(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221686910.6 (22)申请日 2022.07.01 (73)专利权人 广州粤芯 半导体技 术有限公司 地址 510000 广东省广州市黄埔区凤 凰五 路28号 (72)发明人 胡能　李佰干　 (74)专利代理 机构 上海思捷知识产权代理有限 公司 312 95 专利代理师 沈宗晶 (51)Int.Cl. B62B 3/02(2006.01) B62B 5/00(2006.01) H01L 21/677(2006.01) (54)实用新型名称 OHT养护辅助工具 (57)摘要 本实用新型提供一种OHT养护辅助工具， 用 于辅助拆卸维修车的承载轨道， 其包括： 工具本 体以及脚轮组件； 所述工具本体包括承载台以及 多个传动件， 多个所述传动件沿所述承载台的轴 向间隔排布于所述承 载台上； 所述传动件用于沿 所述承载台的轴向传输待拆卸的维修车的承载 轨道； 所述承 载台用于与待拆卸的维修车的承 载 轨道的侧壁相抵靠， 以限制所述承 载轨道沿所述 承载台的径向的位置； 所述脚轮组件设置于所述 工具本体的底部。 如此配置， 使用者能够通过承 载台以及传动件将承载轨道由维修车移动至辅 助工具上， 提高了养护效率的同时， 也增加了整 个过程中的安全性。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 217553950 U 2022.10.11 CN 217553950 U 1.一种OHT养护辅助工具， 用于辅助拆卸维修车的承载轨道， 其特征在于， 包括： 工具本 体以及脚轮组件； 所述工具本体包括承载台以及多个传动件， 多个所述传动件沿所述承载台的轴向间隔 排布于所述承载台上； 所述传动件用于沿所述承载台的轴向传输待拆卸的维修车的承载轨 道； 所述承载台用于与待拆卸的维修车的承载轨道的侧壁相抵靠， 以限制所述承载轨道沿 所述承载台的径向的位置； 所述脚轮组件设置 于所述工具本体的底部 。 2.如权利要求1所述的OHT养护辅助工具， 其特征在于， 所述工具本体还包括第一限位 件和第二限位件， 所述第一限位件位于所述承载台靠近待拆卸的维修车的承载轨道的一 端， 并与所述承载台可拆卸地连接， 用于限制所述承载轨道沿所述承载台的轴向的位置； 所述第二限位件位于所述承载台远离待拆卸的维修车的承载轨道的一端， 并与所述承 载台连接， 用于限制所述承载轨道沿所述承载台的轴向的位置 。 3.如权利要求1所述的OHT养护辅助工具， 其特征在于， 所述工具本体还包括两个连接 板， 所述连接板 分别与所述承载台的两端 连接， 并沿所述承载台的轴向相向设置， 所述连接 板的顶面用于与所述承载轨道的顶部相抵 靠。 4.如权利要求3所述的OHT养护辅助工具， 其特征在于， 所述承载台沿所述连接板的侧 边的外侧伸出， 以允许 所述承载轨道沿所述承载台的轴向滑入。 5.如权利要求3所述的OHT养护辅助工具， 其特征在于， 所述连接板的顶面在竖直方向 上与所述承载台的距离与所述维修车的承载轨道在竖直方向上的长度相适配。 6.如权利要求1所述的OHT养护辅助工具， 其特征在于， 所述脚轮组件包括多个滚轮以 及用于锁定所述滚轮的第三限位件； 多个所述滚轮沿所述工具本体的底面均匀分布； 所述第三限位件的数量与 所述滚轮的数量相适配， 所述滚轮通过所述第 三限位件与 所 述工具本体的底面连接； 所述第三限位件的轴线垂直于所述工具本体的底面， 所述滚轮的 滚动轴线平行于所述工具本体的底面， 所述第三限位件围绕自身轴线可转动。 7.如权利要求1所述的OHT养护辅助工具， 其特征在于， 所述工具本体包括两个所述承 载台， 两个所述承载台平行布置， 与两条平行的所述承载轨道相适配， 以限制所述承载轨道 沿所述承载台的轴向滑脱。 8.如权利要求1所述的OHT养护辅助工具， 其特征在于， 所述传动件为滑轮， 所述滑轮的 转动轴线垂直与承载台的轴向。 9.如权利要求1所述的OHT养护辅助工具， 其特征在于， 多个所述传动件沿所述承载台 的轴向均匀分布。 10.如权利要求1所述的OHT养护辅助工具， 其特 征在于， 所述承载台沿水平方向延伸。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217553950 U 2OHT养护辅助工具 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体制造领域， 尤其是一种OHT养护辅助工具。 背景技术 [0002]随着半导体制造技术 的高速发展， 12寸(300mm)晶圆半导体工厂已经成为全球半 导体行业的主流， 相较于8村(200 mm)晶圆， 12寸晶圆拥有更大的尺 寸和重量， 人工搬送晶圆 载体已经远远无法满足工厂的生产要求， 因此AMHS(Automatical  Material  Handling   System， 自动物料搬运系统)设备应运而生， 在现有的AMHS设备中， OHT(Overhead  Hoist  Transfer， 空中走行式无人搬送车)为主要搬运设备， 在OHT的日常养护维护的过程中， 需要 先把OHT从轨道降至地面维修车上并固定， 然后将维修车承载轨道进行移除， 才 能对OHT的 上半部分进 行维护， 维修车承载轨道的移除需要多 人协助搬运， 这种 作业方式效率低下， 且 有一定的安全隐患。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种OHT养护辅助工具， 以解决现有 OHT维护养护效率 低， 多人协助搬运承载轨道的安全隐患大等问题。 [0004]为了达到上述目的， 本实用新型提供了一种OHT养护辅助工具， 用于辅助拆卸维修 车的承载轨道， 包括： 工具本体以及脚轮组件； [0005]所述工具本体包括承载台以及多个传动件， 多个所述传动件 沿所述承载台的轴向 间隔排布于所述承载台上； 所述传动件用于沿所述承载台的轴向传输待拆卸的维修车的承 载轨道； [0006]所述承载台用于与待拆卸的维修车的承载轨道的侧壁相抵靠， 以限制所述承载轨 道沿所述承载台的径向的位置； [0007]所述脚轮组件设置 于所述工具本体的底部 。 [0008]可选的， 所述工具本体还包括第一限位件和第二限位件， 所述第一限位件位于所 述承载台靠近待拆卸的维修车 的承载轨道的一端， 并与所述承载台可拆卸地连接， 用于限 制所述承载轨道沿所述承载台的轴向的位置； [0009]所述第二限位件位于所述承载台远离待拆卸的维修车的承载轨道的一端， 并与所 述承载台连接， 用于限制所述承载轨道沿所述承载台的轴向的位置 。 [0010]可选的， 所述工具本体还包括两个连接板， 所述连接板分别与所述承载台的两端 连接， 并沿所述承载台的轴向相向设置， 所述连接板的顶面用于与所述承载轨道的顶部相 抵靠。 [0011]可选的， 所述承载台沿所述连接板 的侧边的外侧伸出， 以允许所述承载轨道沿所 述承载台的轴向滑入。 [0012]可选的， 所述连接板的顶面在竖直方向上与所述承载台的距离与所述维修车的承 载轨道在竖直方向上的长度相适配。说　明　书 1/5 页 3 CN 217553950 U 3