(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210636041.4 (22)申请日 2022.06.07 (71)申请人 元山 （济南） 电子科技有限公司 地址 250118 山东省济南市槐荫区美里路 中段1929号 (72)发明人 周卫金　王兴华　兰欣　 (74)专利代理 机构 北京君慧知识产权代理事务 所(普通合伙) 11716 专利代理师 刘晓佳 (51)Int.Cl. G01N 3/02(2006.01) G01N 3/04(2006.01) G01N 3/08(2006.01) (54)发明名称 一种引线键合点可靠性检验装置及检验方 法 (57)摘要 本发明提供了一种引线键合点可靠性检验 装置及检测方法， 所述装置包括： 工作台、 固定 架、 基板紧固和运动机构及拉拔机构， 基板紧固 和运动机构包括基板夹紧件、 真空吸盘、 支撑滑 杆、 第一弧形滑道、 第二弧形滑道和座体， 拉拔机 构包括与固定架的所述第一部分的一侧 固定连 接的固定臂、 具有限位板的引线夹、 拉伸杆、 紧固 件、 拉伸运动组件和复位件。 所述方法基于L型引 线的线径、 拉力参数、 第一、 二角度、 引线长度和 摆动次数， 判断并给出键合点可靠性检测结果。 本发明能够针对超声键合不同材料键合区单个 键合点进行检测； 能够有效减少引线脱落和引线 根部断裂等失效形式； 可适用于摆动检验方式， 也可适用于单个键合点的极限拉力测试方式； 还 能够以摇摆运动的方式进行疲劳 老化检验。 权利要求书2页 说明书8页 附图6页 CN 115078065 A 2022.09.20 CN 115078065 A 1.一种引线键合点可靠性检验装置， 其特征在于， 所述引线键合点可靠性检验装置包 括： 工作台， 被 配置为与外 部结构连接以固定所述引线键合 点可靠性检验 装置； 固定架， 包括沿第 一方向固定设置在所述工作台上且沿第 二方向彼此相对地的第 一部 分和第二部分， 所述第二方向与所述第一方向垂直； 基板紧固和运动机构， 包括基板夹紧件、 真空吸盘、 支撑滑杆、 第一弧形滑道、 第二弧形 滑道和座体； 拉拔机构， 包括与固定架 的所述第一部分的一侧固定连接的固定臂、 具有限位板的引 线夹、 拉伸杆、 紧 固件、 拉伸运动组件和复位件； 以及 滑杆能动机构， 包括设置在第二部分中的驱动元件， 以驱动所述支撑滑杆为所述摆动 提供动力。 2.根据权利要求1所述的引线键合点可靠性检验装置， 其特征在于， 所述第 一弧形滑道 和第二弧形滑道分别相应设置在所述第一部分和所述第二部分中， 所述支撑滑杆具有与座 体固定连接的身部以及分别相应与第一弧形滑道、 第二弧形滑道配合的两个轴状端部， 所 述真空吸盘设置在座体中并能够待测试样基板的第二表面吸附在座体上， 所述基板夹紧件 具有能够紧固待测试样基板的第一表面、 以及与座体固定连接的第二表面， 通过第一弧形 滑道、 第二弧形滑道与支撑滑杆 的配合能够使第一表面在第一角度内摆动， 且在第一角度 为0°的情况下， 基板夹紧件的所述第一表面与所述第一方向垂直并与所述第二方向平行。 3.根据权利要求1所述的引线键合点可靠性检验装置， 其特征在于， 拉伸杆的一端在第 一方向与第二方向所构成的平面内以可调节的第二角度与固定臂连接， 拉伸杆的另一端与 引线夹固定连接， 引线夹通过限位板使待测试样基板的第一表面上 的L型引线与拉伸杆 的 中轴线方向平行， 紧固件能够对拉伸杆进行限位和紧固， 拉伸运动组件被配置为能够以预 设的拉力参数使拉伸杆沿其中轴线方向做拉伸运动， 复位件能够将拉伸杆恢复至初始位 置， 其中， 所述第二角度为拉伸杆的所述中轴线与所述第二方向之间的夹角。 4.根据权利要求1所述的引线键合点可靠性检验装置， 其特征在于， 所述滑杆能动机构 还控制元件和/或显示元件， 所述控制元件被配置为能够与所述驱动元件连接以设定所述 摆动的次数上限， 所述显示元件被配置为能够统计并显示从测试开始 时刻至L型引线从待 测试样基板脱落或L型引线断裂时刻对应的所述摆动的次数。 5.根据权利要求1所述的引线键合点可靠性检验装置， 其特征在于， 所述引线键合点可 靠性检验装置还包括高度调节机构， 所述高度调节机构被设置在固定臂中、 被设置在第一 部分和第二部分中、 或者被设置基板紧固和运动机构的座体中， 并能够调节拉伸杆与基板 夹紧件之间的距离 。 6.根据权利要求1～4中任意一项所述的引线键合点可靠性检验装置， 其特征在于， 所 述第一角度在 ‑10°～10°范围内选择， 所述第二角度在 ‑60°～60°范围内选择； 进一步， 所述 第一角度在1 °～3°或‑3°～‑1°范围内选择， 所述第二角度在 ‑30°～30°范围内选择。 7.根据权利要求1～4中任意一项所述的引线键合点可靠性检验装置， 其特征在于， 所 述第一方向为竖直方向， 所述第二方向为水平方向， 优选地， 拉伸杆与固定臂连接的所述一 端位于基板 夹紧件的正上 方。 8.一种使用如权利要求1～6中任意一项所述的引线键合点可靠性检验装置的引线键权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115078065 A 2合点可靠性检测方法。 9.根据权利要求8所述的引线键合点可靠性检测方法， 其特征在于， 所述方法包括以下 步骤： S1、 将沿第二方向键合有L型引线的待测试样基板放置在所述真空吸盘上， 使用所述基 板夹紧件夹紧待测试样基板， 打开所述真空吸盘以吸附并固定待测试样基板； S2、 调整所述第二角度， 并通过引线夹及其限位板使L型引线沿与拉伸杆的中轴线方向 平行的方向被夹紧； S3、 设置所述拉力参数和/或所述第一角度， 通过驱动元件驱动所述摆动； S4、 基于L型引线的线径、 所设置的拉力参数、 第一角度、 第二角度、 L型引线未被键合部 分的长度和从测试开始 时刻至L型引线从待测试样基板脱落或L型引线断裂时刻对应的所 述摆动的次数中选择的一项或多 项， 判断并给 出键合点可靠性检测结果。 10.根据权利要求8所述的引线键合点可靠性检测方法， 其特征在于， 所述方法包括以 下步骤： S1、 将沿第二方向键合有L型引线的待测试样基板放置在所述真空吸盘上， 使用所述基 板夹紧件夹紧待测试样基板， 打开所述真空吸盘以吸附并固定待测试样基板； S2、 调整所述第二角度， 并通过引线夹及其限位板使L型引线沿与拉伸杆的中轴线方向 平行的方向被夹紧； S3、 设置所述第一角度为0 °， 通过所述拉伸 运动组件施加逐渐增大的拉力参数， 直至L 型引线从待测试样基板脱落或L型引线断裂时刻， 记录相应的拉力参数； S4、 基于L型引线的线径、 所述相应的拉力参数、 第二角度和L型引线未被键合部分的长 度中选择的一项或多 项， 判断并给 出键合点可靠性检测结果。 所述S1步骤还包括在打开所述真空吸盘前， 通过所述高度调节机构调节拉伸杆与基板 夹紧件之间的距离 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115078065 A 3