(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210816958.2 (22)申请日 2022.07.12 (71)申请人 重庆智顺电子科技有限公司 地址 400800 重庆市綦江区万盛区东城大 道45号1幢24-4 (72)发明人 熊友红　 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 15/18(2006.01) F26B 15/14(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)发明名称 一种环保型集成电路板生产用电镀硅片清 洗烘干装置 (57)摘要 本发明公开了一种环保型集成电路板生产 用电镀硅片清洗烘干装置， 包括框架， 框架内顶 部设置有移动架， 移动架的内部设置有传动机 构， 框架的一侧设置有箱体， 箱体内底部设置有 传送带， 传送带的正面一侧设置有驱动电机， 箱 体正面设置有控制器， 传送带的一端设置有位于 传动机构下方的清洗箱， 清洗箱内部两侧壁设置 有超声波传感器， 清洗箱的一侧设置有载物台， 载物台顶端设置有若干清洗框， 清洗框的顶端开 设有若干孔洞。 本发明结构合理可靠， 操作方便， 从而可以实现对该清洗烘干装置的横向自动化 调节的同时， 还能对清洗框进行限位固定的作 用， 从而提高了该清洗烘干装置整体的稳定性与 安全性， 进 而加快了 工作进度， 提高了 工作效率。 权利要求书2页 说明书6页 附图7页 CN 115156184 A 2022.10.11 CN 115156184 A 1.一种环保型集成电路板生产用电镀 硅片清洗烘干装置， 包括框架(1)， 其特 征在于： 所述框架(1)内顶部设置有移动架(2)， 所述移动架(2)的内部设置有传动机构(3)， 所 述框架(1)的一侧设置有箱 体(4)， 所述箱体(4)内底部设置有传送带(5)， 所述传送带(5)的 正面一侧设置有驱动电机(6)， 所述箱体(4)正 面设置有控制器(7)； 所述传送带(5)的一端设置有位于所述传动 机构(3)下方的清洗箱(8)， 所述清洗箱(8) 内部两侧壁设置有超声波传感器(9)， 所述清洗箱(8)的一侧设置有载物 台(10)， 所述载物 台(10)顶端设置有 若干清洗 框(11)， 所述清洗 框(11)的顶端开设有 若干孔洞(12)。 2.根据权利要求1所述的一种环保型集成电路板生产用电镀硅片清洗烘干装置， 其特 征在于， 所述框架(1)顶端中部 设置有固定板(13)， 所述固定板(13)的两端均设置有液压缸 (14)， 所述液压缸(14)的伸缩端贯 穿所述固定 板(13)与所述移动架(2)顶端两侧相连接 。 3.根据权利要求1所述的一种环保型集成电路板生产用电镀硅片清洗烘干装置， 其特 征在于， 所述移动架(2)两侧的两端设置有 四个相对称的齿轮(15)， 所述框架(1)内部两侧 设置有与所述齿轮(15)相啮合的齿条(16)， 所述传动机构(3)的底端设置有夹紧机构(17)， 所述箱体(4)内顶端设置有隔板(18)， 所述隔板(18)中部设置有 热能转化器(19)， 所述清洗 箱(8)内部设置有支撑 板(20)。 4.根据权利要求1所述的一种环保型集成电路板生产用电镀硅片清洗烘干装置， 其特 征在于， 所述传动机构(3)包括设置在所述移动架(2)内部的两个相对称的限位杆一(301)， 两个所述限位杆一(301)之间设置有螺纹杆一(302)， 所述螺纹杆一(302)的一端设置有电 机(303)， 所述限位杆一(301)及所述螺纹杆一(302)的圆周外部套设有与之相配合移动块 (304)。 5.根据权利要求3所述的一种环保型集成电路板生产用电镀硅片清洗烘干装置， 其特 征在于， 所述夹紧机构(17)包括设置在所述移动块(304)底端两侧的竖板(171)， 所述竖板 (171)底端设置有安装板(172)， 所述安装板(172)的顶端两侧 对称开设有滑槽(173)， 两组 所述滑槽(173)的内部均设置有两个相对称的限位杆二(174)。 6.根据权利要求5所述的一种环保型集成电路板生产用电镀硅片清洗烘干装置， 其特 征在于， 所述限位杆二(174)的圆周外部套设有与之相配合滑 块(175)， 所述滑 块(175)的横 截面为T形结构。 7.根据权利要求5所述的一种环保型集成电路板生产用电镀硅片清洗烘干装置， 其特 征在于， 所述安装板(172)顶端中部设置有双头电机(176)， 所述双头电机(176)的两端均设 置有贯穿所述滑块(175)顶部的螺纹杆二(177)， 两个所述螺纹杆二(177)的一端与所述竖 板(171)相连， 所述滑块(175)底端均设置有夹 板(178)。 8.根据权利要求7所述的一种环保型集成电路板生产用电镀硅片清洗烘干装置， 其特 征在于， 所述夹 板(178)的一侧壁设置有 若干防滑凸块(179)。 9.根据权利要求3所述的一种环保型集成电路板生产用电镀硅片清洗烘干装置， 其特 征在于， 所述热能转化器(19)包括涡流管(191)， 所述涡流管(191)靠近所述框架(1)的一端 设置有热气管(192)， 所述热气管(192)的一端设置有输热管(193)， 所述输热管(193)底端 设置有出 热喷头(194)； 所述涡流管(191)另一端设置有冷气管(195)， 所述冷气管(195)的一端设置有输冷管 (196)， 所述输冷管(196)底端设置有出冷喷头(197)。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115156184 A 210.根据权利要求9所述的一种环保型集成电路板生产用电镀硅片清洗烘干装置， 其特 征在于， 所述涡流管(191)底部设置有进气管(198)， 所述进气管(198)底端设置有空气 压缩 机(199)， 且所述空气压缩机(19 9)底部与所述隔板(18)固定连接 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115156184 A 3