(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 2021231395 54.4 (22)申请日 2021.12.14 (73)专利权人 中材高新氮化物陶瓷有限公司 地址 255000 山东省淄博市高新区开发区 北路9号 (72)发明人 孙峰　梁盼盼　张伟儒　李泽坤　 王再义　张晶　司尚进　 (74)专利代理 机构 北京高沃 律师事务所 1 1569 专利代理师 石佳 (51)Int.Cl. B01D 46/12(2022.01) B01D 46/48(2006.01) B01D 46/76(2022.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 15/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种隔离粉回收利用装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种隔离粉回收利用装 置， 涉及隔离粉收集技术领域， 包括： 清理头， 清 理头设有毛刷； 负压管， 负压管第一端连接清理 头， 负压管上设有第一过滤装置和第二过滤装 置， 第一过滤装置比第二过滤装置更靠近清理 头； 负压装置， 负压装置连接于负压管第二端； 第 一收集容器， 第一收集容器与负压管相连通， 第 一收集容器比第一过滤装置更靠近清理头； 第二 收集容器， 第二收集容器与负压管相连通， 第二 收集容器位于第一过滤装置与第二过滤装置之 间； 第三收集容器， 第三收集容器与负压管相连 通， 第三收集容器比第二过滤装置更靠近负压装 置。 本实用新型的清理头用于清理基片上的隔离 粉， 通过负压装置收集隔离粉， 并且还设有分级 过滤以及分级收集。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217287613 U 2022.08.26 CN 217287613 U 1.一种隔离粉回收利用装置， 其特 征在于， 包括： 清理头， 所述清理头设有 毛刷； 负压管， 所述负压管的第一端连接所述清理头， 所述负压管上设有第一过滤装置和第 二过滤装置， 所述第一过 滤装置比所述第二过 滤装置更靠 近所述清理头； 负压装置， 所述负压装置连接 于所述负压管的第二端； 第一收集容器， 所述第一收集容器与所述负压管相连通， 所述第一收集容器比所述第 一过滤装置更靠 近所述清理头； 第二收集容器， 所述第二收集容器与所述负压管相连通， 所述第二收集容器位于所述 第一过滤装置与所述第二过 滤装置之间； 第三收集容器， 所述第三收集容器与所述负压管相连通， 所述第三收集容器比所述第 二过滤装置更靠 近所述负压装置 。 2.根据权利要求1所述的隔离粉回收利用装置， 其特征在于： 所述清理头包括清理罩， 所述毛刷位于所述清理罩内。 3.根据权利要求1所述的隔离粉回收利用装置， 其特征在于： 所述毛刷固定于固定件 上， 所述固定件上设有内螺纹， 所述固定件上螺纹连接有螺杆， 所述螺杆的一端固定有电 机， 所述电机固定 于所述清理头上。 4.根据权利要求1所述的隔离粉回收利用装置， 其特 征在于： 所述负压装置为负压泵。 5.根据权利要求1所述的隔离粉回收利用装置， 其特征在于： 所述第 一过滤装置为第 一 滤网， 所述第一滤网的孔径为15 0目； 所述第二过 滤装置为第二滤网， 所述第二滤网的孔径为5 00目。 6.根据权利要求5所述的隔离粉回收利用装置， 其特征在于： 所述第 一滤网上设有第 一 振动电机； 所述第二滤网上设有第二振动电机 。 7.根据权利要求1所述的隔离粉回收利用装置， 其特征在于： 所述第一收集容器、 所述 第二收集 容器和所述第三收集 容器均为收集 瓶。 8.根据权利要求7所述的隔离粉回收利用装置， 其特征在于： 所述收集瓶通过收集管与 所述负压管相连通。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217287613 U 2一种隔离粉回收利用装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及隔离粉收集 技术领域， 特别是 涉及一种隔离粉回收利用装置 。 背景技术 [0002]随着新能源市场蓬勃发展， 半导体功率器件需求迅速增加。 氮化物陶瓷基片由于 其具有的热导率、 力学性能等性能， 与其他陶瓷材料相比具有不可替代的优势。 氮化物陶瓷 基片的研发和生产对于促进半导体功率器件的发展具有重要意 义。 [0003]针对氮化物陶瓷基片烧结过程中使用的隔离粉， 由于其价格较高， 使用量较大， 因 此需要对其进行回收利用。 然而由于隔离粉末粒径较小， 烧结后团聚在基片表面， 难以清 理， 清理起 来工作量较大。 [0004]因此， 市场上急需一种新型的隔离粉回收利用装置， 用于解决上述问题。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是提供一种隔离粉回收利用装置， 用于解决上述现有技术中存 在的技术问题， 清理头能够 对隔离粉进 行清除， 通过负压装置进 行收集， 并且利用第一过滤 装置和第二过 滤装置实现分级过 滤以及分级收集。 [0006]为实现上述目的， 本实用新型提供了如下 方案： [0007]本实用新型公开了一种隔离粉回收利用装置， 包括： [0008]清理头， 所述清理头设有 毛刷； [0009]负压管， 所述负压管的第一端连接所述清理头， 所述负压管上设有第一过滤装置 和第二过 滤装置， 所述第一过 滤装置比所述第二过 滤装置更靠 近所述清理头； [0010]负压装置， 所述负压装置连接 于所述负压管的第二端； [0011]第一收集容器， 所述第一收集容器与所述负压管相连通， 所述第一收集容器比所 述第一过 滤装置更靠 近所述清理头； [0012]第二收集容器， 所述第二收集容器与所述负压管相连通， 所述第二收集容器位于 所述第一过 滤装置与所述第二过 滤装置之间； [0013]第三收集容器， 所述第三收集容器与所述负压管相连通， 所述第三收集容器比所 述第二过 滤装置更靠 近所述负压装置 。 [0014]优选地， 所述清理头包括清理罩， 所述毛刷位于所述清理罩内。 [0015]优选地， 所述毛刷固定于固定件上， 所述固定件上设有内螺纹， 所述固定件上螺纹 连接有螺杆， 所述螺杆的一端固定有电机， 所述电机固定 于所述清理头上。 [0016]优选地， 所述负压装置为负压泵。 [0017]优选地， 所述第一过 滤装置为第一滤网， 所述第一滤网的孔径为15 0目； [0018]所述第二过 滤装置为第二滤网， 所述第二滤网的孔径为5 00目。 [0019]优选地， 所述第一滤网上设有第一振动电机； [0020]所述第二滤网上设有第二振动电机 。说　明　书 1/3 页 3 CN 217287613 U 3