(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210798389.3 (22)申请日 2022.07.08 (71)申请人 凯鑫森 （上海） 功能性薄膜产业股份 有限公司 地址 201507 上海市金山区漕泾镇 合展路 196号 (72)发明人 周鹏　曹建　沈渊　徐宇　 (74)专利代理 机构 杭州创信知识产权代理有限 公司 33383 专利代理师 孙俊杰 (51)Int.Cl. B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种超精密模具异物残留清洗装置和使用 方法 (57)摘要 本发明公开了一种超精密模具异物残留清 洗装置和使用方法， 旨在解决现有的对增光膜模 具清洗方式或导致模具失效或存在高成本的不 足。 该发明包括与模具偏置的激光发射器和探测 元件， 根据探测元件的探测结果激光发射器运动 以对准异物残留， 激光发射器具有预设配置使激 光发射器产生的激光在不损伤模具的前提下剥 离异物残留。 激光照射的方式为非接触式， 杜绝 了伤害模具的可能， 延长了模具的寿命， 在线清 洁和随检随清的方式节省了装卸时间， 加快了生 产节拍， 在异物产生的第一时间即进行清洗， 可 以保证产品不受到模具上的异物的影 响， 提高产 品的良率。 权利要求书1页 说明书7页 附图3页 CN 115193825 A 2022.10.18 CN 115193825 A 1.一种超精密模具异物残留清洗装置， 模具具有转动轴并绕转动轴转动， 其特征是， 包 括与模具偏置的激光 发射器和探测元件， 根据探测元件的探测结果激光 发射器运动以对准 异物残留， 激光发射器产生激光在不损伤模具的前提下剥离异 物残留。 2.根据权利要求1所述的一种 超精密模具异物残留清洗装置， 其特征是， 包括有架设在 模具上方向的导轨和直线电机， 导轨沿转动轴方向设置， 激光发射器滑动连接在导轨上， 直 线电机传动连接 激光发射器。 3.根据权利要求2所述的一种 超精密模具异物残留清洗装置， 其特征是， 激光发射器的 激光发射头与模具表面垂直。 4.根据权利要求1所述的一种 超精密模具异物残留清洗装置， 其特征是， 激光发射器的 功率在20 ‑200w之间， 激光发射器产生的激光为红外光， 激光的波长在1064nm ±50nm， 脉冲 宽度为10ns ‑30ns， 脉冲频率在600 ‑800KHZ， 单脉冲能量为10 ‑250mJ， 激光扫描速度小于等 于6000mm/s， 激光 光斑尺寸 为15～50 μm。 5.根据权利要求1所述的一种 超精密模具异物残留清洗装置， 其特征是， 异物残留包括 丙烯酸脂 。 6.根据权利要求1所述的一种 超精密模具异物残留清洗装置， 其特征是， 探测元件通过 检测产品得到探测结果， 探测元件包括若干CCD检测探头， CCD检测 探头沿模具的轴向方向 等间距布置。 7.根据权利要求1至6任意一项所述的一种超精密模具异物残留清洗装置， 其特征是， 所述激光发射器具有定位状态和清洗状态， 激光发射器在定位状态时移动速度为10 ‑ 100cm/min， 激光发射器在清洗状态时移动速度为1 ‑5cm/min。 8.一种超精密模具异物残留清洗装置的使用方法， 包括如权利要求7所述的超精密模 具异物残留清洗装置， 其特 征是， 它是按照以下步骤进行的： S1.模具转动 速度为3m/min， 探测元件拍摄通过模具的产品， 根据预设条件判断是否需 要进行清洗以及模具待清洗的位置； S2.若需要清洗， 激光发射器处于定位状态下并移动至对应模具待清洗位置的目标位 置； S3.