(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210757438.9 (22)申请日 2022.06.30 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司 地址 100176 北京市北京经济技 术开发区 文昌大道8号 (72)发明人 王瑞轩　陈忠明　 (74)专利代理 机构 北京天昊联合知识产权代理 有限公司 1 1112 专利代理师 彭瑞欣　王婷 (51)Int.Cl. H01L 21/683(2006.01) H01L 21/67(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 清洗设备的卡盘装置及清洗设备 (57)摘要 本发明提供一种清洗设备的卡盘装置及清 洗设备， 其中卡盘装置包括： 卡盘主体、 喷嘴、 供 气管路和安装组件； 其中， 卡盘主体底部设置有 安装孔， 喷嘴设置在安装孔中且不与卡盘主体连 接； 喷嘴内部开设有用于向第一气体通道输送气 体的第二气体通道； 用于安装喷嘴的安装组件包 括直通管， 供气管路设置于该直通管中； 直通管 的外周面与安装孔的内周面之间形成有环状狭 缝； 喷嘴内部还开设有第三气体通道， 第三气体 通道的进气口与供气管路连通； 第三气体通道的 出气口朝向背离承载面的一侧且对应于环状狭 缝的顶端设置， 用以向环状狭缝通气， 以能够利 用向下的气流防止倒吸， 从而避免吹向晶圆表面 的气体携带有微小颗粒， 保证晶圆的成品率。 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 CN 114975222 A 2022.08.30 CN 114975222 A 1.一种清洗设备的卡盘装置， 包括卡盘主体， 所述卡盘主体具有用于承载晶圆的承载 面； 所述卡盘主体内部开设有第一气体通道， 所述第一气体通道的出气口开设在所述承载 面上， 用以向所述晶圆通气； 其特征在于， 所述卡盘装置还包括： 喷嘴、 供气管路和安装组 件； 其中， 所述卡盘主体 内设置有安装孔， 所述喷嘴设置在所述安装孔中且不与 所述卡盘主体连 接； 所述喷嘴内部开设有第二气体通道， 所述第二气体通道的出气口与所述第一气体通道 的进气口连通， 所述第二气体通道的进气口与所述供气管路连通， 以向所述第一气体通道 输送气体； 所述安装组件用于将所述喷嘴安装在所述安装孔中； 所述安装组件包括直通管， 所述 直通管的顶端与所述喷嘴连接且位于所述安装孔中， 所述供气管路位于所述直通管内； 所 述直通管的外周面与所述 安装孔的内周面之间形成有环状狭缝； 所述喷嘴内部还开设有第 三气体通道， 所述第 三气体通道的进气口与 所述供气管路连 通； 所述第三气 体通道的出气口朝向背离所述承载面的一侧且对应于所述环状狭缝的顶端 设置， 用以向所述环状狭缝通气。 2.根据权利要求1所述的卡盘装置， 其特征在于， 所述第 三气体通道的进气口与所述第 二气体通道连通， 且所述第三气体通道的出气口低于进气口。 3.根据权利要求2所述的卡盘装置， 其特征在于， 所述第 二气体通道包括多条沿倾斜方 向延伸的第二子通道； 多条所述第二子通道的进气口均与所述供气管路连通， 多条所述第 二子通道的出气口均布在所述喷 嘴的上表面； 所述第三气体通道包括与每条所述第 二子通道一一对应设置的第 三子通道； 每条第 三 子通道均的进气口与相应的所述第二子通道连通。 4.根据权利要求3所述的卡盘装置， 其特征在于， 所述第 三子通道的轴 线与竖直方向的 夹角范围为 40°～50°， 且所述第三子通道的孔径范围为1m m～2mm。 5.根据权利要求1所述的卡盘装置， 其特征在于， 所述卡盘还包括驱动组件； 所述驱动 组件具有环状的动力输出端； 所述动力输出端通过所述安装组件与所述卡盘本体连接， 用以驱动所述卡盘本体旋 转； 所述动力输出端环绕所述直通管设置， 且不与所述直通管连接， 以使 所述直通管和所述 喷嘴不跟随所述 卡盘主体旋转。 6.根据权利要求5所述的卡盘装置， 其特征在于， 所述安装组件还包括密封部件和轴 承 部件； 所述密封部件分别与所述卡盘主体和所述动力输出端密封连接； 所述密封部件环绕 所述直通管设置； 所述轴承部件位于所述直通管和所述动力输出端之间， 且分别与所述直通管、 所述密 封部件和所述动力输出端连接， 以使 所述密封部件和所述动力输出端能够相对于所述直通 管旋转。 7.根据权利要求6所述的卡盘装置， 其特征在于， 所述密封部件包括第 一密封件和第 二 密封件， 所述第一密封件和所述第二密封件分别与所述动力输出端的顶端和底端密封连 接， 且所述第一密封件与所述 卡盘主体密封连接； 所述轴承部件包括第 一轴承和第 二轴承， 所述第 一轴承和所述第 二轴承分别与所述第 一密封件和所述第二密封件 对应设置 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114975222 A 28.根据权利要求7所述的卡盘装置， 其特征在于， 所述直通管的侧面开设有至少一个第 一通气孔， 且均位于所述第一密封件和所述第二密封件之间； 所述直通管的底部开设有至少一个与大气环境连通的第二 通气孔。 9.根据权利要求7 所述的卡盘装置， 其特 征在于， 所述第一密封件的内周面上、 和/或 所述直通管外周面与所述 安装孔内周面相对的位置处、 和/或 所述喷嘴外周面上设置有迷宫结构。 10.根据权利要求9所述的卡盘装置， 其特征在于， 所述迷宫结构包括环状凹槽和环状 凸起， 所述环状凹槽和所述环状凸起沿平行于所述 直通管轴线的方向排布， 且交替设置 。 11.一种清洗设备， 其特 征在于， 包括如权利要求1 ‑10任意一项所述的卡盘装置 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114975222 A 3