ICS 17.180 A 60 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T29420—2012 掺钕钒酸盐激光单晶元件 Nd-doped vanadatelasercrystaldevices 2012-12-31发布 2013-08-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 29420—2012 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给定的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出 本标准由全国人工晶体标准化技术委员会（SAC/TC461）归口。 本标准起草单位：中国科学院福建物质结构研究所、国家光电子晶体材料工程技术研究中心、福建 福晶科技股份有限公司、中国计量学院材料与工程学院。 本标准主要起草人：兰国政、吴少凡、林文雄、王昌运、张剑虹、李雄、史宏声、秦来顺。 本标准为首次制定， I GB/T29420—2012 掺钕钒酸盐激光单晶元件 1范围 识、运输、贮存等过程的要求。 本标准适用于掺钕钒酸盐激光单晶元件，其他种类的激光单晶元件也可参照使用。 SAC 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T11297.1—2002 激光棒波前畸变的测量方法 GB/T16601一1996光学表面激光损伤阈值测试方法 第1部分：1对1测试 GB/T22452—2008硼酸盐非线性光学单晶元件通用技术条件 GB/T22453—2008 硼酸盐非线性光学单晶元件质量测试方法 3术语和定义 GB/T22452一2008界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 掺钕钒酸 Nd-dopedyttriumvanadate 一种掺钕的钒酸亿激光单晶以及其加工而成的元件。 3.2 不垂直度 nonperpendicularity 单晶元件通光面与侧面之间的不垂直程度。 3.3 光学不均匀性 optical heterogenity 介质折射率的不均匀程度。 3. 4 transmitted wave front distortion 透射波前畸变 平行光束的波面透过被检单晶元件后相对于标准参考波面的畸变。 4技术要求 4.1物理性能 4.1.1散射 在波长为632.8nm的氨氛激光照射下，单晶元件单位体积（cm）内直径大于10μm的散射点不得 多于4个。 1 GB/T29420—2012 4. 1. 2 光学不均匀性 在波长为632.8nm的氛激光照射下，单晶元件光学不均匀性应不大于1×10-5。 特定波长单程损耗 4.1.3 单晶元件经过镀制1064nm减反膜后，在波长1064nm处单程损耗应小于1%。 4.1.4透射波前畸变 在波长为632.8nm氨氛激光的照射下，被测元件的透射波前畸变干涉图“峰-谷”值偏差应不大于 入/4。 4.2加工质量 4.2.1尺寸公差 尺寸公差应符合以下要求：W+0:1mm×H+0:1mm×L=8.imm 上式中W为单晶元件通光面的宽度，H为单晶元件通光面的高度，L为单晶元件通光方向的长 度。图1为单晶元件尺寸标注示意图，S所标示的面为通光面。 SAC 图1单晶元件尺寸标注示意图 4.2. 2 角度偏差 单晶元件的切割角度偏差要求：△0≤0.5°△g≤0.5 4.2.3不平行度 单晶元件两个通光面的不平行度应不大于30"。 4.2.4不垂直度 单晶元件的通光面与侧面之间的不垂直度应不大于30°。 4.2.5有效通光孔径 单晶元件的通光表面扣除四周倒角后的可用面积与整个通光面面积的比值为有效通光孔径，其应 不小于85% 4.2.6表面症病 抛光元件有效通光孔径内，S/D应不大于20/10；镀膜元件，S/D应不大于60/40。 4.2.7倒角 倒角的宽度应不大于0.2mm。 2 GB/T29420—2012 4.2.8崩边、崩口及崩裂 沿边缘向内侧方向延伸宽度g（径向）崩边应不大于0.2mm。 沿边缘方向，崩口宽度之和应不大于0.5mm。 角的崩裂应不大于0.2mm。 4.2.9单晶表面镀膜的光学性能 镀制1064nm增透膜和808nm增透膜，1064nm增透膜膜层的剩余反射率应小于0.2%808nm 增透膜膜层的剩余反射率应小于3.0%。 4.2.10膜层的牢固度 使用3M公司810型号胶带粘拉5次，未出现脱膜或裂膜现象。 4.2.11膜层的抗高湿性能 在暴露于温度为45℃～50℃、相对湿度为95%～100%的环境至少24h后，或采用加速试验，温 度60℃，相对湿度为95%~100%的环境2h后，未出现脱膜或裂膜现象。 4.2.12膜层的抗温度冲击 将单晶元件放入加热容器中，在40min内，从室温升到100℃，在不少于40min时间内降至室温， 未出现脱膜或裂膜现象。 4.2.13膜层的抗激光损伤阅值 镀膜表面膜层的抗激光损伤阈值应大于或等于500MW/cm。测试条件为人射激光的光束质量 因子M应小于1.2，波长为1064nm，脉冲宽度为（10土2)ns，重复频率为（10王1)Hz，每个测试点连续 照射10个脉冲，光斑直径为（1.0土0.1)mm。 5试验方法 5.1测试的环境要求 洁净等级：优于10000级；温度：（232）℃；相对湿度：（55士5）%。 5.2物理性能 5.2.1散射 散射的测试方法按GB/T22453—2008执行。 5.2.2光学不均匀性 光学不均匀性的测试方法按GB/T22453一2008执行。 5.2.3特定波长单程损耗 5.2.3.1测试原理 当功率为P2的特定波长光垂直人射晶体，晶体吸收光之后，光功率衰减得到P1，利用式（1）计算得 3