(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221729598.4 (22)申请日 2022.07.06 (73)专利权人 苏州安田丰科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市高新区科灵路 78号苏州高新软件园7号楼1楼101-13 室 (72)发明人 王炫铭　 (51)Int.Cl. B62B 3/04(2006.01) B62B 3/02(2006.01) B62B 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种光掩膜板用立式手 推车 (57)摘要 本实用新型公开了一种光掩膜板用立式手 推车， 包括手推车本体， 所述手推车本体上设置 有板件夹紧机构， 所述板件夹紧机构包括底座、 以及设置于底 座两端的夹紧调节装置， 所述夹紧 调节装置与所述底座的端部铰连接； 所述底座上 偏向两端部的位置均设置有固定座， 所述固定座 上设置有V型轮， 所述V型轮配合底座两端的夹紧 调节装置将立式摆放的光掩膜板夹紧定位； 所述 底座的中间位置设置有直线轴承座， 所述底座的 底部设置有支撑杆。 本实用新型中通过将光掩膜 板竖立着放置在底座上的V型轮上， 接着通过调 整夹紧调节装置的角度， 使底 座两端的夹紧调节 机构上的V型轮将光掩膜板夹紧固定， 保证光掩 膜板运输过程中的稳定性。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217672756 U 2022.10.28 CN 217672756 U 1.一种光掩膜板用立式手推车， 包括手推车本体(1)， 其特征在于， 所述手推车本体(1) 上设置有板件夹紧机构(2)， 所述板件夹紧机构(2)包括底座(21)、 以及设置于底座(21)两 端的夹紧调节装置(24)， 所述夹紧调节装置(24)与所述底座(21)的端部铰连接； 所述底座(21)上偏向两端部 的位置均设置有固定座(22)， 所述固定座(22)上设置有V 型轮(23)， 所述V型轮(23)配合底座(21)两端的夹紧调节装置(24)将立式摆放的光掩膜板 夹紧定位； 所述底座(21)的中间位置设置有直线轴承座(3)， 所述底座(21)的底部设置有支撑杆 (7)， 所述底座(21)通过支撑杆(7)与所述直线轴承座(3)上下滑动连接， 且所述支撑杆(7) 上位于底座(21)和直线轴承座(3)之间的区域套设有弹簧(8)。 2.根据权利要求1所述的一种光掩膜板用立式手推车， 其特征在于， 两个所述夹紧调节 装置(24)相对于底 座(21)呈对称设置， 所述夹紧调节装置(24)包括固定铰支座(241)、 与固 定铰支座(241)铰连接的直角连接件(242)、 以及与直角连接件(242)铰连接的关节件 (243)， 所述关节件(243)的上端设置有V型轮(23)。 3.根据权利要求2所述的一种光掩膜板用立式手推车， 其特征在于， 所述手推车本体 (1)上部的两端均 设置有安装板(6)， 所述固定铰支座(241)安装在安装板(6)上， 所述直角 连接件(242)的中间直角拐点位置与所述固定铰支座(241)铰连接， 所述直角连接件(242) 的两端分别与底座(21)和关节件(243)铰连接 。 4.根据权利要求2所述的一种光掩膜板用立式手推车， 其特征在于， 所述关节件(243) 的下端侧面设置有限位铰支座(244)， 所述直角连接件(242)的上端侧面设置有锁扣(245)， 所述限位铰支座(244)和所述锁扣(245)之间设置有可调节的锁紧件(246)， 通过锁紧件 (246)将限位铰支座(244)和锁扣(245)之间锁紧连接， 从而将关节件(243)与所述直角连接 件(242)之间的转动角度限定 。 5.根据权利要求1所述的一种光掩膜板用立式手推车， 其特征在于， 所述手推车本体 (1)的底部设置有万向轮(4)和定向轮(5)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217672756 U 2一种光掩膜板用立式手推车 技术领域 [0001]本实用新型涉及半导体基本搬运装置技术领域， 特别是一种光掩膜板用立式手推 车。 背景技术 [0002]随着科技的发展和电子信息技术的进步， 半导体已经成为人们生活中重要的一部 分。 半导体已广泛地用于家电、 通讯、 工业制造、 航空、 航天等领域。 半导体的生产过程中需 要用到一种耗材， 即光掩膜板， 光掩膜板是一种硬面光掩膜材料， 即光掩膜基板， 它是当前 及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料(相当于照相用的感光胶卷)。 它是在平整的、 高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射(SP)沉积上氮化铬 ‑氮氧化铬薄膜而 形成铬膜基 版， 再在其上涂敷 一层光致抗蚀剂(又称光刻 胶)或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。 [0003]因此它是半导体加工过程中不可或缺的材料， 在半导体的加工过程中需要对光掩 膜板进行搬运， 移送到指定位置， 目前所采用的方法是通过人工搬运或者将光掩膜板装入 料盒中再由专门的搬运设备将光掩膜板从料盒 中取出， 人工搬运时由于光掩膜板通常很沉 重， 搬运会比较费力， 而且 人工搬运的过程中存在磕碰的风险， 而 料盒装运也会存在磕碰的 风险， 而且还多了一道工序， 需要将其从料盒中取出， 容易对基板造成损伤， 因此需要研发 一种设备便 于对光掩膜板进行运输 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决上述问题， 设计了一种光掩膜板用立式手 推车。 [0005]实现上述目的本实用新型的技术方案为， 一种光掩膜板用立式手推车， 包括手推 车本体， 所述手推车本体上设置有板件夹紧机构， 所述板件夹紧机构包括底座、 以及设置于 底座两端的夹紧调节装置， 所述夹紧调节装置与所述底座的端部铰连接； [0006]所述底座上偏向两端部的位置均设置有固定座， 所述固定座上设置有V 型轮， 所述 V型轮配合底座两端的夹紧调节装置将立式摆放的光掩膜板 夹紧定位； [0007]所述底座的中间位置设置有直线轴承座， 所述底座的底部设置有支撑杆， 所述底 座通过支撑杆与所述直线轴承座上下滑动连接， 且所述支撑杆上位于底座和直线轴承座之 间的区域套设有弹簧。 [0008]作为本实用新型的进一步补充， 两个所述夹紧调节装置相对于底座呈对称设置， 所述夹紧调节装置包括固定铰支座、 与固定铰支座铰连接的直角连接件、 以及与直角连接 件铰连接的关节件， 所述关节件的上端设置有V型轮。 [0009]作为本实用新型的进一步补充， 所述手推车本体上部 的两端均设置有安装板， 所 述固定铰支 座安装在安装板上， 所述直角连接件的中间直角拐点位置与所述固定铰支座铰 连接， 所述 直角连接件的两端分别与底座和关节件铰连接 。 [0010]作为本实用新型的进一步补充， 所述关节件的下端侧面设置有限位铰支座， 所述 直角连接件的上端侧面设置有锁扣， 所述限位铰支 座和所述锁扣之 间设置有 可调节的锁紧说　明　书 1/3 页 3 CN 217672756 U 3