(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212313 0554.8 (22)申请日 2021.12.14 (73)专利权人 深圳市比邻芯科技有限责任公司 地址 518000 广东省深圳市龙华区龙华 街 道松和社区梅龙大道1040号共和和丰 大厦B180 6 (72)发明人 谢宏兴　 (74)专利代理 机构 深圳众邦专利代理有限公司 44545 专利代理师 王金刚 (51)Int.Cl. C25F 3/02(2006.01) C25F 7/00(2006.01) B08B 1/00(2006.01) H05K 3/07(2006.01) (54)实用新型名称 一种集成电路生产用具有托板清理结构的 蚀刻机 (57)摘要 本实用新型公开了一种集成电路生产用具 有托板清理结构的蚀刻机， 包括： 底座， 所述底座 的顶端安装有蚀刻箱， 且蚀刻箱的正面安装有箱 门， 并且蚀刻箱的一侧设置有控制台， 而且蚀刻 箱的内部设置有蚀刻托板； 驱动电机， 安装在所 述蚀刻箱的背面， 且驱动电机的输出端与蚀刻箱 内部的螺纹杆进行连接， 并且蚀刻箱的内部远离 螺纹杆的一侧设置有导向杆。 该集成电路生产用 具有托板清理结构 的蚀刻机， 启动驱动电机， 驱 动电机带动螺纹杆同步导板移动， 导板底部的清 洁刷即可对蚀刻托板表面进行清理， 即可使该蚀 刻机具有托板清理结构， 清理的杂质会通过收集 通道清理到收集盒的内部， 将转动块旋转， 使转 动块与定位孔持平， 然后向外抽出收集盒即可倾 倒处理杂质。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216473566 U 2022.05.10 CN 216473566 U 1.一种集成电路生产用具有托板清理结构的蚀刻机， 其特 征在于， 包括： 底座 （1） ， 所述底座 （1） 的顶端安装有蚀刻箱 （2） ， 且蚀刻箱 （2） 的正面安装有箱门 （3） ， 并且蚀刻箱 （2） 的一侧设置有控制台 （4） ， 而且蚀刻箱 （2） 的内部设置有蚀刻托板 （5） ； 驱动电机 （6） ， 安装在所述蚀刻箱 （2） 的背面， 且驱动电机 （6） 的输出端与蚀刻箱 （2） 内 部的螺纹杆 （7） 进行 连接， 并且蚀刻箱 （2） 的内部远离 螺纹杆 （7） 的一侧设置有导向杆 （8） ； 导板 （9） ， 设置在所述蚀刻托板 （5） 的上方， 且导板 （9） 的一端设置有第一滑套 （10） ， 并 且第一滑套 （10） 与螺纹杆 （7） 相对接， 所述导板 （9） 远离第一滑套 （10） 的一端设置有第二滑 套 （11） ， 且第二滑套 （1 1） 与导向杆 （8） 相连接， 并且导板 （9） 的底部安装有清洁刷 （12） 。 2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用具有托板清理结构的蚀刻机， 其特征在 于： 所述第一滑套 （10） 的内壁设置有螺纹， 且第一滑套 （10） 与螺纹杆 （7） 之间呈螺纹连接 。 3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用具有托板清理结构的蚀刻机， 其特征在 于： 所述第二滑套 （11） 的内壁间距与导向杆 （8） 的直径相匹配， 且第二滑套 （11） 与导向杆 （8） 之间呈滑动连接 。 4.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用具有托板清理结构的蚀刻机， 其特征在 于： 所述蚀刻箱 （2） 靠近蚀刻托板 （5） 的下方开设有收集通道 （13） ， 且底 座 （1） 靠近收集通道 （13） 的下方设置有收集盒 （14） ， 并且收集盒 （14） 的两端固定有连接耳 （15） ， 而且连接耳 （15） 的表面开设有定位孔 （16） ， 所述定位孔 （16） 的内部设置有与底座 （1） 相连接的转动杆 （17） ， 且转动块 （18） 与转动杆 （17） 的一端 进行活动连接 。 5.根据权利要求4所述的一种集成电路生产用具有托板清理结构的蚀刻机， 其特征在 于： 所述定位孔 （16） 的内部尺寸大于转动块 （18） 的尺寸， 且转动块 （18） 与转动杆 （17） 之间 呈旋转连接 。 6.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用具有托板清理结构的蚀刻机， 其特征在 于： 所述底座 （1） 的底部设置有支撑座 （19） ， 且支撑座 （19） 的内部开设有叉车槽 （20） ， 所述 底座 （1） 的两侧安装有支座 （21） ， 且吊环 （2 2） 与支座 （21） 进行旋转连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216473566 U 2一种集成电路生产用具有托板清理 结构的蚀刻机 技术领域 [0001]本实用新型涉及集成电路生产技术领域， 具体为一种集成电路生产用具有托板清 理结构的蚀刻机 。 背景技术 [0002]集成电路板是采用半导体制作工艺， 在一块较小的单晶硅片上按照多层布线或遂 道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路， 蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机 两类， 主要应用于航空、 机械、 标牌工业中， 在半导体和线路板生产制成上， 蚀刻更是不可或 缺的技术， 尤其在集成电路生产领域受到了广泛使用， 然而现在的蚀刻机还存在着一些问 题， 就比如： [0003]根据专利号： CN201921970082.7一种电解蚀刻机， 操作面板与控制柜相连接， 操作 面板包括显示屏和操作键。 其有益效果是， 方便进 行参数设置和操作， 以稳定控制设备的运 行； [0004]该技术方案还 存在： [0005]1、 蚀刻机不具有托板清理结构； [0006]2、 蚀刻机不便 于收集处 理杂质； [0007]3、 蚀刻机不便 于运输； [0008]因此要对现在的集成电路生产用蚀刻机进行改进。 实用新型内容 [0009]本实用新型的目的在于提供一种集成电路生产用具有托板清理结构的蚀刻机， 以 解决上述背景技术提出的目前市场上的蚀刻机不具有托板清理结构， 蚀刻机不便于收集处 理杂质和蚀刻机不便 于运输的问题。 [0010]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种集成电路生产用具有托板 清理结构的蚀刻机， 包括： [0011]底座， 所述底座的顶端安装有 蚀刻箱， 且蚀刻箱的正面安装有箱门， 并且蚀刻箱的 一侧设置有控制台， 而且蚀刻箱的内部设置有蚀刻托板； [0012]驱动电机， 安装在所述蚀刻箱的背面， 且驱动电机 的输出端与蚀刻箱内部 的螺纹 杆进行连接， 并且蚀刻箱的内部远离 螺纹杆的一侧设置有导向杆； [0013]导板， 设置在所述蚀刻托板的上方， 且导板的一端设置有第一滑套， 并且第一滑套 与螺纹杆相对接， 所述导板远离第一滑套的一端设置有第二滑套， 且第二滑套与导向杆相 连接， 并且导板的底部安装有清洁刷。 [0014]优选的， 所述第一滑套的内壁设置有螺纹， 且第一滑套与螺纹杆之间呈螺纹连接， 电机带动螺纹杆旋转会同步带动第一滑套移动。 [0015]优选的， 所述第二滑套的内壁间距与导向杆的直径相匹配， 且第二滑套与导向杆 之间呈滑动连接， 通过导向杆对第二滑套的限制， 电机 旋转即可 带动导板移动。说　明　书 1/3 页 3 CN 216473566 U 3