(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123087453.7 (22)申请日 2021.12.09 (73)专利权人 甘肃旭晶新材 料有限公司 地址 735099 甘肃省酒泉市肃州区经济技 术开发区(西园)科研 孵化园5号楼5 01 专利权人 北京远大信达科技有限公司 (72)发明人 郭世超　宋亚滨　翟虎　陆继波　 陈桥玉　赵亨山　 (74)专利代理 机构 北京英创嘉友知识产权代理 事务所(普通 合伙) 11447 专利代理师 李微 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统 (57)摘要 本公开涉及一种蓝宝石晶片的擦洗装置及 擦洗系统， 所述蓝宝石晶片的擦洗装置包括第一 擦洗部、 用于分隔放置蓝宝石晶片的定位夹具以 及第二擦洗部， 所述第一擦洗部和第二擦洗部相 对的表面分别设置有柔性清洁件， 所述第一擦洗 部上设置有操作部， 以通过操作该操作部使 得所 述第一擦洗部能够进行接近或远离所述第二擦 洗部的第一运动， 以及在接触所述第二擦洗部的 状态下沿所述第二擦洗部往复擦洗的第二运动。 通过上述技术方案， 本公开提供的蓝宝石晶片的 擦洗装置操作简便， 清洗效率高， 清洗效果 好。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 216606230 U 2022.05.27 CN 216606230 U 1.一种蓝宝石晶片的擦洗装置， 其特征在于， 包括第 一擦洗部、 用于分隔放置蓝宝石晶 片的定位夹具以及第二擦洗部， 所述第一擦洗部和 第二擦洗部相对的表面分别设置有柔性 清洁件， 所述第一擦洗部上设置有操作部， 以通过操作该操作部使得所述第一擦洗部能够 进行接近或远离所述第二擦洗部的第一运动， 以及在接触所述第二擦洗部的状态下沿所述 第二擦洗 部往复擦洗的第二 运动。 2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片的擦洗装置， 其特征在于， 所述柔性清洁件为棉布 或海绵。 3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片的擦洗装置， 其特征在于， 所述第 一擦洗部形成有 第一擦洗面(11)， 所述第二擦洗部形成有第二擦洗面(21)， 所述第一擦洗面(11)及第二擦 洗面(21)为平 面， 所述柔性清洁件为分别铺设在所述第一擦洗面(11)和第二擦洗面(21)的 棉布。 4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶片的擦洗装置， 其特征在于， 所述第 一擦洗部两端分 别形成有向上延伸的固定 部(13)， 所述棉布的两端固定在所述固定 部(13)上。 5.根据权利要求4所述的蓝宝石晶片的擦洗装置， 其特征在于， 所述第 一擦洗部由第 一 长形板件(1)形成， 所述第一长形板件(1)两端向上弯折以形成所述固定部(13)， 所述操作 部为固定在所述第一长形板件(1)与所述第一擦洗面(1 1)的相反一 面上的把手(12)。 6.根据权利要求3 ‑5中任意一项所述的蓝宝石晶片的擦洗装置， 其特征在于， 所述第二 擦洗部的两端分别形成有向下延伸的支撑 部(22)， 所述棉布固定在该支撑 部(22)上。 7.根据权利要求6所述的蓝宝石晶片的擦洗装置， 其特征在于， 所述第 二擦洗部由第 二 长形板件(2)形成， 所述第二长形板件(2)两端向下弯折以形成所述支撑 部(22)。 8.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片的擦洗装置， 其特征在于， 所述定位夹具包括平板 主体， 该平板主体由第三长形板件(3)形成， 该第三长形板件(3)上形成有多个容置孔(31)， 所述多个容置孔(31)为通孔并沿该第三长形板件(3)的长度方向间隔排列， 每个所述容置 孔(31)用于放置一个所述蓝宝石晶片。 9.根据权利要求8所述的蓝宝石晶片的擦洗装置， 其特征在于， 所述定位夹具的厚度小 于所述蓝宝石晶片的厚度。 10.一种蓝宝石晶片的擦洗系统， 其特征在于， 包括根据权利要求1 ‑9中任意一项所述 的蓝宝石晶片的擦洗装置， 用于向所述蓝宝石晶片的擦洗装置喷射清洗液的供水管路(4)， 以及回收所述清洗液的收集装置(5)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216606230 U 2蓝宝石晶片的擦洗装 置及擦洗系统 技术领域 [0001]本公开涉及蓝宝石清洗技术领域， 具体地， 涉及一种蓝宝石晶片的擦洗装置及擦 洗系统。 背景技术 [0002]单晶蓝宝石作为GaN基 发光二极管(LED)应用最广 泛的衬底材料， 晶片的表面质量 直接决定外延质量， 进而影响最 终LED产品的发光性能及 寿命， 这就要求蓝宝石晶片加工表 面具有很高的完整性， 表面平整度好、 无划痕、 无位错、 低非晶相变和亚表面损伤。 要获得优 质的蓝宝石晶片， 清洗这道工序必不可少。 传统的蓝宝石清洗工工艺由人工进 行单片清理， 需要耗费较多的人力工时， 清洗成功率低， 清洗稳定性差 。 实用新型内容 [0003]本公开的目的是提供一种操作简便、 清洗效率高、 清洗效果好的蓝宝石晶片的擦 洗装置及擦洗系统。 [0004]为了实现上述目的， 根据本公开的第一方面， 提供一种蓝宝石晶片的擦洗装置， 包 括第一擦洗部、 用于分隔放置蓝宝石晶片的定位夹具以及第二擦洗部， 所述第一擦洗部和 第二擦洗部相对的表面分别设置有柔性清洁件， 所述第一擦洗部上设置有操作部， 以通过 操作该操作部使得所述第一擦洗部能够进 行接近或远离所述第二擦洗部的第一运动， 以及 在接触所述第二擦洗 部的状态下沿所述第二擦洗 部往复擦洗的第二 运动。 [0005]可选地， 所述 柔性清洁件为棉布或海绵。 [0006]可选地， 所述第一擦洗部形成有第一擦洗面， 所述第二擦洗部形成有第二擦洗面， 所述第一擦洗面及第二擦洗面为平面， 所述柔性清洁件为分别铺设在所述第一擦洗面和 第 二擦洗面的棉布。 [0007]可选地， 所述第一擦洗部两端分别形成有向上延伸的固定部， 所述棉布的两端固 定在所述固定 部上。 [0008]可选地， 所述第一擦洗部 由第一长形板件形成， 所述第一长形板件两端向上弯折 以形成所述固定部， 所述操作部为固定在所述第一长形板件与所述第一擦洗面的相反一面 上的把手。 [0009]可选地， 所述第二擦洗部 的两端分别形成有向下延伸的支撑部， 所述棉布固定在 该支撑部上。 [0010]可选地， 所述第二擦洗部 由第二长形板件形成， 所述第二长形板件两端向下弯折 以形成所述支撑 部。 [0011]可选地， 所述定位夹具包括平板主体， 该平板主体由第三长形板件形成， 该第三长 形板件上形成有多个容置孔， 所述多个容置孔为通孔并沿该第三长形板件的长度方向间隔 排列， 每个所述容置孔用于放置一个所述蓝宝石晶片。 [0012]可选地， 所述定位夹具的厚度小于所述蓝宝石晶片的厚度。说　明　书 1/5 页 3 CN 216606230 U 3