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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221106197.3 (22)申请日 2022.05.09 (73)专利权人 绍兴中芯集成电路制造股份有限 公司 地址 312000 浙江省绍兴 市越城区皋埠 街 道临江路518号 (72)发明人 王文智 张益青 陈小军 薛龙龙  史振国 谢嘉伟 刘海祥  (74)专利代理 机构 上海思微知识产权代理事务 所(普通合伙) 31237 专利代理师 顾丹丽 (51)Int.Cl. B65G 17/06(2006.01) B65G 17/34(2006.01) B65G 21/20(2006.01)B65G 47/22(2006.01) B23K 37/00(2006.01) (54)实用新型名称 真空回流炉进料输送系统 (57)摘要 本实用新型提供了一种真空回流炉进料输 送系统, 包括输送组件, 所述输送组件包括多个 沿输送方向排列设置的支撑部, 各所述支撑部沿 输送方向无缝连接, 所述支 撑部可沿输送方向移 动, 所述支撑部用于支撑被输送的产品并带动所 述产品沿输送方向运行。 本实用新型的真空回流 炉进料输送系统, 使 得在引线框架由前工序向该 输送系统转运过程中, 引线框架前端不具备钻入 间隙内的条件, 进而避免引线框架前端钻入间隙 内, 导致卡料而不能正常传输的现象发生, 避免 引线框架产品报废, 提高产品良率, 提高产品交 付率。 权利要求书1页 说明书7页 附图3页 CN 217295960 U 2022.08.26 CN 217295960 U 1.一种真空回流炉进料输送系统, 其特 征在于: 包括输送组件; 所述输送组件包括多个沿输送方向排列设置的支撑部, 所述支撑部可沿输送方向移 动, 所述支撑部用于支撑被输送的产品并带动所述产品沿输送方向运行, 多个所述支撑部 沿输送方向连接形成沿输送方向连续的支撑体, 以阻挡所述产品前端钻入至相邻两支撑部 之间。 2.如权利要求1所述真空回流炉进料输送系统, 其特征在于: 所述真空回流炉进料输送 系统包括两组所述输送组件, 两组所述输送组件沿设定方向间隔设置, 所述设定方向为垂 直于输送方向的水平方向, 两组所述输送组件分别用于支撑所述产品在设定方向上的两 端。 3.如权利要求2所述真空回流炉进料输送系统, 其特征在于: 相邻的所述支撑部之间以 第一轴线为旋转轴线转动配合, 所述第一轴线沿所述设定方向延伸。 4.如权利要求2所述的真空回流炉进料输送系统, 其特 征在于: 所述输送组件 还包括阻挡件, 所述阻挡件设置 于所述支撑 部上, 两组所述输送 组件中对应的两组所述阻挡 件, 分别用于阻挡所述产品在所述设定方向 上对应的两侧, 以限制所述产品在所述设定方向上的位置 。 5.如权利要求4所述的真空回流炉进料输送系统, 其特征在: 所述输送组件为链条, 所 述链条的链板作为所述支撑 部。 6.如权利要求5所述真空回流炉进料输送系统, 其特 征在于: 所述输送组件 还包括限位件, 所述限位件用于在所述设定方向上限制所述链条的晃动。 7.如权利要求6所述真空回流炉进料输送系统, 其特征在于: 所述链条为双链条, 所述 双链条在所述设定方向上靠 近所述产品一侧的链板作为所述支撑 部。 8.如权利要求7所述的真空回流炉进料输送系统, 其特征在于: 所述阻挡 件在所述设定 方向上设置 于双链条的两排滚子之间。 9.如权利要求8所述的真空回流炉进料输送系统, 其特征在于: 所述限位件包括限位导 轨, 所述限位导轨在所述设定方向上位于所述双链条 的外侧, 所述限位导轨在所述设定方 向上靠近双链条的一侧沿输送方向开设有限位槽, 所述双链条在所述设定方向上位于阻挡 件外侧的部 分位于所述限位槽内, 并被所述限位槽在所述设定方向上限制所述双链条的晃 动。 10.如权利要求7所述的真空回流炉进料输送系统, 其特征在于: 所述双链条在所述设 定方向上的中部链板凸起形成高于所述支撑 部的支撑面的阻挡件。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217295960 U 2真空回流炉进料输送系统 技术领域 [0001]本实用新型 涉及物料输送技 术领域, 特别涉及一种真空回流炉进料输送系统。 背景技术 [0002]现有PDFN封装工艺中, 需要使用回流炉进行焊接, 为了加速焊接过程中锡球间空 气的排出, 通常需要 使用真空回流炉。 [0003]基于真空回流炉的特殊内部环境, 现有的回流炉进料输送结构通常采用链条传动 配合针支撑传输的方式, 链条主要传送产品, 其中链条的销轴伸出至链条的内侧, 形成类似 悬臂支撑结构, 产品支撑于该针上随链条运动, 相 邻的针之间具有间隙; 当所输送的产品厚 度较小, 例如产品为引线框架, 由于引线框架的厚度通常为0.25mm, 远小于相 邻的针之间的 间隙, 而基于引线框架厚度较小, 刚性不足, 则引线框架容易发生弯曲变形, 尤其当引线框 架前端位于相邻针之间的间隙内时, 由于引线框架前端没有支撑, 那么受到自重影响引线 框架前端容易向下弯曲, 使得前端低于针的支撑面, 此时引线框架前端实际上钻入相邻针 之间的间隙内; 因此由前工序向该输送系统转运过程中, 引线框架前端极易钻入针间隙内, 导致卡料而不能正常传输的情况发生, 而且容易造成引线框架产品报废, 直接影响产品良 率, 使产品交付 率大打折扣。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种真空回流炉进料输送系统, 该输送系统改善了传 输结构之间具有间隙的技 术问题, [0005]为了解决上述技术问题, 提供了一种真空回流炉进料输送系统, 使得在由前工序 向该输送系统转运过程中, 引线框架前端不具备钻入间隙内的条件, 进而避免引线框架前 端钻入间隙内, 导致卡料而不能正常传输的现象发生, 避免引线框架产品报废, 提高产品良 率, 提高产品交付 率。 [0006]所述真空回流炉进料输送系统包括输送组件; 所述输送组件包括多个沿输送方向 排列设置的支撑部, 所述支撑部可沿输送方向移动, 所述支撑部用于支撑被输送的产品并 带动所述产品沿输送方向运行, 多个所述支撑部沿输送方向连接形成沿输送 方向连续的支 撑体, 以阻挡所述产品前端钻 入至相邻两支撑 部之间。 [0007]可选的, 所述真空回流炉进料输送系统包括两组所述输送组件, 两组所述输送组 件沿设定方向间隔设置, 所述设定方向为垂直于输送方向的水平方向, 两组所述输送组件 分别用于支撑所述产品在设定方向上的两端。 [0008]可选的, 相邻的所述支撑部之间以第一轴线为旋转轴线转动配合, 所述第一轴线 沿所述设定方向延伸。 [0009]可选的, 所述输送组件还包括阻挡件, 所述阻挡件设置于所述支撑部上, 两组所述 输送组件中对应的两组所述阻挡件, 分别用于阻挡所述产品在所述设定方向上对应的两 侧, 以限制所述产品在所述设定方向上的位置 。说 明 书 1/7 页 3 CN 217295960 U 3

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