(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221906275.8 (22)申请日 2022.07.22 (66)本国优先权数据 202210370678.3 202 2.04.11 CN (73)专利权人 河北省自动化研究所有限公司 地址 050000 河北省石家庄市桥西区友谊 南大街46号河北省科 学院4号楼 (72)发明人 李洪波　宫哲　雷志伟　李玉霞　 张田龙　郝存明　平贵忠　孙瑞轩　 肖磊　郭朝　王帅　张翠华　 郝虎全　王腾　赵旭　刘根　王凡　 冯明明　申莉竹　刘泽雨　 (74)专利代理 机构 石家庄科途知识产权代理事 务所(普通 合伙) 13141 专利代理师 檀文礼(51)Int.Cl. B24B 29/02(2006.01) B24B 19/20(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 41/02(2006.01) B24B 57/02(2006.01) B24B 49/00(2012.01) B24B 53/06(2006.01) C09K 3/14(2006.01) (54)实用新型名称 一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设 备 (57)摘要 本实用新型涉及一种金刚石拉拔模具多晶 薄膜涂层抛光设备， 用于金刚石拉拔模具的多晶 薄膜涂层不规则曲面的均匀抛光， 包括工作台、 对金刚石拉拔模 具进行夹持的夹持装置， 以及相 对于金刚石拉拔模具进 给方向可调、 并柔性贴合 于多晶薄膜涂层、 以对多晶薄膜涂层进行抛光处 理的抛光装置； 还包括喷淋于多晶薄膜涂层表面 的金刚石微粉混合液， 以及对金刚石微粉混合液 进行混料并输送的混料输送装置。 本实用新型能 够对金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层， 尤其是针 对多晶薄膜涂层的不规则曲面进行自动、 均匀抛 光， 加工精度高， 且加工效率高， 而具有较好的使 用效果。 权利要求书2页 说明书8页 附图8页 CN 217728317 U 2022.11.04 CN 217728317 U 1.一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备， 用于金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层 不规则曲面的均匀抛光， 包括工作台， 其特征在于： 还包括安装于所述工作台上的、 对金刚 石拉拔模具进行夹持的夹持装置， 以及相对于所述金刚石拉拔模具进给方向可调、 并柔性 贴合于所述多晶薄膜涂层、 以对所述多晶薄膜涂层进行抛光处理的抛光装置， 所述多晶薄 膜涂层成型于所述金刚石拉拔模具 的内孔表面； 还包括抛光过程中、 喷淋于所述多晶薄膜 涂层表面的金刚石微粉混合液， 以及对所述金刚石微粉混合液进 行混料并输送的混料输送 装置。 2.根据权利要求1所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备， 其特征在于： 所 述抛光装置包括线性模组， 以及经 由第一安装板安装于所述线性模组上 的导轨组件， 所述 导轨组件垂 直于所述线性模组布设； 还包括经由第二安装板滑动安装于所述导轨组件上的 抛光组件， 相 邻于所述第二安装板、 于所述导轨组件上滑动安装有第三安装板， 所述抛光装 置还包括可驱使 所述第三安装板相对于所述第二安装板移动、 而调节所述第三安装板和所 述第二安装板间间距的调距器， 以及可拆卸的连接于所述第二安装板和所述第三安装板间 的柔性力施加器。 3.根据权利要求2所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备， 其特征在于： 所 述抛光组件包括安装于所述第二安装板上的低速电主轴， 以及连接于所述低速电主轴上的 磨头组件， 所述磨头组件包括转动连接于所述低速电主轴 上的磨杆， 以及一体成型于所述 磨杆上的磨头， 所述磨头的外表面类 球面设置 。 4.根据权利要求2所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备， 其特征在于： 所 述柔性力施加器包括圆柱形弹簧， 以及一端与所述圆柱形弹簧连接的拉力传感器， 所述圆 柱形弹簧的另一端可拆卸的连接于所述第二安装板上， 所述拉力 传感器的另一端 可拆卸的 连接于所述第三安装板上， 所述调距器包括分别安装于所述第一安装板上的丝杠支撑座和 固定座， 以及安装于所述第三安装板上的丝杠 螺母， 还包括一端依次穿过所述丝杠支撑座、 所述丝杠螺母而与所述固定座连接的丝杆， 以及连接 于所述丝杆另一端的手 轮。 5.根据权利要求1所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备， 其特征在于： 所 述混料输送装置包括混料杯， 以及 对所述混料杯中加入的金刚石细粉和水或金刚石细 粉和 油两种物料进 行搅拌混合的搅 拌器； 还包括对所述混料杯中混合好的金刚石微粉混合液输 送的蠕动泵， 以及连通所述蠕动泵的输送管。 6.根据权利要求1所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备， 其特征在于： 所 述夹持装置包括安装于所述工作台上 的安装座， 以及安装于所述安装座上 的支撑板； 还包 括依次安装于所述支撑板一端的减速器和与所述减速器传动连接的电机， 以及外圈与所述 支撑板连接的回转轴承， 所述回转轴承的内圈经 由连接板连接有卡盘， 所述金刚石拉拔模 具夹持于所述 卡盘上。 7.根据权利要求2所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备， 其特征在于： 于 所述第一安装板上安装有槽型传感器， 以对所述第二安装板沿所述导轨组件的滑动而极限 限位， 而将所述抛光组件 对准所述金刚石拉拔模具。 8.根据权利要求1所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备， 其特征在于： 还 包括对抛光装置磨削修整的、 角度可调的磨削修整装置， 所述磨削修整装置包括经 由支架 安装于所述工作台上 的高速电主轴， 以及转动连接于所述高速电主轴 上的磨削修整头， 于权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 217728317 U 2所述工作台上开设有弧形槽， 所述支架的一端固定于所述工作台上， 所述支架的另一端滑 设于所述弧形槽内。 9.根据权利要求4所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备， 其特征在于： 经 由所述柔性力施加器对所述抛光装置施加一柔性力、 使其与多晶薄膜涂层的不规则曲面保 持柔性贴合， 所述 柔性力的大小为5～7N。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 217728317 U 3