(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210805632.X (22)申请日 2022.07.08 (71)申请人 南京华易泰电子科技有限公司 地址 211500 江苏省南京市江北新区智能 制造产业园(智博园)博富路19号 (72)发明人 焦明印　孔祥振　尤良伟　 (74)专利代理 机构 北京慕达星云知识产权代理 事务所 (特殊普通合伙) 11465 专利代理师 肖莎 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 11/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种利用超高水压和二氧化碳的水喷射清 洁系统 (57)摘要 本发明公开了一种利用超高水压和二氧化 碳的水喷射清洁系统， 包括去离子水供给系统 等， CO2与水混合结构包括文丘里管式气液混合 器； CO2供给系统的供给口连接文丘里管式气液 混合器的喉管部； 文丘里管式气液混合器的一端 为去离子水供入口， 另一端为混合液射出口； 混 合液射出口连接的外部流通管道上依次安装离 子浓度计、 高压泵， 高压泵的出口分别连接主管 路和分支的排液管路， 主管路上依次安装第一压 力表、 第一过滤器、 第二压力表、 流量计， 主管路 的末端连接喷嘴部分。 本发明喷出的混合液可以 去除玻璃基板上的静电， 使灰尘等污染物不再吸 附在玻璃基板上； 混合液还可通过超高压喷射， 对颗粒大小为5‑10um的污染物进行有效清 洗， 实 现最大化清洁 效果。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 115055435 A 2022.09.16 CN 115055435 A 1.一种利用超高水压和二氧化碳的水喷射清洁系统， 其特征在于， 包括去离子水供给 系统、 CO2供给系统、 CO2与水混合结构、 离子浓度计、 高压泵、 排液管路、 第一过滤器、 流量 计、 喷嘴部分， 所述CO2与水混合结构包括文丘里管式气液混合器， 所述文丘里管式气液混 合器的截面面积最小处为喉管部； 所述C O2供给系统的供给口连接所述喉管部； 所述文丘里 管式气液混合器的一端为去离子水供入口， 另一端为混合液射出 口， 所述去离子水供入口 处安装有第一单向阀， 所述混合液射出 口与所述喉管部之间连接缓冲部； 所述去离子水供 给系统的供给口连接所述去离子水供入口； 所述混合液射出口连接的外部流通管道上沿混 合液的流动方向依 次安装所述离子浓度计、 所述高压泵， 所述高压泵的出 口分别连接一主 管路和一分支的排液管路， 所述主管路上沿混合液 的流动方向依 次安装第一压力表、 所述 第一过滤器、 第二压力表、 所述流量计， 所述主管路的末端连接所述喷嘴部分； 所述排液管 路上安装有安全阀。 2.根据权利要求1所述的一种利用超高水压和二氧化碳的水喷射清洁系统， 其特征在 于， 所述去离子水供给系统的供水管路上安装有供水阀门， 所述供水管路的末端为所述去 离子水供给系统的供 给口。 3.根据权利要求1所述的一种利用超高水压和二氧化碳的水喷射清洁系统， 其特征在 于， 所述CO2供给系统的供气管路上沿其气体的流动方向依次安装手动阀、 气体流量计、 气 动阀门、 调压阀、 第二过滤器、 第二单向阀， 所述供气管路的末端为所述CO2供给系统的供给 口。 4.根据权利要求3所述的一种利用超高水压和二氧化碳的水喷射清洁系统， 其特征在 于， 所述气体流 量计上安装有报警器。 5.根据权利要求1所述的一种利用超高水压和二氧化碳的水喷射清洁系统， 其特征在 于， 所述缓冲部内沿其轴向方向设置有 多个多孔板 。 6.根据权利要求1所述的一种利用超高水压和二氧化碳的水喷射清洁系统， 其特征在 于， 所述喷嘴部分由多个高压 喷嘴排列 组合安装而成， 多个所述高压 喷嘴的总入水 口连接 所述主管路的末端。 7.根据权利要求6所述的一种利用超高水压和二氧化碳的水喷射清洁系统， 其特征在 于， 多个所述高压喷 嘴的喷射部分外 部整体安装有一透明外罩。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115055435 A 2一种利用超高 水压和二氧化 碳的水喷射清洁系统 技术领域 [0001]本发明涉及产品清洁领域， 更具体地说， 涉及一种利用超高水压和二氧化碳的水 喷射清洁系统。 背景技术 [0002]液晶显示器(LCD)的结构主要包括两片设有透明电极的玻璃基板、 两片玻璃基板 外侧的偏光器、 配向膜和夹在配向膜间的液晶。 玻璃基板在不通电的情况下， 配向膜间的液 晶分子不旋转， 光线 可以顺利通过液晶层和偏光器， 显示为亮态； 当玻璃基板连接到外部电 源时， 液晶分子在电场作用下发生旋转， 光线不能通过液 晶层和偏光器， 显示为暗态。 给玻 璃基板上需要显示图案的区域设计电场， 即可通过控制图案区域液晶分子的旋转来得到需 要显示的图案 。 [0003]随着液晶显示器高度的整合， 在其制造过程中为了控制产品产率以及产品品质， 控制污染物以及环 境污染是相当重要的。 因此， 在制造液晶显示器的过程中， 将液晶显示器 上不要的物质以及颗粒移除的清洁步骤 是必要的。 而且， 目前8 0％的液晶显示器， 其 玻璃基 板缺陷是 由颗粒引起的， 因此清洁步骤更显得尤为重要。 但是目前常规的清洗装置无法对 颗粒大小为5 ‑10um的污染物进 行有效清洗。 同时， 玻璃基板在传送过程中， 还会因摩 擦等原 因产生静电， 使得污染物吸附在玻璃 表面不易脱离， 又对玻璃基板 造成了二次污染。 [0004]因此， 开发出一种针对液晶显示器等FP D产品的高性能清洁工具十分有必要。 发明内容 [0005]有鉴于此， 本发明提出了一种利用超高水压和二氧化碳的水喷射清洁系统， 其具 体技术方案如下： [0006]一种利用超高水压和二氧化碳的水喷射清洁系统， 包括去离子水供给系统、 CO2供 给系统、 C O2与水混合结构、 离子浓度计、 高压泵、 排液管路、 第一过滤器、 流量计、 喷嘴部 分， 所述CO2与水混合结构包括文丘里管式气液混合器， 所述文丘里管式气液混合器的截面面 积最小处为喉管部； 所述C O2供给系统的供给口连接所述喉管部； 所述文丘里管式气液混合 器的一端为去离子水供入口， 另一端为混合液射出 口， 所述去离子水供入口处安装有第一 单向阀， 所述混合液射出 口与所述喉管部之间连接缓冲部； 所述去离子水供给系统的供给 口连接所述去离子水供入口； 所述混合液射出口连接的外部流通管道上沿混合液的流动方 向依次安装所述离子浓度计、 所述高压泵， 所述高压泵的出 口分别连接一主管路和 一分支 的排液管路， 所述主 管路上沿混合液的流动方向依次安装第一压力表、 所述第一过滤器、 第 二压力表、 所述流量计， 所述主 管路的末端连接所述喷嘴部分； 所述排液管路上安装有安全 阀。 [0007]通过采用上述技术方案， 本 发明使CO2和去离子水在CO2与水混合结构内充 分混合 后发生电离， 以在后续冲洗步骤中去除玻璃基板上 的静电， 使灰尘等污染物不再吸 附在玻 璃基板上， 同时C O2的后期排放也环保无污染； 混合液同时还经过了加压、 过滤等步骤， 最后说　明　书 1/4 页 3 CN 115055435 A 3