槽， 所述进水 管用于向所述兆声外 槽通入纯 水； 和/或， 所述兆声外 槽还设有排 放口， 所述 排放口设于所述兆声外 槽的底部； 和/或， 所述兆声外 槽还设有溢流口， 所述溢流口设于所述兆声外 槽的侧面； 和/或， 所述兆声外槽还具有若干支撑腿， 若干所述支撑腿自所述兆声外槽的底部向下 延伸。 6.如权利要求1所述的晶圆清洁装置， 其特征在于， 所述超声清洗部包括超声槽组件及 超声生成组件， 所述超声槽组件设于所述箱体， 所述超声生成组件的超声振子设于所述超 声槽组件， 所述超声槽组件用于盛装清洗药 液， 所述超声振子用于发出兆声 波。 7.如权利要求6所述的晶圆清洁装置， 其特征在于， 所述超声槽组件包括超声内槽和超 声外槽， 所述超声内槽嵌设于所述超声外槽， 所述超声内槽与所述超声外槽相连通， 清洗药 液能够自所述超声内槽流动至所述超声外槽， 所述晶圆置于所述超声内槽， 所述超声振子 置于所述超声外 槽；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115228836 A 2和/或， 所述超声清洗部还包括加热组件， 所述加热组件设于所述超声槽组件内， 所述 加热组件用于加热 所述超声槽组件内的清洗药 液。 8.如权利要求1所述的晶圆清洁装置， 其特征在于， 所述晶圆清洁装置还包括废液回收 部， 所述废液回收部用于回收使用后的清洗药液， 所述废液回收部包括回收桶， 所述回收桶 分别与所述超声清洗 部、 所述清洗 槽、 所述兆声清洗 部相连通。 9.如权利要求8所述的晶圆清洁装置， 其特征在于， 所述晶圆清洁装置还包括第 一冲洗 槽， 所述第一冲洗槽与所述超声清洗部邻近设置， 所述第一冲洗槽用于冲洗经所述超声清 洗部清洁后的所述晶圆； 和/或， 所述晶圆清洁装置还包括第二冲洗槽， 所述第二冲洗槽与所述清洗槽邻近设 置， 所述第二冲洗 槽用于冲洗经 所述兆声清洗 部清洁后的所述晶圆。 10.如权利要求1 ‑9中任意一项所述的晶圆清洁装置， 其特征在于， 所述箱体内设有纵 隔板， 所述 纵隔板将所述箱体内部 分割为前部空间及后部空间， 所述超声清洗部、 所述清洗 槽及所述兆声清洗 部均设于所述前部空间。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115228836 A 3