(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123324346.1 (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 苏州徕谱科技有限公司 地址 215600 江苏省苏州市张家港市华昌 路沙洲湖科创园G-1幢D402室 (72)发明人 黄冲　 (51)Int.Cl. G01N 21/35(2014.01) G01N 21/01(2006.01) G01J 3/28(2006.01) G01J 3/02(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红 外光谱仪 (57)摘要 本实用新型公开了一种具有摇摆式动镜系 统的傅里叶变换红外光谱仪， 包括动镜组件， 设 置在所述动镜系统前方的分束镜， 用于反射入射 光或激光的反射镜； 所述动镜组件包括支撑架， 安装在所述动镜系统支撑架上的基座， 以及安装 在所述基座上的动镜系统， 所述动镜系统包括四 连杆结构， 其中所述基座为第一连杆， 上端与所 述基座两侧联结有等长的第二连杆和第三连杆， 所述第二连杆和所述第三连杆的下端联结有动 镜部件， 所述动镜部件前端为平面反射镜； 本实 用新型提出的技术方案大大 降低了组装方面的 成本及维护成本， 进一步简化结构及设计， 保证 了检测的高精度以及进一步降低了整体结构的 成本和便捷维护。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 217156279 U 2022.08.09 CN 217156279 U 1.一种具有摇摆式动镜系统 的傅里叶变换红外光谱仪， 其特征在于,包括动镜组件， 设 置在所述动镜系统前 方的分束镜， 用于反射入射 光或激光的反射镜； 所述动镜组件包括支撑架， 安装在所述动镜系统支撑架上的基座， 以及安装在所述基 座上的动镜系统， 所述动镜系统包括四连杆结构， 其中所述基座为第一连杆， 上端与所述基 座两侧联结有等长的第二连杆和 第三连杆， 所述第二连杆和所述第三连杆的下端联结有动 镜部件， 所述动镜 部件前端为平面镜 。 2.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪， 其特征 在于， 所述基座具有用于减重镂空结构的一体成型结构， 所述第一连杆和所述第二连杆结 构相同且为H型结构， 所述H型结构上部两侧安装在所述基座的两侧， 所述H型结构下部两侧 安装在所述动镜 部件两侧。 3.根据权利要求2所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪， 其特征 在于， 所述第一连 杆和所述第二连 杆为同型一体加工分割结构。 4.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪， 其特征 在于， 所述平面镜为通过金刚石切削车床直接加工形成的平面反射镜结构或者为通过机械 结构安装在所述动镜 部件前端的平面反射镜结构。 5.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪， 其特征 在于， 所述基座和所述第一连杆及所述第二连杆通过精密轴承联结， 所述第一连杆和所述 第二连杆与所述动镜 部件通过精密轴承联 结。 6.根据权利要求5所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪， 其特征 在于， 所述精密轴承为精密角接触微型轴承。 7.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪， 其特征 在于， 所述动镜部件包括前端的平面镜和后端的与所述平面镜联结 的支柱， 所述第一连杆 和所述第二连 杆通过安装在所述支 柱上的转轴和所述动镜 部件联结。 8.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪， 其特征 在于， 所述动镜 部件后部还安装有驱动所述动镜 部件前后运动的电机 。 9.