激光发射器切换至清洗状态， 在目标位置预设范围内往复移动并按照预设配置产 生激光照射在模具 上； S4.激光发射器按预设参数运行若干时间； S5.激光发射器再次处于待机状态。 9.根据权利要求8所述的一种 超精密模具异物残留清洗装置的使用方法， 其特征是， 所 述预设参数为探测元件不再检测到存在异 物残留的产品或维持5 ‑10min。 10.根据权利要求8所述的一种超精密模具异物残留清洗装置的使用方法， 其特征是， 预设范围为 正负1cm。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115193825 A 2一种超精密模具异物残留清洗装 置和使用方 法 技术领域 [0001]本发明涉及显示器生产领域， 更具体地说， 它涉及一种超精密模具异物残留清洗 装置和使用方法。 背景技术 [0002]随着TFT‑LCD液晶显示技术 的普及， 其背光模组及其相关光学膜片的需求量也越 来越大。 光学膜片中会有一款增光膜， 用于提升液晶显示器背光模组的亮度。 增光膜表面有 um级的超精细结构， 这种结构是增光膜起到增光效果的关键所在。 [0003]中国专利公告号CN111694079A， 名称为一种复合增 光膜背涂面结构及制作方法， 该申请案公开了一种复合增光膜背涂面结构及制作方法， 该复合增光膜背涂面结构包括基 材， 基材具有一对相反的表面， 分别为进光面和背涂面， 背涂面为粗糙的棱镜表面， 粗糙的 棱镜表面是 由改进成型辊加工而成； 改进成型辊包括基辊和电镀在其外侧的镍磷层， 基辊 在电镀前对其表面进 行车平处理， 电镀后在镍磷层上用金刚石刀具对其进 行螺纹切削雕刻 处理， 金刚石刀具的下刀深度为2 ‑5um， 下刀频率为15000 ‑20000HZ， 镍磷层经过螺纹切削雕 刻处理后表面形成有微凹结构。 [0004]这种雕刻对设备和工艺要求极高， 设备都是进口的， 加工成本很高， 单只微结构模 具辊筒价格很高。 模 具辊筒在生产产品的时候， 很容易新增固态异物缺陷， 形成周期性的不 良， 无法达 到客户要求， 只能更 换新的模具。 [0005]若能清除异 物缺陷， 就可以提升模具的使用寿命， 降低使用成本 。 [0006]由于模具表面为UV级别的结构， 不能触碰， 一般触碰就会损伤表面结构， 造成模具 失效。 现有的模 具清洗方式包括手工清洗， 超声波清洗， 药液经跑清洗， 高压水冲洗。 这些清 洗方式都需要接触模具表面， 存在模具失效的可能。 其中， 模具浸泡后用超声波清洗， 浸泡 液会和铜层发生反应而使结构形成二次损坏； 而采用溶剂浸泡清洗则具有成本高的缺陷， 需要添置大型 的足以容纳模具 的清洗设备,因清洗液存在的污染风险， 还需要增设废水处 理装置。 [0007]中国专利公告号CN105537890B， 名称为一种LED光学透镜的模具加工工艺， 该申请 案公开了一种LED光学透镜的模具加工工艺， 包括对模具粗加工、 电镀镍以及模具的精加 工， 模具粗加工包括对模具钢材进 行调质锻造、 车铣成型以及表层初处理； 模具精加工则采 用钻石车床进行超高精密加工， 使光学透镜模具表面平整。 在精加工时， 模具胚体需要浸入 PH值为10～12的碱性清洗液中， 浸泡10 ‑15min,并进行电解处理,电解电流为2A/dm  2， 除去 模具胚体表面油污 。 采用这样的清洗会产生相当数量的污水， 环保性 欠佳。 [0008]同时， 现有的清洗方式均需要将模具移出产线， 影响产生节拍。 [0009]综上， 本申请旨在实现一种超精密模具异物残留清洗装置和使用方法， 保障模具 完好， 降低清洗成本 。说　明　书 1/7 页 3 CN 115193825 A 3