(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210772019.2 (22)申请日 2022.06.30 (71)申请人 深圳市力子光电科技有限公司 地址 518102 广东省深圳市宝安区西乡街 道南昌社区深圳前湾硬科技产业园B 栋708 (72)发明人 朱子超　王桥　马梅芳　王四俊　 章唐辉　彭绍英　 (74)专利代理 机构 深圳智汇远见知识产权代理 有限公司 4 4481 专利代理师 赵烁 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 1/02(2006.01)B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种连续式芯片洗涤装置及工艺 (57)摘要 本发明公开了连续式芯片洗涤技术领域的 一种连续式芯片洗涤装置， 包括与外界进行固定 的中心轴， 中心轴外端转动连接有圆棍， 沿圆棍 轴线环形阵列排布有多个第一弹簧杆， 每个第一 弹簧杆母 杆端头均固定设置在圆棍上， 远离圆棍 的每个第一弹簧杆母杆端头均固定连接有清洗 槽， 清洗槽外端大下端小， 每个第一弹簧杆伸长 杆均穿过清洗槽底端； 本发明有效解决了常规的 超声波清洗模块中， 清洗剂需要进行长时间的使 用， 从而造成清洗剂中杂质越来越多， 随着清洗 剂一起震动， 再清洗剂中进行快速无规则移动， 一方面可能会造成划伤芯片的问题， 另外一方面 会消耗超声波模块的能量传递， 使得清洗效果慢 慢变差的问题。 权利要求书2页 说明书6页 附图9页 CN 115301626 A 2022.11.08 CN 115301626 A 1.一种连续式芯片洗涤装置， 包括与外界进行固定的中心轴(10)， 其特征在于： 所述中 心轴(10)外端转动连接有圆棍(11)， 沿所述圆棍(11)轴线环形阵列排布有多个第一弹簧杆 (12)， 每个所述第一弹簧杆(12)母杆端头均固定设置在圆棍(11)上， 远离 圆棍(11)的每个 所述第一弹簧杆(12)母杆端头均固定连接有清洗槽(13)， 所述清洗槽(13)外端大下端小， 每个所述第一弹簧杆(12)伸长杆均穿过清洗槽(13)底端， 且与清洗槽(13)底端密封滑动连 接， 每个所述第一弹簧杆(12)伸长杆穿过清洗槽(13)的端部固定连接有超声波模块(14)， 所述圆棍(11)侧壁传动连接有现有的动力装置， 所述动力装置用于驱动圆棍(11)绕着中心 轴(10)单向转动。 2.根据权利要求1所述的一种连续式芯片洗涤装置， 其特征在于： 每个所述清洗槽(13) 内部均设置有清洗组件， 所述清洗组件包括四个支撑轮(17)， 四个支撑轮(17)轴线处于同 一平面且平行， 每两个支撑轮(17)为一组， 每组支撑轮(17)之间设置有滑套(18)， 所述滑套 (18)内壁两端均滑动连接有两个子杆(19)， 两个子杆(19)之间设置有弹簧(20)， 所述弹簧 位于滑套(18)内部， 两个所述子杆(19)端部均固定连接有U型的插板(23)， 每个所述插板 (23)内部均转动连接到支撑轮(17)侧壁， 每组所述支撑轮(17)外壁均套设有柔性的清洗套 (21)， 两个所述滑套(18)外壁均固定连接有L架(22)， 所述L架(22)滑动设置在清洗槽(13) 内壁上， 位于清洗套(21)上端的所述L架(22)侧壁设置有用于驱动清洗套(21)转动的动力 机构， 两个所述 L架(22)上端设置有用于保持L架(2 2)同步运动的支撑装置 。 3.根据权利要求2所述的一种连续式芯片洗涤装置， 其特征在于： 所述支撑装置包括横 板(25)， 所述横 板(25)上开设有两个贯穿的滑槽(26)， 两个L架(22)分别滑动设置在两个滑 槽(26)内壁， 且位于横板(25)上下端面上的L架(22)外壁均固定连接有两块限位板(27)， 两 个限位板(27)的上端面和下端面分别接触在横 板(25)上下端面上， 所述横 板(25)端头设置 有用于驱动横板(25)与清洗 槽(13)同步 转动的同步装置 。 