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱仪， 其特征 在于， 所述动镜系统前方为所述分束镜， 所述分束镜的一侧放置所述反射镜， 所述动镜系统 的所述平面镜与所述分束镜以及所述反射镜形成迈克尔逊干涉光路。 10.根据权利要求1所述的一种具有摇摆式动镜系统 的傅里叶变换红外光谱仪， 其特征 在于， 所述光谱仪还包括用于测量并调控所述动镜系统运动参数 的探测反馈控制结构， 所 述探测反馈控制结构包括激光源， 所述激光源位于所述动镜部件的上侧， 入射光通过设置 在光路上 的第一反射镜和第二反射镜， 入射到所述动镜部件； 激光器轴线与所述动镜系统 轴线平行， 所述第一反射镜位于所述激光器发射端 前侧， 与所述激光器轴线成45度角， 所述 第二反射镜与所述第一反射镜成45度角， 所述分束镜与所述动镜系统的所述平 面镜成45度 角， 所述激光器发射的激光依次经所述激光器、 所述第一反射镜、 所述第二反射镜及所述分 束镜、 所述平面镜形成激光 直角光回路。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217156279 U 2一种具有摇摆式动镜系统的傅里叶变换红外光谱 仪 技术领域 [0001]本实用新型属于分析测试技术领域， 具体涉及一种具有摇摆式动镜结构的傅里叶 变换红外光谱仪 。 背景技术 [0002]傅里叶变换红外光谱仪是一种常用的化学分析仪器， 可用于化学品的定性和定量 分析； 其工作原理为宽带红外入射光先穿过迈克尔逊干涉仪并被调制， 再穿过样品最后为 探测器接 收； 或者宽带红外入射光先穿过样品再穿过迈克尔逊干涉仪并被调制， 最后为探 测器接收， 并经信号处 理获得样品的红外吸 收光谱数据。 [0003]动镜系统是傅里叶变换红外光谱仪的核心器件， 要求运动 平稳， 偏摆小， 开发难度 较大。 目前存在多种动镜系统， 如气浮直线轴承， 或者基于角镜的扭摆系统。 采用气浮轴承 的动镜系统将动镜放置在气浮导轨上， 需要额外的气源或者需要动态调整， 体积大成本昂 贵。 基于角镜的扭摆系统通过角镜让光线入射后能原路返回以降低光路偏摆度， 同时通过 扭摆系统上 的柔性铰链保证运动的平稳性。 但角镜采用了三块平面镜进行拼接组合而成， 三块平面镜互成90度角拼接， 形成具有一个三面夹角的结构， 这种结构能让入射光线原路 返回， 有利于降低干涉光线的偏摆度； 但角镜系统制作工艺要求高， 不仅对于平面度的要求 高， 而且对拼接后的要求也非常高， 这就导致了其从初始的单块平面镜的加工和后期的拼 接组装都需要非常高的精度， 不仅需要精密的加工技术， 还需要非常精密的组装技术， 由此 造就成本极高， 如果在组装过程中出现细微的偏差， 那么后期的测试过程中就会出现极大 的误差， 维护也极为不便， 扭摆系统的柔性铰链价格昂贵， 组装同样困难， 由此对于现有的 角镜系统需要寻找一些新的设备和新的方法来 解决相应的技 术问题。 实用新型内容 [0004]有鉴于此， 需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。 本实用新型提供了一 种具有摇 摆式动镜系统的傅里叶变换 红外光谱仪， 包括动镜组件， 用于发射激光的激光器， 设置在所述动镜系统前方的分束镜， 用于将所述激光器发射出的激光进 行反射至所述分束 镜以及所述分束镜后侧所述动镜系统的反射组件； [0005]所述动镜组件包括支撑架， 安装在所述动镜系统支撑架上的基座， 以及安装在所 述基座上的动镜系统， 所述动镜系统包括四连杆结构， 其中所述基座为第一连杆， 上端与所 述基座两侧联结有等长的第二连杆和 第三连杆， 所述第二连杆和所述第三连杆的下端联结 有动镜部件， 所述动镜 部件前端为平面镜 。 [0006]在本技术方案中， 现有气 浮轴承需要额外的气源， 高精度的气 浮导轨和直线电机， 体积大， 成本高； 而角镜系统或柔性铰链系统对对加工精度和组装精度都要求极高， 而且在 组装过程中也极容易出现问题， 整体过程不仅成本高， 而且维护也不便； 本实用新型所提出 的动镜系统， 则直接加工成一体的平 面镜， 这大大降低了组装方面的成本及维护成本， 并提 升了可靠性； 而且通过四连杆结构， 也能进一步简化结构及设计， 大大降低了整体成本， 同说　明　书 1/5 页 3 CN 217156279 U 3