ICS 31-550 L 95 中华人民共和国国家标准 GB/T 37466—2019 氮化傢激光剥离设备 Laser lift-off equipment used for GaN 2019-06-04发布 2019-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 37466—2019 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 产品分类和标记 4 4.1 分类 4.2 型号标记 5工作条件 5.1 电源 5.2 环境温度 5.3 相对湿度 5.4 大气压力 5.5 洁净室等级 5.6 电磁干扰 5.7 地基振动要求 6 要求 6.1 外观 6.2 激光要求 6.3 扫描台 6.4 整机性能 6.5 电气要求 6.6 控制装置 6.7 软件要求 6.8 电磁兼容 6.9 噪声 6.10 平均无故障时间 6.11 安全要求 检测方法 7 7.1 外观检查 7.2 激光检查 7.3 扫描台检查 7.4 整机性能检测 7.5 电气检查 7.6 控制装置检查 10 7.7 软件检测 10 7.8 电磁兼容试验 10 GB/T37466—2019 7.9 噪声测试 10 7.10平均无故障时间验证 10 7.11安全要求检查 10 8 检验规则· 11 8.1 检验分类· 8.2 鉴定检验 11 8.3 出厂检验· 11 8.4 判定规则· 11 9标志、包装、运输和贮存 12 9.1 标志 12 9.2 包装： 12 9.3 运输 13 9.4 贮存· 13 GB/T37466—2019 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203提出并归口。 本标准起草单位：东莞市中半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。 本标准主要起草人：孙永健、刘鹏、丁晓民、冯亚彬、汪青 Ⅲ GB/T37466—2019 氮化激光剥离设备 1范围 本标准规定了氮化镓激光剥离设备（以下简称“激光剥离设备”）的产品分类和标记、工作条件、要 求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存 本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓（GaN)基外延层进行剥离的设备，氮化铝 激光剥离设备可参考本标准。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T191包装储运图示标志 GB2893—2008安全色 GB2894一2008安全标志及其使用导则 GB/T3768—2017声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面 的简易法 GB/T4208—2017外壳防护等级（IP代码） GB/T4942.1一2006旋转电机整体结构的防护等级（IP代码）-分级 验方案 GB/T5171.1—2014小功率电动机第1部分：通用技术条件 GB5226.1一2008机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件 GB/T6388运输包装收发货标志 GB7247.1一2012激光产品的安全第1部分：设备分类、要求 GB/T7251.1一2013低压成套开关设备和控制设备第1部分：总则 GB/T9969工业产品使用说明书总则 GB/T14436工业产品保证文件总则 GB/T15706一2012机械安全设计通则风险评估与风险减小 GB/T18268.1一2010测量、控制和实验室用的电设备电磁兼容性要求第1部分：通用要求 GB/T18490.1一2017机械安全激光加工机第1部分：通用安全要求 GB50073一2013洁净厂房设计规范 GB/T50087—2013工业企业噪声控制设计规范 SJ/T37—1996电子工业专用设备型号编制及命名方法 3 术语和定义 GB/T15706一2012和GB7247.1一2012界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 1