(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210338894.X (22)申请日 2022.04.01 (71)申请人 厦门威芯泰科技有限公司 地址 361000 福建省厦门市集美区软件园 三期浦公山西路1-1号20 5单元 (72)发明人 文公立　卓文强　马梓万　朱朝军　 张建城　王磊　 (74)专利代理 机构 厦门龙格思汇知识产权代理 有限公司 3 5251 专利代理师 王黾勉 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)发明名称 一种待测物载具 (57)摘要 本发明公开了一种待测物载具， 其包括基座 和面盖， 基座沿第一方向设有凸块和围绕凸块的 真空槽， 其还设有第一通道和第二通道， 凸块设 有用于承 载待测物的承 载面， 第一通道供真空槽 连通外接真空源， 第二通道连通 真空槽并开口于 承载面； 凸块和第二通道分别被配置为其在第一 平面上的投影适于位于非检测区域内； 真空槽被 配置为第一检测区域适于位于其在第一平面上 的投影内； 第一通道被配置为其在第一平面上的 投影位于待测物在第一平面上的投影外； 面盖密 封地盖设于真空槽上并与真空槽围合形成真空 腔； 真空槽和面盖于第一平面上 投影与第一检测 区域重合的部分被配置为适于供光线透射。 防止 面盖变形， 防止待测物损坏。 权利要求书2页 说明书7页 附图7页 CN 114839191 A 2022.08.02 CN 114839191 A 1.一种待测物载具， 其适于外接真空源并用于沿第一方向承载待测物， 所述待测物在 垂直于第一方向的第一平面上的投影分为第一检测区域和非检测区域， 第一检测区域位于 非检测区域的外缘， 所述待测物位于所述第一检测区域内的部 分被配置为适于供光线沿第 一方向透射； 其特 征在于， 包括： 基座， 其沿第一方向设有凸块和围绕所述凸块的真空槽， 其还设有第一通道和第二通 道， 所述凸块设有用于承载待测物的承载面， 所述第一通道供所述真空槽连通外接 真空源， 所述第二通道连通所述真空槽并开口于所述承载面； 所述凸块和所述第二通道分别被配置 为其在第一平面上的投影适于位于非检测区域内； 所述真空槽被配置为第一检测区域适于 位于其在第一平面上的投影内； 所述第一通道被配置为其在第一平面上的投影位于所述待 测物在第一平面上的投影外； 和 面盖， 其密封地盖设于所述真空槽上并与所述真空槽围合形成真空腔； 所述真空槽和所述面盖于第一平面上投影与第一检测区域重合的部分被配置为适于 供光线透射。 2.如权利要求1所述的一种 待测物载具， 其特征在于： 所述基座和所述面盖均由透 明亚 克力板制成。 3.如权利要求2所述的一种 待测物载具， 其特征在于： 所述待测物在平行于第 一方向的 第二平面上的投影为第二检测区域， 所述待测物位于所述第二检测区域内的部 分被配置为 适于供光线透射； 所述面盖被配置为在所述承载面承载所述待测物时所述面盖在第二平面 上的投影与第二检测区域 不重合。 4.如权利要求3所述的一种待测物载具， 其特征在于： 所述基座包括本体和承载板， 所 述本体上设有凸起， 所述真空槽围绕所述凸起， 所述凸起的顶面与所述真空槽的槽口所在 平面齐平， 所述承载板固设于所述凸起的顶面以与所述凸起形成所述凸块。 5.如权利要求4所述的一种待测物载具， 其特征在于： 所述本体设有连通孔和环形槽， 所述连通孔一端开口于所述环形槽的槽壁， 另一端开口于所述真空槽的槽壁， 所述环形槽 开口于所述凸起的顶面； 所述承载板设有沿第一方向贯穿的若干吸 附孔， 所述吸 附孔一端 开口于所述承载面上， 另一端开口与所述环形槽连通； 所述连通 孔、 环形槽和吸附孔依次连通形成所述第二 通道。 6.如权利要求5所述的一种 待测物载具， 其特征在于： 所述环形槽包括第 一环槽和第 二 环槽， 所述第一环槽和所述第二环槽连通。 7.如权利要求5所述的一种 待测物载具， 其特征在于： 所述承载板还设有沿第 一方向贯 穿的避让孔， 所述吸附孔设于所述避让孔的周围。 8.如权利要求5所述的一种待测物载具， 其特征在于： 所述基座还包括密封件， 所述本 体还设有加工孔， 所述连通孔包括第一槽、 第二槽和第三槽， 第一槽的开口于所述真空槽的 槽底壁， 第三槽的开口于所述环形槽的槽底壁， 第二槽两端分别垂直连通所述第一槽和所 述第三槽， 所述加工孔与所述第二槽连通， 所述密封件适于密封封堵所述加工孔以使所述 第一槽、 第二槽和第三槽依次连通以形成所述连通 孔。 9.如权利要求1所述的一种待测物载具， 其特征在于： 所述基座还设有安装槽， 所述安 装槽围绕所述凸块， 所述真空槽开口于所述安装槽的槽底壁， 所述面盖座落于所述安装槽 的槽底壁并与所述 安装槽的槽壁密封配合。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114839191 A 210.如权利要求9所述的一种待测物载具， 其特征在于： 所述安装槽的槽底壁形成间隔 设置的第一支撑面和 第二支撑面， 所述真空槽的开口位于所述第一支撑面和所述第二支撑 面之间， 所述第一支撑面和所述第二支撑面分别支撑所述 面盖的内侧 和外侧。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114839191 A 3