ICS 71.100.20 G 86 中华人民共和国国家标准 GB/T 37007—2018 电子级三甲基傢 Electronic grade trimethylgallium 2019-04-01实施 2018-12-28发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T37007—2018 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203提出并归口。 本标准起草单位：江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院。 本标准主要起草人：陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰。 GB/T 37007—2018 电子级三甲基镓 1范围 本标准规定了三甲基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全。 本标准适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基 镓。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。 分子式：C.H.Ga 相对分子质量：114.83（按2013年国际相对原子质量计算） 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T6680 液体化工产品采样通则 GB/T11446.1电子级水 GB 12463 危险货物运输包装通用技术条件 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB15603 常用化学危险品贮存通则 GB 50073 洁净厂房设计规范 技术要求 三甲基的技术指标应符合表1要求 表1技术指标 指 目 标 三甲基镓(C.H,Ga)纯度（质量分数)/10-2 $6 666*66 银（Ag）含量/（μg/g） < 0.2 金属 铝（Al)含量/（μg/g） < 0.1 元素 砷(As)含量/(μg/g) 0,5 及 硼(B)含量/(μug/g) < 0.2 其他 钡（Ba)含量/（μg/g） 0,1 元素 铍(Be)含量/(μg/g) 含量 < 0.02 铋（Bi)含量/（μg/g） < 0.5 1 GB/T37007—2018 表1(续) 项 目 指 标 钙(Ca)含量/（μg/g) < 0.03 镉（Cd)含量/（μg/g） < 0.02 钻（Co）含量/（μg/g） < 0.2 铬（Cr)含量/（μg/g) < 0.2 铜（Cu)含量/(μg/g) < 0.05 铁（Fe)含量/(μg/g) < 0.1 锗(Ge)含量/(μg/g) < 0.5 汞(Hg)含量/(μg/g) < 0.5 镁（Mg）含量/（μg/g） < 0.02 金属 锰（Mn)含量/(μg/g） < 0.03 元素 镍（Ni）含量/（μg/g） < 0.3 及 铅（Pb）含量/（μg/g） < 1 其他 元素 硫(S)含量/(μg/g) < 1 含量 锑（Sb)含量/（μg/g） < 0.5 硅（Si)含量/（μg/g） < 0.2 锡（Sn）含量/(μg/g） < 1 锶（Sr）含量/(μg/g) < 0.1 钛（Ti)含量/（μg/g) < 0.1 钒（V)含量/(μug/g) < 0.3 锌（Zn)含量/（μg/g） < 0.1 甲基峰信噪比达到50×10*以上，扣除空 氧和有机杂质 白峰后未检测出甲氧基峰与有机杂质峰 即为合格 试验方法 4 三甲基纯度 4.1 三甲基镓纯度按照式（1)计算： w=100-(i+w2+w+w4+ws)x10-+ ................() 式中： 三甲基纯度（质量分数），10-2； 硅元素含量（质量分数），单位为微克每克（μg/g）； W1 W2- 铜元素含量（质量分数），单位为微克每克（μg/g）； 镁元素含量（质量分数），单位为微克每克（μg/g）； 锌元素含量（质量分数），单位为微克每克（μg/g）； 04 铁元素含量（质量分数），单位为微克每克（μg/g）。 2 GB/T37007—2018 4.2环境条件 4.2.1取样、测试环境应符合GB50073的规定，空气洁净度等级为6N。 4.2.2测试环境温度20℃~28℃，相对湿度≤80%。 4.3金属元素及其他元素含量 4.3.1仪器 采用电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-OES)测定三甲基镓中的银、铝等金属及其他元素的 含量。 仪器分辨率：≤0.01nm；仪器波长范围：160nm~800nm。 方法检出限：小于或等于表1所列相应元素杂质指标。 4.3.2材料与试剂 4.3.2.1无氧无水情性气氛操作箱。 4.3.2.2精度为0.1mg分析天平。 4.3.2.3超净工作台：应符合GB50073中规定，空气洁净度等级为5N。 4.3.2.4硝酸或盐酸：分析纯，金属及其他元素含量低于0.01μg/g 4.3.2.5溶解液：5%硝酸或盐酸。 4.3.2.6 金属及其他元素离子的标准溶液：标准溶液中金属及其他元素的含量应当与被测试样中所对 应的含量相近 4.3.2.7试验用水：符合GB/T11446.1中EW-I级的要求 4.3.2.8聚四氟乙烯取样瓶：60mL。 4.3.3产品前处理 将已精确称重后的干燥取样瓶和石英滴管送人情性气氛操作箱中，用石英滴管吸取三甲基镓液体 约0.2g于取样瓶中，拧上瓶盖，拿出手套箱。取样安全应符合GB/T3723中规定。分析天平上精确称 量至0.1mg，减去空瓶重量，即为取样瓶中三甲基镓的重量。超净工作台内将取样瓶内三甲基镓氧化 分解为固体粉末后，用5%硝酸或盐酸溶液配制为相应待测溶液。待测溶液浓度应为10mg/mL。 4.3.4空白溶液 体积分数为5%的硝酸或盐酸溶液。 4.3.5测定步骤 4.3.5.1启动仪器 按照电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-OES)说明书开启仪器，调整仪器参数达到测定条件，待 仪器稳定后即可测定、 4.3.5.2测定 4.3.5.2.1标准曲线的绘制 用金属及其他元素的标准溶液进样。记录标准溶液中待测元素在无干扰峰下的最灵敏波长值的强 度信号。每种标准溶液至少重复测定三次，直至三次平行测定强度值的相对标准偏差不大于3%，取平 3