ICS 71. 040. 40 G 86 GD 中华人民共和国国家标准 GB/T 26570.1—2011 气体中颗粒含量的测定 光散射法 第1部分：管道气体中颗粒含量的测定 Determination of particle in gasesLight-scattering method- Part 1:Determination of particle in pipeline gases 2011-06-16发布 2011-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T26570.1—2011 前言 GB/T26570《气体中颗粒含量的测定光散射法》分为以下部分： 第1部分：管道气体中颗粒含量的测定； 第2部分：瓶装气体中颗粒含量的测定 本部分是GB/T26570的第1部分。 本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出。 本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC203/SC1)归口 本部分起草单位：上海计量测试技术研究院、西南化工研究设计院。 本部分主要起草人：陈鹰、周鹏云。 1 GB/T26570.1—2011 气体中颗粒含量的测定光散射法 第1部分：管道气体中颗粒含量的测定 1范围 本部分规定了气体中颗粒含量测定的术语和定义、方法原理、仪器要求、试验步骤、校准和量值溯 源、结果计算和判别、报告。 10 μm。 本部分不适用于瓶装气体及以液相状态存在的气体。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过GB/T26570的本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文 件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成 协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本 部分。 JJF1190尘埃粒子计数器计量校准规范 3术语和定义 下列术语和定义适用于本部分。 3. 1 背景测定值backgroundcount（X） 不含有等于或大于规定粒径的被测气体通过粒子计数器时仪器的测定值。 3.2 样品体积gassamplevolume（VM，V） 每次测定时通过颗粒计数器的样品体积，以标准状态下立方米来表示（标准状态：0℃，1.01X 105 Pa). 3. 3 颗粒含量particleconcentration 测得的等于或大于规定粒径的颗粒总数除以样品体积而得出的值。 3. 4 粒度/颗粒直径particlesize/particlediameter 通过光散射颗粒计数器测定得到的光学当量直径。 3.5 规定粒径 permissible particle size 供需双方商定的或气体使用者规定的气体中颗粒物的最大颗粒直径。 4方法原理 1 GB/T 26570.1—2011 散射或者衍射。颗粒尺寸越小，散射角越大；颗粒尺寸越大，散射角越小。光散射粒度仪就是根据光的 散射角度来测定颗粒的大小，根据散射强度来测定颗粒的数量 5仪器要求 5.1颗粒计数器 根据光散射原理设计的颗粒计数器，并满足下列要求： a)1 最小可检测粒径小于或等于规定粒径； b）最大背景测定值不大于2个/（25×10-3）m； c）i 最高工作压力应大于管道内气体压力，或加装减压装置； d）对于可燃或腐蚀性气体，应满足防爆和防腐的要求。 5.2减压装置 对于只能在大气压下工作的颗粒计数器，应用减压装置将管道内的气体减压至大气压。该装 置不应对气体内的颗粒起阻隔或积聚作用，更不应产生颗粒。推荐使用通过小孔使气体膨胀的减 压装置。 5.3温度计 分度值为1℃。 5.4气压表 精度为士2.5hPa。 6试验步骤 6.1仪器背景值的测定 将颗粒计数器与干净的气源相连。气源应不含有等于或大于规定粒径的颗粒。推荐的气源准备方 法为：在颗粒计数器前加装气体过滤器，其过滤的最小颗粒粒径应小于规定粒径。如图1所示。 颗粒计数器 过滤器 图1颗粒计数器背景值测定示意图 测定次数应不小于8次，每次测定的样品体积不小于（25×10-3）m。记录每次测定结束后仪器的 示值和样品体积，样品体积应换算成标准状态下的气体体积。 根据式（4）计算背景颗粒含量平均值X。X应不大于2个/（25×10-3）m。 6.2取样点的确定 对于气体使用方的日常检测，取样点应位于管线系统的出口或用气点；而对于供需双方为确认气体 质量的检测，取样点应位于供方管线最末端的过滤器的下游并尽可能接近过滤器。连接仪器与取样点 的管线应尽可能的短，并确保系统无泄漏。 6.3总管或主管内气体的取样 当需要测定总管或主管内气体中的颗粒含量时，推荐在管道内设置如图2所示的取样管结构。 2 GB/T 26570.1—2011 a) b) c) 图2取样管安装示意图 对于图2a），图2b），图2c)所示的设置，采样管人口的气体流速应与总管或主管内气体的轴向流速 尽可能的接近或相等。采样管的内径应不小于2mm。 6.4样品测定 用洁净管道将颗粒计数器与管线上的取样点相连，保证其气密性。必要时在这之间加装减压装置， 使气体压力满足仪器的使用要求。 测定次数应不小于8次，每次测定的样品体积应不小于（25×10-3）m²。记录每次测定结束后仪器 的示值和样品体积，样品体积应换算成标准状态下的气体体积。 7 校准和量值溯源 颗粒计数器的校准和量值溯源应符合JJF1190的要求。 8结果计算和判别 8.1结果计算 8.1.1按式（1)将样品体积换算成标准状态下的气体体积。 273:p.V :(1) 101.3.(273+t) 式中： V—标准状态下的气体体积，单位为10-3立方米（10-3m）； p——测定时的大气压力，单位为千帕(kPa)； 取样点气体的温度，单位为摄氏度（℃）。 8.1.2气体中颗粒的含量以每（25X10-3）m²内等于或大于规定粒径的颗粒个数来表示，按式（2）～式 (9)计算： .(2 ) VBi 3