(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210755276.5 (22)申请日 2022.06.30 (71)申请人 上海图灵智算 量子科技有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区芳春路40 0号 1幢3层 (72)发明人 孙宏　郑建辉　丁杰　 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 3/08(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 晶圆清洁方法 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆清洁方法， 包括将待 清洗晶圆浸入晶圆清洁装置的超声清洗部内的 清洗药液， 超声清洗部生成超声波以清洁晶圆； 自超声清洗部取出晶圆， 将晶圆浸入晶圆清洁装 置的兆声清洗部内的清洗药液， 兆声清洗部生成 兆声波以清洁晶圆； 自兆声清洗部取出晶圆， 将 晶圆放入晶圆清洁装置的清洗槽， 将晶圆冲洗干 净。 利用超声清洗部的清洗药液浸润晶圆， 实现 晶圆的化学清洗， 同时利用超声波有效去除颗粒 较大的污染物。 随后利用兆声清洗部对晶圆进一 步清洗， 兆声清洗部的清洗药液可以再次对晶圆 进行化学清洗， 兆声波可以进一步有效去除颗粒 较小的污染物， 最后利用清洗槽对晶圆冲洗干 净， 从而充分、 可靠地对晶圆完成清洁。 权利要求书2页 说明书10页 附图5页 CN 115228835 A 2022.10.25 CN 115228835 A 1.一种晶圆清洁方法， 其特 征在于， 所述晶圆清洁方法包括： 将待清洗晶圆浸入晶圆清洁装置的超声清洗部 内的清洗药液， 所述超声清洗部生成超 声波以清洁所述晶圆； 自所述超声清洗部取出所述晶圆， 将所述晶圆浸入所述晶圆清洁装置的兆声清洗部 内 的清洗药 液， 所述兆声清洗 部生成兆声 波以清洁所述晶圆； 自所述兆声清洗部取出所述晶圆， 将所述晶圆放入所述晶圆清洁装置的清洗槽， 将所 述晶圆冲洗 干净。 2.如权利要求1所述的晶圆清洁方法， 其特征在于， 所述晶圆自所述超声清洗部取出 后， 将所述晶圆放入 所述晶圆清洁装置的第一冲洗槽， 在所述第一冲洗槽内冲洗所述晶圆， 完成后将所述晶圆浸 入所述兆声清洗 部内的清洗药 液。 3.如权利要求2所述的晶圆清洁方法， 其特征在于， 所述第 一冲洗槽与 所述超声清洗部 邻近设置； 将所述晶圆放入所述超声清洗部的超声内槽， 所述超声内槽嵌设于所述超声清洗部的 超声外槽， 所述超声内槽与所述超声外槽相连通， 清洗药液能够自所述超声内槽流动至所 述超声外槽， 所述超声清洗部的超声振子置于所述超声外槽， 清洗药液以流动的方式清洁 所述晶圆。 4.如权利要求1所述的晶圆清洁方法， 其特征在于， 所述晶圆自所述兆声清洗部取出 后， 将所述晶圆放入 所述晶圆清洁装置的第二冲洗槽， 在所述第二冲洗槽内冲洗所述晶圆， 完成后将所述晶圆放入所述晶圆清洁装置的清洗 槽。 5.如权利要求4所述的晶圆清洁方法， 其特征在于， 所述第 二冲洗槽与 所述兆声清洗部 邻近设置； 和/或， 将所述晶圆放入所述兆声清洗部的超声内槽， 所述兆声内槽嵌设于所述超声清 洗部的兆声外槽， 所述兆声内槽与所述兆声外槽相连通， 清洗药液能够自所述兆声内槽流 动至所述兆声外槽， 所述兆声清洗部的兆声振子置于所述兆声外槽， 清洗药液以流动的方 式清洁所述晶圆； 和/或， 所述兆声清洗部的鼓泡器组件设于兆声内槽的底部， 所述鼓泡器组件通入气体 以搅动清洗药 液； 和/或， 所述兆声清洗部的喷淋管组件搭设于兆声内槽的上沿， 所述喷淋管组件对所述 晶圆喷射清洗药 液。 6.如权利要求1所述的晶圆清洁方法， 其特征在于， 所述晶圆清洁方法还包括将所述晶 圆放入提篮， 通过操作提篮实现所述晶圆的转移。 7.如权利要求1所述的晶圆清洁方法， 其特征在于， 所述晶圆清洁方法还包括利用所述 晶圆清洁装置的水枪冲刷所述晶圆； 和/或， 利用所述晶圆清洁装置的气枪吹干所述晶圆。 8.如权利要求1所述的晶圆清洁方法， 其特征在于， 所述晶圆清洁方法还包括开启所述 晶圆清洁装置的加热组件， 以提高清洗药 液的温度。 9.如权利要求1 ‑8中任意一项所述的晶圆清洁方法， 其特征在于， 所述晶圆清洁装置还 包括箱体， 所述超声清洗部、 所述兆 声清洗部及所述清洗槽均设于所述箱体内， 所述晶圆清 洁装置清洗所述晶圆时， 所述箱体呈封闭状态。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115228835 A 210.如权利要求9所述的晶圆清洁方法， 其特征在于， 所述晶圆清洁方法还包括开启所 述晶圆清洁装置的抽气组件， 所述抽气组件将所述箱体内的气 体排放至晶圆清洁装置的外 部。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115228835 A 3