4.根据权利要求3所述的一种连续式芯片洗涤装置， 其特征在于： 所述动力 机构包括两 个涨紧轮(30)， 每个所述涨紧轮(30)摩擦接触在清洗套(21)外端面上， 所述涨紧轮(30)转 动设置在L架(22)侧壁上， 所述涨紧轮(30)侧壁同轴固定连接有第一锥齿轮(31)， 所述第一 锥齿轮(31)外啮合有第一锥齿轮棒(32)， 所述第一锥齿轮棒(32)转动连接在L架(22)侧壁 上， 所述第一锥齿轮棒(32)上端外壁固定连接有第二摩擦轮(33)， 所述第二摩擦轮(33)位 于滑槽(26)内部， 所述滑槽(26)内壁固定连接有摩擦条(34)， 所述摩擦条(34)用于驱动第 二摩擦轮(33)转动， 两个所述L架(22)上螺纹连接有同一个丝杆(35)， 所述丝杆(35)传动连 接到同步装置 。 5.根据权利要求4所述的一种连续式芯片洗涤装置， 其特征在于： 所述同步装置包括环 板(38)， 所述环板(38)同轴固定连接在圆棍(11)侧壁， 沿所述环板(38)轴线环形阵列排布 设置有多个螺纹杆(39)， 多个螺纹杆(39)与清洗槽(13)一一对应， 所述螺纹杆(39)与环板 (38)转动连接， 所述螺纹杆(39)上端穿过横板(25)且与横板(25)螺纹连接， 所述螺纹杆 (39)上端轴向滑动连接有第二锥齿轮(40)， 所述第二锥齿轮(40)外端啮合有第三锥齿轮 (41)， 所述第三锥齿轮(41)同轴固定设置在对应的丝杆(35)端头， 所述横板(25)与第二锥 齿轮(40)之间设置有拉伸弹簧(42)， 所述螺纹杆(39)位于环板(38)内侧的一端设置有驱动 螺纹杆(39)进行正反转的往复装置 。 6.根据权利要求5所述的一种连续式芯片洗涤装置， 其特征在于： 所述往 复装置包括同权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115301626 A 2轴固定连接在螺纹杆(39)端部的第三摩擦轮(43)， 每个所述第三摩 擦轮(43)两侧均间歇接 触连接有两个弧形摩 擦条(44)， 两个所述弧形摩 擦条(44)沿圆棍(11)轴线 方向投影互补不 重合。 7.根据权利要求1所述的一种连续式芯片洗涤装置， 其特征在于： 所述清洗槽(13)内壁 四周固定连接有橡胶垫(45)， 每个所述清洗槽(13)外端面侧壁固定 设置有同一块加强环圈 (46)。 8.一种连续式芯片洗涤工艺， 适用于权利要求1 ‑6任意一项所述的一种连续式芯片洗 涤装置， 其特 征在于： 该洗涤工艺的具体步骤如下： 步骤一： 将需要进行清洗的芯片转运到清洗现场， 将现有的芯片清洗液注液装置转运 到清洗现场， 且固定好注 射位置， 将芯片放置到清洗槽(13)内部， 此时清洗槽(13)位于上端 且开口位于斜上 方， 同时向清洗 槽(13)内注入清洗液； 步骤二： 启动动力装置， 圆棍(11)绕着中心轴(10)转动， 使得清洗槽(13)进行公转， 同 时启动超声 波模块(14)对清洗液进行能量施加， 使得清洗液 出现震动， 对芯片进行清洗； 步骤三： 在圆棍(11)转动时环板(38)转动， 螺纹杆(39)转动驱动环板(38)下降， 使得清 洗套(21)下降向清洗槽(13)内部移动， 压在芯片上， 使 得芯片压在超声波模块(14)， 超声波 模块(14)下降， 芯片沉入清洗液中， 同时两个清洗套(21)边转动， 边靠近， 从而对芯片上端 清理； 步骤四： 随着圆棍(11)持续转动， 清洗槽(13)开始下降， 清洗套(21)外移， 芯片和清洗 液被一同倒出清洗槽(13)， 从而完成清洗排料， 在这一过程中， 多个清洗槽(13)位置一直变 换， 从而进行连续性上料清洗； 步骤五： 清洗完成后将芯片捡出转运， 同时将清洗液进行过滤再清洗， 从而完成连续性 过滤清洗作用。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115301626 A 3